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[发明专利]干涉仪-CN201580043188.0有效
发明人：马丁·贝尔茨 -专利权人：马丁·贝尔茨
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： G01J3/45 文献下载
摘要：本发明涉及一种干涉仪，包括：第一干涉仪臂及第二干涉仪臂，其中，所述第一干涉仪臂及第二干涉仪臂被配置成：从待成像的原始图像的中心像点出发的第一中心光束穿过所述第一干涉仪臂，从所述待成像的原始图像的所述中心像点出发的第二中心光束穿过所述第二干涉仪臂，其中，所述第一中心光束与所述第二中心光束在穿过所述第一或第二干涉仪臂之后叠加并在所述第一中心光束与所述第二中心光束的叠加点处生成k_垂直＝0‑干涉；从所述待成像的原始图像的像点出发的第一光束穿过所述第一干涉仪臂，以及从所述待成像的原始图像的所述像点出发的第二光束穿过所述第二干涉仪臂，其中，所述第一光束与所述第二光束在穿过所述第一或第二干涉仪臂之后重叠于所述第一中心光束与所述第二中心光束的所述叠加点处，以及其中本发明还涉及一种用于由使用根据本发明所述的干涉仪测量的图像重建原始图像的方法。本发明又涉及一种用于校准根据本发明所述的干涉仪的方法。
干涉仪

[外观设计]干涉仪-CN202230026434.4有效
发明人：申东方 -专利权人：申东方
申请日： 2022-01-15 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： 10-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：干涉仪。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于干涉仪。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
干涉仪

[发明专利]干涉仪-CN201410278239.5有效
发明人： M.迈斯纳;R.耶尔格;J.德雷舍尔;W.霍尔扎普费尔 -专利权人：约翰内斯·海德汉博士有限公司
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种干涉仪，其带有光源、分束器、测量反射器、参考后向反射器、探测器组件以及两个透明的平板。分束器将由光源发射的第一光束分开成至少一个测量光束和至少一个参考光束，通过其展开第一分开平面。
干涉仪

[发明专利]干涉仪-CN201510453259.6有效
发明人： M.迈斯纳 -专利权人：约翰内斯·海德汉博士有限公司
申请日： 2015-07-29 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明给出一个干涉仪，它包括一光源、一分光器、一参考反射器、一测量反射器、一检测单元以及至少两个透明的平板。通过分光器将光束分裂成至少一测量光束和一参考光束。通过检测单元可以检测来自干涉的测量和参考光束相对于测量目标位置的至少一距离信号。所述平板相互平行地在光程中设置在光源与检测单元之间。至少测量反射器相对于平板沿着测量方向运动。
干涉仪

[发明专利]干涉仪-CN200710043623.7有效
发明人：刘国淦;段立峰 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-07-10 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光刻机投影物镜检测的干涉仪。本发明的干涉仪包括第一偏振分光镜，分位于第一偏振分光镜入光面一侧的分别用于引入参考光和测量光的两个准直透镜组，位于第一偏振分光镜出光面的第二、第三偏振分光镜，第一偏振分光镜与第三偏振分光镜之间配置二分之一波片和四分之一波片利用本发明的干涉仪可准确得测得物镜的波前误差、放大率、畸变、场曲，并可减小光学检测元件的尺寸，而且制造简单，检测精度高且操作方便。
干涉仪

[发明专利]干涉仪-CN200810172680.X有效
发明人：高桥知隆 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2008-11-06 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉仪。该干涉仪包括：激光束源；光波分割和合成部，用于对从激光束源照射来的激光束进行2路分波，并将其照射在测量对象上，并且合成分别具有位移信息的光；多相位干涉光生成部，用于根据合成的激光束，生成具有第一相位的第一干涉光、具有与第一相位相差180°的第二相位的第二干涉光、具有与第一相位相差90°的第三相位的第三干涉光和具有与第一相位相差270°的第四相位的第四干涉光；三相信号生成部，用于根据基于第一至第四干涉光的第一至第四干涉信号来生成相位差为
干涉仪

[外观设计]干涉仪-CN202330038443.X有效
发明人：李晓涛 -专利权人：挚感(苏州)光子科技有限公司
申请日： 2023-02-08 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： 10-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：干涉仪。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于高精度激光干涉法测距。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
干涉仪

[发明专利]干涉仪-CN200880113315.X有效
发明人：刘志强 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-11-19 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种干涉仪，即使受检面与参照面的表面形状的差别大，也可以测定受检物的表面形状。测定受检物(9)的表面形状的干涉仪具备：具有低空间相干特性的面光源、将面光源与受检物在光学上共轭地配置的导光光学系统(6、8)、具有配置于与受检物在光学上共轭的位置的检测面的光检测器(13)。面光源具有多个相互具有低干涉性的微小面光源。
干涉仪

[实用新型]一种干涉仪测试结构-CN202222713158.6有效
发明人：张宝安 -专利权人：苏州然玓光电科技有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01D18/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种干涉仪测试结构，涉及干涉仪测试技术领域，该干涉仪测试结构，包括干涉仪本体和活动安装在干涉仪本体底端表面的干涉仪放置板，所述干涉仪放置板的底端表面安装有三角支架，所述干涉仪放置板的内部安装有引出结构，所述干涉仪本体内部安装有四个固定结构，所述干涉仪本体的外侧表面安装有取出结构。本实用新型通过顶柱本体阻挡移动板随着干涉仪本体向下移动，移动板带动四个斜角顶块本体向上移动，斜角顶块本体将固定卡块本体向干涉仪本体外侧挤出，固定卡块本体卡在卡接槽内，使干涉仪本体固定在干涉仪放置板内，使干涉仪本体在测量使不会发生晃动，使干涉仪本体测量数据准确性高。
一种干涉仪测试结构

[发明专利]一种带参考干涉仪的干涉式光纤矢量水听器-CN202010408496.1在审
发明人：易朗宇;腾潢龙;徐红霞;沈燕青;高发仁;陈含芳;杨廷新 -专利权人：中国电子科技集团公司第七研究所
申请日： 2020-05-14 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带参考干涉仪的干涉式光纤矢量水听器，包括质量块，弹性筒，光纤干涉仪，用于放置质量块、弹性筒、光纤干涉仪的外壳。本发明将参考干涉仪与传感干涉仪封装于同一水听器的外壳内部，当水听器受温度和其他外界环境影响时，参考干涉仪与传感干涉仪相位信号产生的低频随机漂移高度相似，在实际应用中由激光器引起的参考干涉仪与传感干涉仪的相位噪声也高度相关，因此通过参考干涉仪与传感干涉仪的信号进行信号处理，可以消除传感干涉仪信号的相位噪声。
一种参考干涉仪干涉光纤矢量水听器

[发明专利]包括前级的嵌套马赫-曾德尔干涉仪的校准和控制-CN202110180561.4在审
发明人： A.米兹拉希;M.C.拉森 -专利权人：朗美通经营有限责任公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： G02F1/21 文献下载
摘要：一种嵌套马赫‑曾德尔装置，可以包括母前级干涉仪、耦合到母前级干涉仪的母干涉仪、第一子前级干涉仪、耦合到第一子前级干涉仪的第一子干涉仪、第二子前级干涉仪、耦合到第二子前级干涉仪的第二子干涉仪，其中每个干涉仪的相位是电可调的嵌套马赫‑曾德尔装置可以包括一个或多个组件，用于：确定与嵌套马赫‑曾德尔装置生成的星座图相关联的性能参数；确定所述性能参数不满足阈值，并且使所述母前级干涉仪、所述第一子前级干涉仪或所述第二子前级干涉仪中的至少一个前级干涉仪的相位被电调节以使所述性能参数满足所述阈值
包括嵌套马赫曾德尔干涉仪校准控制

[发明专利]高精度波长测量用干涉仪装置-CN202211663087.1在审
发明人：刘春红;程国军;代晓珂 -专利权人：核工业理化工程研究院
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度波长测量用干涉仪装置，包括壳体和设置于壳体内部的光学机构，所述光学机构包括左右平行设置的独立干涉仪和组合干涉仪，所述独立干涉仪包括Ⅴ号干涉仪后腔镜和以及设置于其前方的Ⅴ号干涉仪前腔镜；所述组合干涉仪包括组合后腔镜和以及设置于其前方的组合干涉仪前腔镜，组合后腔镜包括自下而上依次叠放的Ⅰ号干涉仪后腔镜、Ⅱ号干涉仪后腔镜、Ⅲ号干涉仪后腔镜和Ⅳ号干涉仪后腔镜。本发明提供了一种高精度波长测量用干涉仪装置，在一个密封腔体中集成五个费索干涉仪，简化测量光学系统，同时提出一种简洁的波长测量方法，可实现10‑7波长测量精度。
高精度波长测量干涉仪装置

[发明专利]一种双侧斐索干涉仪检测装置-CN202110383929.7有效
发明人：魏相宇;唐锋;卢云君;郭福东;王向朝;陈梦来 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准直镜透射的出射光与干涉仪光轴具有夹角，通过与光阑配合，使对侧干涉仪的出射光进入到本侧干涉仪后，汇聚在光阑的遮光区，不影响本侧干涉仪干涉图的接收；或者使用光开关，使第一干涉仪主机、第二干涉仪主机单独工作。本发明有效的提高了干涉图的质量，具有装置结构简单，操作方便，测量精度高的优点。
一种双侧斐索干涉仪检测装置

[实用新型]一种减振光纤干涉仪装置-CN201822228162.7有效
发明人：徐宏;穆道生 -专利权人：北京中创为南京量子通信技术有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： F16F15/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种减振光纤干涉仪装置，包括光纤干涉仪，光纤干涉仪的上部和下部分别设有底板和顶板，底板和顶板之间通过固定件连接，光纤干涉仪的上表面和顶板之间、光纤干涉仪的底面和底板之间均连接有弹簧，光纤干涉仪的上表面和顶板之间的弹簧不少于两个，光纤干涉仪的底面和底板之间的弹簧不少于两个。本实用新型针对光纤干涉仪在实际使用中需要减振的环境，将光纤干涉仪悬空放置于顶板和底板之间，将光纤干涉仪的上表面和顶板之间、光纤干涉仪的下表面和底板之间连接弹簧，从而光纤干涉仪上表面的弹簧固定在顶板上，光纤干涉仪下表面的弹簧固定在底板上，最终光纤干涉仪在多个弹簧的作用力下达到平衡状态，稳定悬空于顶板和底板之间。
底板光纤干涉仪光纤干涉上表面弹簧减振本实用新型弹簧固定下表面底面连接弹簧平衡状态悬空放置固定件悬空

[发明专利]一种基于散斑干涉计量的残余应力测试装置-CN201610210813.2有效
发明人：刘雪松;闫忠杰;潘海博 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2016-04-07 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于散斑干涉计量的残余应力测试装置，属于残余应力测试装置技术领域。本发明包括：干涉仪底座、激光干涉仪、相机支架、相机连接块、工业CCD相机和三个尖角，所述激光干涉仪设置在干涉仪底座的上部，相机支架的下端与激光干涉仪的上部固定连接，相机支架的上端固定有相机连接块，工业CCD相机设置在相机连接块上；所述干涉仪底座为一个U形金属板，干涉仪底座的下端均布有三个尖角，干涉仪底座的上端均布有三个圆形定位孔，所述激光干涉仪为一个U型金属框架结构，激光干涉仪下表面设有三个钢珠且分别与干涉仪底座上的三个圆形定位孔相接触
一种基于干涉计量残余应力测试装置

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