“张罗莎”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果75个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种质谱检出限的检测装置及其检测方法-CN201810629121.0有效
发明人：罗艳;吴晓斌;王魁波;谢婉露;张罗莎;张立佳 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2018-06-19 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01J49/02 文献下载
摘要：一种高精度质谱检出限的检测装置及其检测方法，其中，所述检测装置包括，待测高精度质谱仪、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微调阀、金属细管、金属毛细管和大气采样阀；检测方法包括：以空气中稀有气体同位素浓度为检测目标，实现对高精度质谱仪检出限的检测。本发明的优点为，通过采用本发明检测装置，实现了利用空气中的低浓度稀有气体同位素对高精度质谱仪检出限的检测工作，解决了不易获得低浓度标准检测气体的问题，此外，相比已有的技术成果，本发明的一种高精度质谱检出限的检测装置及其检测方法简单易行，通过一次有效的测试，即可直观可比地获得检出限的数量级；通过简单地计算，即可精确可靠地获得四极质谱仪的最小可检浓度和最小可检分压。
种质检出检测装置及其方法

[发明专利]一种光子集成芯片版图设计方法以及控制装置-CN202111023445.8在审
发明人：赵复生;王硕;张罗莎;王宇;刘智帅;刘玉姝 -专利权人：海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明提供一种光子集成芯片版图设计方法以及控制装置，光子集成芯片包括多个待连接件以及设于多个所述待连接件之间的多个波导，包括：获取多个所述波导之间的相对关系；根据所述相对关系，得到每一所述波导的排布方式；根据所述排布方式，在多个所述待连接件之间分别连接多个所述波导。在本发明提供的技术方案中，在版图设计时，先获取多个波导之间的相对关系，通过相对关系，获取每一波导的排布方式，不将波导作为器件利用连接线连接，而是通过排布方式，在待连接件之间连接多个波导，在待连接件之间设计连接，以此实现波导的结构仿真，保证了原理图中波导的属性的同时，允许版图设计较高的自由度。
一种光子集成芯片版图设计方法以及控制装置

[发明专利]一种版图连接方法、装置以及存储介质-CN202111024258.1在审
发明人：赵复生;王硕;张罗莎;王宇;刘智帅;刘玉姝 -专利权人：海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明提供一种版图连接方法、装置以及存储介质，所述版图包括多个光子集成器件，每一所述光子集成器件均包括多个连接端口，包括：获取每一所述光子集成器件中多个所述连接端口之间的联通关系；获取多个所述光子集成器件之间的连接关系；根据所述连接关系以及所述联通关系，连接多个所述光子集成器件。在本发明提供的技术方案中，在进行光子集成器件的连接之前，先获取光子集成器件中多个连接端口之间的联通关系，而不是依靠图形关系自动判定端口是否可以连通，通过联通关系，便于在版图设计的过程中，正确进行器件的连接，并依据联通关系，对多个光子集成器件进行连接。
一种版图连接方法装置以及存储介质

[发明专利]一种光学端口连接方法、装置以及存储介质-CN202111035291.4在审
发明人：赵复生;王宇;王硕;张罗莎;刘智帅;刘玉姝 -专利权人：海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明提供一种光学端口连接方法、装置以及存储介质，光学端口连接方法包括：获取两个所述待连接端口的连接状态；根据所述连接状态，分别获取两个所述待连接端口的端口属性；根据所述端口属性，获取两个所述待连接端口的连接合法性。在本发明提供的技术方案中，在两个待连接端口连接后，获取两个待连接端口的端口属性，通过端口属性，防止出现不能连接的端口连接并被认定为合法连接的情况；同时，端口属性可以有效支持自动化波导生成的算法，有利于高效、高适应性自动波导算法的实现。
一种光学端口连接方法装置以及存储介质

[发明专利]一种极紫外光刻胶放气污染测试系统-CN201911171642.7有效
发明人：谢婉露;吴晓斌;王魁波;罗艳;张罗莎;王宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：一种极紫外光辐照致光刻胶放气污染测试系统，该系统包括极紫外光源腔室、光收集腔室、污染样品测试腔室，其中：极紫外光源腔室，用于发出辐照光；光收集腔室，用于将极紫外光源腔室发出的辐照光线反射聚焦进入污染样品测试腔室内；污染样品测试腔室，用于在光收集腔室传入的辐照光线的作用下，实现光刻胶受到极紫外光辐照时放气污染特性对系统部件性能影响的测试。本发明提供的极紫外光辐照致光刻胶放气污染测试系统，结构简单，操作方便，不仅可以研究极紫外光刻胶放气特性还可用于光刻胶放气污染对系统部件性能的影响，从而可以更好的评估光刻胶的污染特性。
一种紫外光刻放气污染测试系统

[发明专利]气体分压的在线测量装置及其在线测量方法-CN201910507546.9有效
发明人：罗艳;吴晓斌;朱精果;王魁波;张罗莎;谢婉露 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明涉及气体分压的在线测量装置及其在线测量方法，在线测量装置包括待测气源腔室，校准气源腔室，减压腔室，恒压腔室，真空计和质谱分析模块，其中第一进气阀门和减压腔室之间设有高压待测气体进样通道和中压待测气体进样通道，第一进气阀门和恒压腔室之间设有低压待测气体进样通道，第六进气阀门与减压腔室之间设有校准气体进样通道，减压腔室和恒压腔室之间设有气体流通通道，真空计用于测量上述四个腔室的真空度，质谱分析模块用于在线测量恒压腔室的气体；测量方法包括确定标样气体，洁净度检查，获取质谱计灵敏度，抽真空去除残余气体和气体分压的在线测量步骤。本发明的在线测量装置和方法，主要针对粗、低真空气体分析，根据待测气体压力而选择最优的进样通道，分压测量更加准确。
气体在线测量装置及其测量方法

[发明专利]基于路径的光学仿真器件激活方法、装置及终端设备-CN202111010405.X在审
发明人：刘智帅;赵复生;王宇;王硕;张罗莎;刘玉姝 -专利权人：海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G06F30/398 文献下载
摘要：本发明适用于光子集成领域，提供了一种基于路径的光学仿真器件激活方法、装置及终端设备，上述方法包括：获取集成光子系统的系统拓扑关系和备选器件的内部端口关系；获取备选器件中的输入器件和输出器件，根据系统拓扑关系和内部端口关系，确定输入器件对应的第一端口和输出器件对应的第二端口，第一端口为能够接收到输入器件发出的光信号的端口，第二端口为能够向输出器件传输光信号的端口；根据第一端口和第二端口确定备选器件中的激活器件。本发明提供的基于路径的光学仿真器件激活方法，能够简便快捷的确定集成光子系统中需要被激活的器件，从而有效简化其仿真过程，降低计算量。
基于路径光学仿真器件激活方法装置终端设备

[发明专利]含反馈子系统的时域模型计算方法、装置及终端设备-CN202111023302.7在审
发明人：刘智帅;赵复生;王宇;王硕;张罗莎;刘玉姝 -专利权人：海宁集成电路与先进制造研究院
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明适用于通信领域，提供了一种含反馈子系统的时域模型计算方法、装置及终端设备，上述方法包括：获取耦合器件各输入端口与各输出端口之间的传递参数，传递参数为输出端口处电场复振幅与输入端口处电场复振幅的比值；获取反馈子系统的响应函数；根据传递参数和响应函数建立反馈子系统的时域模型。本发明提供的含反馈子系统的时域模型计算方法，能够有效提高反馈子系统时域仿真计算的准确性。
反馈子系统时域模型计算方法装置终端设备

[发明专利]关联成像方法及装置-CN201910202155.6有效
发明人： 张罗莎;王宇;王魁波;朱精果;杨光华;赵复生;亓岩;颜博霞;韩春蕊;郭馨;陈进新;崔惠绒;罗艳;谢婉露;周翊;吴晓斌 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-15 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：一种关联成像方法及装置，方法包括：采用激光照射旋转的毛玻璃形成随机涨落光场，其中，该光场的光强通过求解激光与毛玻璃表面微纳结构的交互结果得到；使用随机涨落光场照明成像目标，形成携带有成像目标振幅和相位信息的光波；探测光波的光强，对随机涨落光场的光强及光波的光强进行关联计算以重建生成成像目标的图像。该方法及装置省去了分光镜与面阵探测器、数字微透镜阵列或者投影系统等复杂的光学模块，简化了成像系统的复杂度，提高了成像速度；直接通过麦克斯韦方程求解入射光波与毛玻璃表面微纳结构的交互结果，得到照明成像目标的随机涨落光场分布，提高了图像重建的分辨率；并且可实现亚波长结构成像，扩大了关联成像的使用范围。
关联成像方法装置

[发明专利]一种极紫外光学元件性能参数测试系统-CN201911171641.2有效
发明人：谢婉露;吴晓斌;王魁波;罗艳;张罗莎;王宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种极紫外光学元件性能参数测试系统，该系统包括极紫外光源腔室、光收集纯化腔室和测量腔室，其中：极紫外光源腔室，用于发出辐照光；光收集纯化腔室，用于对极紫外光源腔室发出的辐照光进行光谱纯化及聚焦，得到中心波长为13.5nm的极紫外光，并将极紫外光反射传输到测量腔室中；测量腔室，用于装载待测光学元件，使极紫外光照射到所述待测光学元件的表面，实现对待测光学元件特性参数的测试。本发明提供的极紫外光学元件性能参数测试系统，结构简单，操作方便，可以在不破坏真空环境条件下，实现极紫外探测器光谱响应率、反射镜反射率、滤光片透过率等光学元件的不同性能的测试。
一种紫外光学元件性能参数测试系统

[发明专利]一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法-CN201611119916.4有效
发明人：罗艳;吴晓斌;王魁波;陈进新;谢婉露;张罗莎 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2016-12-08 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元。本发明还提出了测试材料辐射致放气量的两种方法：动态法和质谱法，均可在线实时测试，其中使用动态法和质谱法可测试同一样品的辐射致放气总量，质谱法还可准确测量辐射致放气各组分的放气分量。该装置结构简单，操作方便，且可对质谱仪和有效抽速进行校准，测试结果更为真实精确。
一种材料辐射放气在线测试装置方法

[发明专利]一种微量元素光谱检测方法及装置-CN201911306376.4在审
发明人：李春宇;张罗莎;吕航 -专利权人：中国人民公安大学
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明提供了一种微量元素光谱检测方法，包括如下步骤：调制强度随时间变化的激发光源，并使用激发光源照射微量元素样品，激发周期性特征光，其中，所述周期性特征光，在时域空间上的强度随时间呈周期分布；光探测器采集光信号，转换为数字信号，将所述数字信号，从时域空间变换至频率域空间，判断对应于时域空间下的频率处，是否存在强度明显高于其他频率处强度的信号，若存在，则强度明显高于其他频率处强度的信号，即为微量元素样品激发的周期性特征光信号。本发明有效的解决了光谱法微量元素检测过程中微弱的检测信号完全淹没于背景噪声的问题，避免了微弱信号难以检测造成对微量元素检测的误判。还提供了一种微量元素检测装置。
一种微量元素光谱检测方法装置

[实用新型]气体分压的在线测量装置-CN201920884374.2有效
发明人：罗艳;吴晓斌;朱精果;王魁波;张罗莎;谢婉露 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01L11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体分压的在线测量装置，包括待测气源腔室，校准气源腔室，减压腔室，恒压腔室，真空计和质谱分析模块，其中第一进气阀门和减压腔室之间设有高压待测气体进样通道和中压待测气体进样通道，第一进气阀门和恒压腔室之间设有低压待测气体进样通道，第六进气阀门与减压腔室之间设有校准气体进样通道，减压腔室和恒压腔室之间设有气体流通通道，真空计用于测量上述四个腔室的真空度，质谱分析模块用于在线测量恒压腔室的气体。本实用新型的在线测量装置，主要针对粗、低真空气体分析，根据待测气体压力而选择最优的进样通道，分压测量更加准确。
气体在线测量装置

[发明专利]一种极紫外光辐照致材料氢脆性能的测试系统-CN201911171755.7在审
发明人：谢婉露;吴晓斌;王魁波;罗艳;张罗莎;王宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： G01N17/00 文献下载
摘要：一种极紫外光辐照致材料氢脆的测试系统，该系统包括极紫外光源子系统、光路转换子系统和样品测试子系统，其中：极紫外光源子系统，用于发出辐照光；光路转换子系统，用于对极紫外光源子系统发出的辐照光进行反射和聚焦，将辐照光反射聚焦至样品测试子系统；样品测试子系统，用于装载待测样品并调节待测样品所处的位置，辐照光反射聚焦至样品测试子系统的焦点处后继续传播至待测样品的表面，实现对待测样品的检测。本发明提供的极紫外光辐照致氢脆测试系统通过极紫外光源子系统、光路转换子系统和样品测试子系统模拟了极紫外光刻机中的动态低压氢气环境，结构简单，便于实现在极紫外光辐照以及低压氢气环境中材料氢脆性能的试验。
一种紫外光辐照材料脆性测试系统

[发明专利]成像方法及装置-CN201910202151.8有效
发明人： 张罗莎;王宇;王魁波;朱精果;杨光华;赵复生;亓岩;颜博霞;韩春蕊;郭馨;陈进新;崔惠绒;罗艳;谢婉露;周翊;吴晓斌 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-15 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：一种成像方法，应用于光学成像技术领域，包括：将激光照射旋转的毛玻璃形成随机涨落光场，使用该随机涨落光场照明成像目标，形成携带有成像目标振幅和相位信息的光波，并探测该光波的光强，然后，计算随机涨落光场中所有像素的光强值，当随机涨落光场中连续多个像素的光强值相同时，重建随机涨落光场，对重建后的随机涨落光场的光强和光波的光强进行关联计算，得到对重建后的随机涨落光场的光强和光波的光强的强度关联项，根据该强度关联项，生成成像目标的图像。本发明还公开了一种成像装置，提高了图像的重建速度及分辨率。
随机涨落光场光强光波重建成像目标关联项像素成像方法及装置光学成像技术图像成像装置激光照射相位信息照明成像毛玻璃分辨率成像探测关联携带应用

1
2
3
4
5
下一页»
尾页
共 75 条