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[发明专利]一种用于光刻设备的温度控制装置及方法-CN202210212241.7在审
发明人：王魁波;孙家政;吴晓斌;丁金滨;罗艳;谢婉露;沙鹏飞;韩晓泉;马赫;谭芳蕊 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于光刻设备的温度控制装置及方法，属于光刻设备技术领域，解决的技术问题是在实现对硅片表面温度变化有效控制的前提下、避免引入线缆带来的环境污染问题。本发明包括：动态气体隔离装置、气体温度控制装置和高纯气源；所述气体温度控制装置和高纯气源设置在光刻设备的光刻设备主基板的外侧；所述动态气体隔离装置上设置清洁气体流动管道；所述清洁气体流动管道一端连接气体温度控制装置，另一端连接光刻设备内部；所述气体温度控制装置与高纯气源连接，且能够对高纯气源中存储的高纯清洁气体进行温度控制，本发明通过低温的高纯清洁气体对硅片进行温度控制，同时减少了污染。
一种用于光刻设备温度控制装置方法

[发明专利]一种隔振结构及用于激光器的叶轮转子系统-CN202011643720.1有效
发明人：吴劲松;刘斌;陈文斌;刘广义;徐向宇;江锐;丁金滨;冯泽斌 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F16F15/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种隔振结构，用于隔离一驱动装置对设备主体的振动，该隔振结构包括：隔板，其一侧与所述驱动装置固定连接，另一侧通过一柔性连接件与设备主体连接；减振单元，其与隔板固定连接，用于减弱所述隔板受驱动装置带来的振动。本公开还提供了一种用于激光器的叶轮转子系统。
一种结构用于激光器叶轮转子系统

[发明专利]一种双探测器波长测量装置和方法-CN202010754823.9有效
发明人：刘广义;江锐;冯泽斌;赵江山;丁金滨;殷青青;李一鸣;徐继涛 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种双探测器波长测量装置和方法，其中，所述波长测量装置包括：Fabry‑Perot标准具，用于接收光源输出的光束并产生干涉条纹；第一探测器，用于探测所述Fabry‑Perot标准具产生的干涉条纹；第二探测器，与所述第一探测器平行布置，用于探测所述Fabry‑Perot标准具产生的干涉条纹；处理器，用于根据所述第一探测器探测的干涉条纹和所述第二探测器探测的干涉条纹确定所述光源的波长。
一种探测器波长测量装置方法

[发明专利]一种金属氟化物捕获器及准分子激光器-CN202010535285.4在审
发明人：陈文斌;刘斌;丁金滨;江锐;冯泽斌 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B01D46/24 文献下载
摘要：本发明涉及激光技术领域，具体涉及一种金属氟化物捕获器及准分子激光器,包括：缸体、管束支撑板一、管束支撑板二、除尘管、过滤介质结构；若干除尘管的两端由管束支撑板一、管束支撑板二支撑固定后安装在缸体内，除尘管的两端穿设管束支撑板一、管束支撑板二，管束支撑板一、管束支撑板二与缸体密封设置，若干除尘管组成除尘管束，除尘管束上包覆有过滤介质结构，除尘管上开设有除尘管进气口，缸体上开设有进气口；携带带电金属氟化物颗粒的气流由缸体的进气口进入，经过过滤介质结构的过滤、经由除尘管进气口通过除尘管过滤后，在除尘管的两端口排出，由过滤介质结构及除尘管双重过滤，显著提高金属氟化物捕获器的金属氟化物过滤能力。
一种金属氟化物捕获准分子激光

[发明专利]一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装-CN202010194652.9在审
发明人：陈文斌;刘斌;丁金滨;江锐;沙鹏飞;冯泽斌 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： B23P21/00 文献下载
摘要：本发明属于激光技术领域，提供了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，包括底板、阳极装配装置和阴极装配装置；阳极装配装置和阴极装配装置设置于底板的同一个面上；阳极装配装置，用于支撑阳极基座；阴极装配装置，用于支撑阴极陶瓷板和阴极，使阴极装配于阴极陶瓷板上。本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，可以将其应用于装配流水线中，实现自动化装配，大幅提高了装配效率。
一种准分子激光放电阳极阴极组件装配工装

[发明专利]一种动态气体隔离装置以及极紫外光刻设备-CN202110663239.7在审
发明人：孙家政;王魁波;丁金滨;吴晓斌;马翔宇;季艺雯 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种动态气体隔离装置以及极紫外光刻设备，动态气体隔离装置包括隔离管道以及供气装置；隔离管道包括呈间隔设置的扩张管道段以及等截面管道段，扩张管道段的截面宽度沿远离等截面管道段的方向呈逐渐增大设置，等截面管道段的截面宽度沿远离扩张管道段的方向保持不变，扩张管道段与等截面管道段之间贯设有进气口；供气装置包括高纯气源和连接管道，连接管道的两端分别连通至进气口以及高纯气源；其中，所述扩张管道段连通至高清洁腔内，所述等截面管道段连通至次清洁腔内。等截面管道段内截面宽度不变，使得流入等截面管道段内的气流量增加，提高隔离管道的抑制效果，而无需加大气流量，且压强低，提高光束的透过率。
一种动态气体隔离装置以及紫外光刻设备

[发明专利]气体激光器电极及气体激光器-CN202010173428.1在审
发明人：刘斌;丁金滨;陈文斌;沙鹏飞;冯泽斌;江锐;周翊 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： H01S3/038 文献下载
摘要：本申请涉及激光技术领域，公开了一种气体激光器电极和使用该电极的气体激光器。其中，气体激光器电极包括相对设置的阳极和阴极；阳极和/或阴极的表面设置有放电表面和设置于放电表面一侧或两侧的冲击波抑制表面，冲击波抑制表面上设置有多个凹槽，凹槽用以使冲击波发生散射。本申请的气体激光器电极，在其非放电区域，具有能够打散冲击波和防止冲击波反射的表面结构，使得电极在能够进行稳定辉光放电的基础上，有效的抑制电极间的反射冲击波，减小其对放电和出光性能的影响。
气体激光器电极

[发明专利]一种激光输出耦合装置的调谐机构-CN202010058819.9在审
发明人：詹绍通;丁金滨;刘稚萍;刘斌;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-01-18 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置的调谐机构。调谐机构包括输出耦合镜组件和调节组件；调节组件包括底板，第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；底板设有第一光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在激光输出耦合装置上，耦合镜组件的定位块可转动地压紧在底板上的凹槽内；本发明提供的激光输出耦合装置的调谐机构有效解决了现有的一体式结构的旋杆调谐时由于摩擦力带来的旋转不畅现象。
一种激光输出耦合装置调谐机构

[发明专利]一种激光输出耦合装置-CN202010058848.5在审
发明人：詹绍通;丁金滨;刘稚萍;刘斌;江锐 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-01-18 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置。激光输出耦合装置，包括输出耦合镜组件，调节组件和安装板；调节组件的底板固定安装于安装板的一侧，输出耦合镜组件固定安装于安装板的另一侧；调节组件还包括第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；底板设有第一光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在激光输出耦合装置上，耦合镜组件的定位块可转动地压紧在底板上的凹槽内；本发明提供的激光输出耦合装置缓解了现有技术中存在的输出耦合装置调节难度高，且具有危险性的技术问题。
一种激光输出耦合装置

[发明专利]一种深紫外激光器的和频发生器-CN202010045103.5在审
发明人：王家赞;江锐;朱光;丁金滨;沙鹏飞;刘广义;赵江山;陈彬彬 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种深紫外激光器的和频发生器，包括：电磁源，产生沿传播路径发射的基本场；倍频装置、第一和频装置、双波长波片和第二和频装置，沿所述传播路径依次布置，其中，所述倍频装置用于使经过的所述基本场产生二倍频场，所述第一和频装置用于使经过的所述基本场和所述二倍频场和频以产生三倍频场，所述第二和频装置用于使经过的所述二倍频场和所述三倍频场和频以产生五倍频场，所述倍频装置与所述第一和频装置由同一种晶体构成。本发明实施例的和频发生器系统保证了五倍频和频效果。
一种深紫激光器频发

[发明专利]一种五倍频激光的和频方法-CN202010045107.3在审
发明人：王家赞;江锐;朱光;沙鹏飞;丁金滨;赵江山;刘广义;陈彬彬 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种五倍频激光的和频方法，包括：准备步骤：准备倍频装置、第一和频装置、双波长波片、第二和频装置以及电磁源；光路构建步骤：使得所述倍频装置、所述第一和频装置、双波长波片和所述第二和频装置沿所述传播路径依次布置，以便进行相位匹配；温度控制步骤：控制倍频装置、第一和频装置和第二和频装置的温度，所述倍频装置用于使经过的所述基本场产生二倍频场，所述第一和频装置用于使经过的所述基本场和所述二倍频场和频以产生三倍频场，并且所述第二和频装置用于使经过的所述二倍频场和所述三倍频场和频以产生五倍频场。本发明实施例的五倍频激光的和频方法保证了五倍频和频效果。
一种倍频激光方法

[发明专利]一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法-CN202010834222.9在审
发明人：刘广义;江锐;丁金滨;赵江山;冯泽斌;殷青青;刘明雷;纪伟 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01S3/104 文献下载
摘要：本发明提供了一种准分子激光器线宽和E95主动控制装置及方法，所述准分子激光器线宽和E95主动控制装置包括光谱测量模块、控制器及线宽压窄模块；其中，所述光谱测量模块用于接收所述准分子激光器输出的光，并产生干涉条纹；所述控制器用于根据所述干涉条纹确定所述激光器的线宽和E95的当前值，并根据所述线宽和E95的当前值与线宽和E95的目标值确定所述线宽压窄模块的运动信息；所述线宽压窄模块用于根据所述运动信息运动，从而实现所述激光器的线宽和E95的主动控制。
一种准分子激光宽和 e95 主动控制装置方法

[实用新型]一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装-CN202020355253.1有效
发明人：陈文斌;刘斌;丁金滨;江锐;沙鹏飞;冯泽斌 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： B23P21/00 文献下载
摘要：本实用新型属于激光技术领域，提供了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，包括底板、阳极装配装置和阴极装配装置；阳极装配装置和阴极装配装置设置于底板的同一个面上；阳极装配装置，用于支撑阳极基座；阴极装配装置，用于支撑阴极陶瓷板和阴极，使阴极装配于阴极陶瓷板上。本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，可以将其应用于装配流水线中，实现自动化装配，大幅提高了装配效率。
一种准分子激光放电阳极阴极组件装配工装

[实用新型]一种镜片调整装置-CN201921358427.3有效
发明人：陈文斌;丁金滨;刘斌;吴劲松;江锐;杨军红 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： A61F9/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种镜片调整装置，包括：调整架，用于支撑镜片，所述调整架包括镜片安装面和连接在镜片安装面底部的支撑腿；固定座，用于支撑固定所述调整架，所述支撑腿设置在所述固定座开设的凹槽中，所述固定座和所述调整架通过伸缩拉紧件连接；平移机构，所述平移机构包括第一螺纹副、导向件、所述第一螺纹副和所述导向件穿设在所述固定座上，调整所述第一螺纹副以推动所述支撑腿在凹槽中平移从而带动镜片平移；旋转机构，所述旋转机构设置在所述固定座的底部，所述旋转机构用于调整所述固定座一侧的高度从而带动镜片转动。上述镜片调整装置结构简单，且能实现镜片平移及旋转调整。
一种镜片调整装置

[实用新型]气体激光器电极及气体激光器-CN202020317292.2有效
发明人：刘斌;丁金滨;陈文斌;沙鹏飞;冯泽斌;江锐;周翊 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： H01S3/038 文献下载
摘要：本申请涉及激光技术领域，公开了一种气体激光器电极和使用该电极的气体激光器。其中，气体激光器电极包括相对设置的阳极和阴极；阳极和/或阴极的表面设置有放电表面和设置于放电表面一侧或两侧的冲击波抑制表面，冲击波抑制表面上设置有多个凹槽，凹槽用以使冲击波发生散射。本申请的气体激光器电极，在其非放电区域，具有能够打散冲击波和防止冲击波反射的表面结构，使得电极在能够进行稳定辉光放电的基础上，有效的抑制电极间的反射冲击波，减小其对放电和出光性能的影响。
气体激光器电极

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