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- [发明专利]一种二维材料的氧掺杂改性方法-CN201910465627.7有效
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杨奉佑;陈胜垚;王晓丰;刘前
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国家纳米科学中心
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2019-05-30
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2021-11-16
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C01G39/06
- 本发明提供了一种二维材料的氧掺杂改性方法。本发明提供的方法包括以下步骤:(1)将二维材料置于激光直写系统中,用定位系统找到待改性区域;(2)使用所述激光直写系统在步骤(1)所述待改性区域按照设定的图案进行激光直写,得到氧掺杂改性的二维材料。该方法通过利用定位系统精确定位二维材料的待改性区域,并按照图案对二维材料进行激光直写,可以实现对选定区域的氧掺杂改性,而不影响其他区域,该氧掺杂改性的方法精确度达到100nm;并且通过使用灰度图,根据所述灰度图的不同灰阶分别用不同能量的激光进行激光直写可实现不同掺杂位置具有不同的氧掺杂量,使得一个图形中的氧掺杂量可以连续变化,实现可控的梯度氧掺杂。
- 一种二维材料掺杂改性方法
- [实用新型]沟槽肖特基的栅极多晶硅-CN202122135645.4有效
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陆益;王毅
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扬州扬杰电子科技股份有限公司
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2021-09-06
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2022-01-25
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H01L29/06
- 提供了一种起到高介电常数绝缘层作用,阻挡磷掺杂多晶硅向栅氧扩散磷元素,避免因为栅氧中掺有磷元素导致的栅氧介电常数的变化,影响到栅氧质量的沟槽肖特基的栅极多晶硅。本实用新型包括形成于衬底正面的外延层和金属层;还包括栅氧区、无掺杂多晶硅区和磷掺杂多晶硅区;在磷掺杂多晶硅区和栅氧区之间,沉积了一层无掺杂多晶硅区。无掺杂多晶硅区起到高介电常数绝缘层作用,阻挡了磷掺杂多晶硅向栅氧扩散磷元素,避免因为栅氧中掺有磷元素导致的栅氧介电常数的变化,影响到栅氧的质量。本实用新型具有加工简便、避免因为栅氧中掺有磷元素导致的栅氧介电常数的变化等特点。
- 沟槽肖特基栅极多晶
- [发明专利]场效应晶体管及其制备方法-CN202310539611.2在审
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李雄
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长鑫存储技术有限公司
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2023-05-11
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2023-07-25
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H01L29/423
- 本申请提供一种场效应晶体管及其制备方法,涉及半导体技术领域,用于解决热载流子效应的技术问题,该场效应晶体管包括衬底,具有源极掺杂区、漏极掺杂区和沟道区,沟道区设置在源极掺杂区和漏极掺杂区之间;栅极覆盖衬底的沟道区,栅氧化层位于栅极和衬底的沟道区之间,在沿源极掺杂区至漏极掺杂区的方向上,栅氧化层具有相邻设置的第一栅氧层和第二栅氧层,第一栅氧层靠近源极掺杂区设置,第二栅氧层靠近漏极掺杂区设置,第二栅氧层的介电常数小于第一栅氧层的介电常数本申请能够降低场效应晶体管中漏极掺杂区周围的电场强度,从而改善热载流子效应,进而提升半导体器件的性能和工作可靠性。
- 场效应晶体管及其制备方法
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