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- [发明专利]混合线条的制造方法-CN201110263770.1有效
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唐波;闫江
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中国科学院微电子研究所
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2011-09-07
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2013-03-20
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H01L21/027
- 本发明提供了一种混合线条的制造方法，包括以下步骤：A、在底层上依次形成材料层、第一硬掩模层和第二硬掩模层；B、对第二硬掩模层光刻/刻蚀形成第二硬掩模图形；C、在第一硬掩模层上形成光刻胶掩模图形；D、以第二硬掩模图形和光刻胶掩模图形为掩模，刻蚀第一硬掩模层，形成第一硬掩模图形；E、以第一和硬掩模图形为掩模，刻蚀材料层，形成第一线条和第二线条。依照本发明的混合线条制造方法，将同一层次图形按线条大小进行拆分，大线条用普通光学曝光，小线条用电子束曝光，旨在不影响图形质量的前提下大幅缩减曝光时间。
- 混合线条制造方法
- [实用新型]胶片曝光装置-CN201220408290.X有效
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金尾正康;佐藤敬行;冨塚吉博
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株式会社V技术
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2012-08-17
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2013-03-13
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G03F7/20
- 一种胶片曝光装置，向胶片状的被曝光体上曝光掩模图形，通过抑制曝光面上产生的褶皱，而在曝光面上形成高精度的图形。确保用于配置对准摄像机的空间。胶片曝光装置(1)包括：胶片运送部(2)；光掩模(3)；掩模保持部(4)，将光掩模(3)保持在被曝光体F的曝光面a上；以及光照射部(5(5A、5B))，向光掩模(3)的掩模图形照射光。光掩模(3)具有沿被曝光体F的运送方向配置的第1掩模图形(31)和第2掩模图形(32)。胶片运送部(2)具有与第1掩模图形(31)和第2掩模图形(32)的位置对应而配置的一对支承辊(21、22)，用一对支承辊(21、22)支持曝光第1掩模图形(31)和第2掩模图形(32)的曝光面a的相反一侧的面
- 胶片曝光装置
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