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[实用新型]一种蒸镀用掩膜板和蒸镀掩膜结构-CN202021785843.4有效
发明人：王勇波;秦晓强 -专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀用掩膜板和蒸镀掩膜结构，其中，所述蒸镀用掩膜板包括蒸镀区和包围所述蒸镀区的外围区，所述蒸镀用掩膜板的外围区中具有贯穿蒸镀用掩膜板部分厚度的引线遮盖槽。所述蒸镀用掩膜板能够避免在蒸镀的过程中对基板引线区造成短路。
一种蒸镀用掩膜板蒸镀掩膜结构

[发明专利]掩膜板、蒸镀装置、蒸镀方法以及掩膜板中蒸镀开口的设计方法-CN201910399344.7有效
发明人：杨晓宇;罗昶;段芳芳;嵇凤丽 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2019-05-14 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板、蒸镀装置、蒸镀方法以及掩膜板中蒸镀开口的设计方法，涉及显示技术领域，可以提高蒸镀过程中待蒸镀基板与掩膜板之间的对位准确性。掩膜板上设置有多个蒸镀开口、以及至少一个第一检测用开口；第一检测用开口的尺寸小于蒸镀开口的尺寸；第一检测用开口靠近至少一个蒸镀开口设置。
掩膜板装置方法以及掩膜板中蒸镀开口设计

[发明专利]静电转移基板、装置、系统以及静电转移方法-CN202211091148.1在审
发明人：陈涛;彭春莲;瞿智明;赵宝杰;何信儒 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H05F3/02 文献下载
摘要：该静电转移基板用于转移蒸镀用掩膜版的静电，静电转移基板包括：层叠的衬底基板和金属层；金属层远离衬底基板的一侧用于与蒸镀用掩膜版的第一面接触，第一面为蒸镀用掩膜版在蒸镀时远离蒸镀源一侧的表面；金属层与蒸镀用掩膜版具有电位差本申请实施例实现了减弱甚至消除蒸镀用掩膜版上的静电，进而能够减弱甚至消除蒸镀用掩膜版上的静电对待镀基板造成的静电击伤，能够保证待镀基板的封装信赖性，进而能够保证显示面板的显示效果和良品率。
静电转移装置系统以及方法

[发明专利]蒸镀掩膜的制造装置以及制造方法-CN202110344384.9在审
发明人：山田哲行 -专利权人：株式会社日本显示器
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供品质稳定的蒸镀掩膜的制造装置及蒸镀掩膜的制造方法。并且提升作业者的作业效率。蒸镀掩膜的制造装置，包括：设置结构体的工作台，所述结构体设有蒸镀掩膜和与蒸镀掩膜相接的金属层；和从蒸镀掩膜将金属层剥离并进行卷绕的旋转辊。另外，蒸镀掩膜的制造方法包括：在设有蒸镀掩膜和与蒸镀掩膜相接的金属层的结构体中，一边用旋转辊卷绕金属层，一边使旋转辊沿着与结构体的一边大致平行的第1方向移动，从蒸镀掩膜将金属层剥离。
蒸镀掩膜制造装置以及方法

[发明专利]一种蒸镀工艺用清洁板及采用该清洁板的蒸镀工艺方法-CN200710023738.X无效
发明人：邱勇;徐粤;高裕弟 -专利权人：昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司
申请日： 2007-07-06 - 公布日： 2009-01-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀工艺用清洁板及采用该清洁板的蒸镀工艺方法，清洁板单面具有粘性；蒸镀工艺方法包括：提供一被蒸镀体，及一蒸镀用掩膜，还包括一单面具有粘性的清洁板，透过掩膜上的开孔以步进方式热蒸镀第一材料膜于被蒸镀体上的第一位置；利用清洁板与掩膜对应被蒸镀体的表面接触，清洁该掩膜；以及透过该经清洁过的掩膜上的开孔以步进方式热蒸镀第二材料膜于该被蒸镀体上的第二位置。本发明在不改变蒸镀设备的前提下，有效并从根本上去除蒸镀用掩膜上残存的杂质，从而降低蒸镀产品次品率；另外，掩膜经过多次清洗，其使用寿命会降低，精确度也会随之降低，本发明在保证掩膜清洁度的基础上，尽量减少清洗次数
一种工艺清洁采用方法

[发明专利]一种蒸镀用掩膜板-CN201810381805.3在审
发明人：罗程远 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀用掩膜板。能够增大该隔垫物与蒸镀用掩膜板之间的接触面积，增强隔垫物与该蒸镀用掩膜板之间的结合力，防止隔垫物在使用过程中发生剥落。本发明实施例提供一种蒸镀用掩膜板，包括：板状本体，该板状本体上开设有若干个通孔，该板状本体在蒸镀时朝向待蒸镀基板的一侧连接有隔垫物；该板状本体在蒸镀时朝向待蒸镀基板的一侧设置有凹槽，该隔垫物的一部分嵌设于该凹槽内本发明实施例用于制作蒸镀用掩膜板。
蒸镀隔垫物掩膜板板状本体蒸镀基板结合力剥落嵌设通孔掩膜外部制作

[发明专利]蒸镀用掩膜板、显示面板及其制备方法-CN201910206626.0在审
发明人：严哲;余威 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2019-03-19 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种蒸镀用掩膜板、显示面板及其制备方法。该蒸镀用掩膜板包括遮挡板，遮挡板上分布有若干个预设形状的开口，在蒸镀用掩膜板的作业面一侧每个开口与邻近开口之间的遮挡板上刻蚀出隔离层凸起，作业面为蒸镀用掩膜板蒸镀时用于与基板贴合的那一面。本发明实施例中在使用蒸镀用掩膜板蒸镀时，隔离层凸起可以阻挡蒸镀时的发光材料进入其他的像素开口区域，将蒸镀时的发光材料限定在每个开口所对应的像素开口区域范围以内，因此有效减少了相邻像素之间混色的概率，单个像素的发光材料得到集中
蒸镀掩膜板显示面板发光材料遮挡板开口像素开口隔离层作业面凸起制备单个像素发光效率基板贴合相邻像素阴影效果有效减少预设形状混色刻蚀邻近阻挡概率

[发明专利]一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板和蒸镀方法-CN201611044758.0在审
发明人：李军;王卫卫 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2016-11-22 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种有机发光二极管的蒸镀用掩膜板和蒸镀方法，所述蒸镀用掩膜板至少包括第一掩膜板和第二掩膜板，其中：所述第一掩膜板包含第一边缘；所述第二掩膜板包含第二边缘；所述第一边缘和所述第二边缘配合，使得所述第一掩膜板和所述第二掩膜板之间的空隙被遮挡，所述第一边缘、所述第二边缘以及所述空隙为非蒸镀部分。通过相邻掩膜板的边缘相互配合，对相邻掩膜板之间的非蒸镀部分进行遮挡，确保掩膜板的蒸镀部分的平整度，有效提高有机发光二极管蒸镀的良品率。
掩膜板蒸镀有机发光二极管遮挡边缘配合良品率平整度配合

[实用新型]OLED蒸镀用掩膜板-CN201220434085.0有效
发明人：高昕伟 -专利权人：四川虹视显示技术有限公司
申请日： 2012-08-29 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够提高蒸镀品质的OLED蒸镀用掩膜板。本申请的蒸镀掩膜板包括设置在掩膜板本体上的至少一个蒸镀单元，每一个蒸镀单元包含呈规则排列的蒸镀缺口，所述掩膜板本体上位于其蒸镀单元处的厚度小于该掩膜板本体的外形厚度。由于掩膜板本体上位于其蒸镀单元处的厚度较小，因此可减小该处受重力影响而产生的下垂现象，同时能够减少阴影效应所导致的质量问题，由此提高蒸镀品质。
oled 蒸镀用掩膜板

[实用新型]蒸镀掩膜板-CN201220016280.1有效
发明人：魏志凌;高小平 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-16 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀掩膜板，其特征在于，至少包括两层结构，各层开口尺寸逐层增大。本实用新型提供的一种蒸镀掩膜板，其制作方式为电铸的方式，提高了OLED蒸镀用掩膜板的位置精度；提高了OLED蒸镀用掩膜板开口尺寸的精度；能够任意控制上下开口的角度，以满足蒸镀要求，生产效率高、成本低具有广阔的市场前景
蒸镀掩膜板

[发明专利]掩膜条、掩膜板及显示面板的制备方法-CN202011391331.4有效
发明人：韩冰;刘明星;李文星;李伟丽;方旭阳 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种掩膜条、掩膜板及显示面板的制备方法。本申请第一方面提供一种掩膜条，包括图案蒸镀区及相邻两个图案蒸镀区之间的遮挡区，图案蒸镀区包括：蒸镀开口，在图案蒸镀区呈阵列分布；抗拉应力部，在掩膜条的张网方向上位于相邻两个蒸镀开口之间，抗拉应力部包括朝向蒸镀开口的第一变形边缘；掩膜条具有复位状态，在复位状态下，第一变形边缘朝向蒸镀开口内凹进。设置抗拉应力部增大掩膜条整体强度，避免掩膜条张网过程中发生破损，提升用该掩膜条制备显示面板阴极层的良率。
掩膜条掩膜板显示面板制备方法

[实用新型]一种蒸镀用掩膜板组件-CN201720686923.6有效
发明人：张峰杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀用掩膜板组件，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口，其中，所述掩膜板组件还包括遮挡部，所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态；其中在所述第一状态下，所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。该蒸镀用掩膜板组件通过设置能够贴附在掩膜板本体、又能够与腌膜板本体分离的遮挡部，使得蒸镀过程中，蒸镀材料中未穿过掩膜板本体上开口的材料能够沉积在遮挡部上，进行清理时，只需要将遮挡部取下即可，方便、省力，从而能够解决现有技术掩膜板本体上沉积蒸镀材料难以清理的问题。
一种蒸镀用掩膜板组件

[发明专利]一种蒸镀用掩膜组件-CN201711257634.5有效
发明人：余威 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L51/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种蒸镀用掩膜组件。其中，蒸镀用掩膜组件包括：框架，用于设置掩膜垫；支撑件，与框架相连接以用于承托掩膜垫；掩膜垫，设于支撑件上以用于平衡支撑件因重力下垂产生的形变高度差。通过上述组件，可以有效改善掩膜板下垂问题，优化蒸镀效果。
一种蒸镀用掩膜组件

[发明专利]掩膜板及其制造方法-CN201810450851.4在审
发明人：单为健;王亚玲;罗志忠;黄俊杰 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板及其制造方法，掩膜板包括：掩膜框架，围合形成蒸镀区；若干间隔排布设置在蒸镀区第一方向上的第一掩膜条；若干间隔排布设置在蒸镀区第二方向上的第二掩膜条；第一掩膜条和第二掩膜条相互交错；第一掩膜条、第二掩膜条以及掩膜框架围合形成的若干蒸镀单元；若干用于调整蒸镀单元蒸镀面积的蒸镀调整结构，蒸镀调整结构设置在第一掩膜条上和/或第二掩膜条上。上述掩膜板，第一掩膜条、第二掩膜条、掩膜框架以及蒸镀调整结构可对被蒸镀屏体进行部分遮挡而避免蒸镀材料在蒸镀调整结构对应位置沉积，因此使被蒸镀屏体形成有与蒸镀单元形状相同的覆盖蒸镀材料的蒸镀区，从而为该遮挡区域的后续切割提供了便利，简化了蒸镀过程。
蒸镀掩膜条调整结构掩膜板掩膜间隔排布设置蒸镀材料屏体围合单元形状遮挡区域沉积遮挡交错切割制造便利覆盖

[发明专利]蒸镀掩膜、蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法-CN201680083276.8有效
发明人：西田光志;岸本克彥 -专利权人：鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供一种在蒸镀材料蒸镀后，可以统一且以确实短的时间执行蒸镀掩膜的分离的蒸镀方法、蒸镀掩膜及蒸镀装置。包括：形成蒸镀掩膜(1)的步骤(S1)，所述蒸镀掩膜(1)具有至少一部分由强磁性体构成的金属层(金属支承层)；磁化金属层的步骤(S2)，通过对蒸镀掩膜(1)的金属层施加电磁场来磁化金属层；吸附步骤(S3)，被蒸镀基板(2)与蒸镀掩膜(1)的位置对准后，使电磁石(3)中间夹住被蒸镀基板(2)吸附蒸镀掩膜(1)；堆积步骤(S4)，在蒸镀掩膜(1)的对置侧配置蒸镀源(5)，从蒸镀源(5)蒸发蒸镀材料，在被蒸镀基板(2)上堆积蒸镀材料；以及分离步骤(S5)，通过使电磁石(3)产生排斥蒸镀掩膜(1)的磁场，从蒸镀掩膜(1)分离电磁石(3)及被蒸镀基板(2)。
蒸镀掩膜装置方法有机 el 显示装置制造

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