[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模形成用聚酰胺酸、蒸镀掩模形成用层叠体及蒸镀掩模的制造方法

摘要

本发明提供一种蒸镀掩模、蒸镀掩模形成用聚酰胺酸、蒸镀掩模形成用层叠体及蒸镀掩模的制造方法。在蒸镀掩模等层叠体中有效地抑制翘曲的产生。蒸镀掩模包括：金属层，具有多个开口部；以及单层或多层的聚酰亚胺层，层叠于金属层上且具有位于开口部的开口范围内的贯通孔。关于蒸镀掩模，金属层的热膨胀系数(CTE)为5ppm/K以上且15ppm/K以下的范围内，聚酰亚胺层的热膨胀系数(CTE)相对于金属层的热膨胀系数(CTE)而为±5ppm/K的范围内，且聚酰亚胺层的拉伸弹性模量为4.5GPa以上且小于8GPa的范围内。金属层优选为利用半加成工法来形成。

主权项

1.一种蒸镀掩模，其为用于在被蒸镀体上蒸镀形成固定形状的薄膜图案的蒸镀掩模，且其特征在于包括：金属层，具有多个开口部；以及单层或多层的聚酰亚胺层，层叠于所述金属层上且具有位于所述开口部的开口范围内的贯通孔，并且所述贯通孔形成与所述薄膜图案对应的开口图案，并且所述金属层的热膨胀系数为5ppm/K以上且15ppm/K以下的范围内，所述聚酰亚胺层的热膨胀系数相对于所述金属层的热膨胀系数而为±5ppm/K的范围内，且所述聚酰亚胺层的拉伸弹性模量为4.5GPa以上且小于8GPa的范围内。