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[发明专利]一种改进的相移相位测量方法及系统-CN202111157053.0有效
发明人：李娇声;章勤男 -专利权人：广东技术师范大学
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：本发明公开一种改进的相移相位测量方法及系统，包括以下步骤：数据获取，获取两幅差分干涉图，其中，差分干涉图为获取的干涉图两两相减去除背景项后的图；数据处理，将差分干涉图的表达式用矩阵的形式来表示，然后利用因式分解的方法对矩阵不断迭代，直至收敛，计算得到与待测相位和相移量相关的向量；计算，基于相关的向量，计算待测相位。本技术方案不需要进行长时间的迭代，且不需要任何近似条件的假设，对干涉图的条纹数量、形状以及相移量分布没有要求，即可快速得到高精度的相移相位测量结果。
一种改进相移相位测量方法系统

[实用新型]一种激光干涉量测设备-CN202223430450.3有效
发明人：刘东洋;叶尚苍;廖林平;李伟清 -专利权人：深圳市捷创智通科技有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种激光干涉量测设备，其技术方案要点是，包括：安装座、用于发出入射光的激光器、用于对入射光进行汇聚的第一透镜、用于将汇聚后的入射光分为第一光束和第二光束的分光镜、用于对第一光束起发散作用的第二透镜、用于接收发散后的第一光束的第一受光器、用于对第二光束起发散作用并对第二光束的反射光束进行汇聚的第三透镜及用于接收经分光镜反射的汇聚后的反射光束的第二受光器；激光器、分光镜、第一透镜、第二透镜、第一受光器和第二受光器设置在安装座内；安装座上开设有供第二光束射出和入射光束射入的透光孔；第三透镜设置在透光孔内；本申请具有减少了第一光束对反射光束的干扰，便于更精准地测量物体的位移量效果。
一种激光干涉设备

[发明专利]镜斑位置校准方法、光刻设备和器件制造方法-CN202180078767.4在审
发明人： J·M·T·A·阿德里安斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：一种用于校准干涉仪系统的反射镜上的斑点位置的方法，干涉仪系统包括至少两对干涉仪，用于提供物体围绕旋转轴的旋转位置的冗余测量，其中方法包括以下步骤：a.旋转物体；b.使用至少两对干涉仪中的每一对干涉仪来测量物体围绕旋转轴的旋转位置的变化；c.确定由至少两对干涉仪中的一对干涉仪测量的旋转位置的变化与由至少两对干涉仪中的另一对干涉仪测量的旋转位置的变化相比或者与由两对或更多对干涉仪测量的旋转位置的平均变化相比的偏差；以及d.基于所确定的偏差，获得与至少两对干涉仪中的所述一对干涉仪的反射镜上的斑点位置有关的信息。
位置校准方法光刻设备器件制造

[发明专利]基于平面光路设计的非闭合光路波阵面分割干涉仪-CN202310187907.2在审
发明人：董仕 -专利权人：重庆米森科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：本申请提供了一套对波阵面为平面的电磁波进行波阵面分割、并对分割后的两束光进行转折导向到不同的空间向量对向量信号进行采集后再合束检测、并在尽可能不产生色散的情况下设计出两有效光束等效光程相等的结构、去解决闭合路径的环路波长增量或频率增量始终为0的问题；从而解决欧式几何体系下的被测对象各向异性参数的有效测量问题，尤其适合浸入式物理对象，如液体、气体、等离子体等对象的空间各向异性参数测量。
基于平面设计闭合光路波阵面分割干涉仪

[发明专利]一种双角度激光干涉系统-CN202211642589.6在审
发明人：杜凯;张为国;尹韶云;王金玉;李俊;张辉 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院;重庆大学
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：本发明涉及干涉光谱成像技术领域，公开了一种双角度激光干涉系统，包括光源单元、干涉单元、分光单元以及图像获取单元，光源单元用于向分光单元发射平行光束，分光单元用于分射光束，干涉单元包括第一样品臂、第二样品臂以及参考臂，激光光源发射的光束经分光单元反射及透射后分别形成第一光束以及第二光束，第一光束和第二光束分别获取第一物光、第二物光和参考光，图像获取单元能够根据参考光、第一物光以及第二物光获取待测样品的两个视角的干涉成像；从而实现了在不改变物体位置的情况下对样品的两个角度同时进行干涉成像，且在不影响测量效率的前提下，覆盖了样品两倍的角度范围，能够拓展了干涉仪的应用范围。
一种角度激光干涉系统

[实用新型]一种微型化激光干涉仪-CN202222539507.7有效
发明人：吴光;庞程凯;李召辉;杨雷;张虹桥;陆思诺 -专利权人：华东师范大学
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微型化激光干涉仪，其特点是该激光干涉仪由微型化稳频光源模块、干涉光路模块、角反射镜和数据处理模块组成，将其集成在一起，实现微型化设计，所述干涉光路模块包括：微型化分束器、微型化角反射镜、玻片和微型化光电探测器，利用玻片实现参考光相位调制；所述探测光通过安装于目标物上的角反射器返回后与参考光干涉，并由光电探测器探测；所述数据处理模块对光电探测器输出信号进行处理，实现具有运动方向判断功能的高精度位移测量。本实用新型与现有技术相比具有微型化、低成本的优点，使应用不再受到安装空间的限制，可广泛应用于狭窄环境下的精密测量领域，进一步拓宽了激光干涉仪在工业环境中的应用场景。
一种微型激光干涉仪

[发明专利]用于多光束光学相干断层扫描的系统、方法和介质-CN202080088496.6在审
发明人： B·瓦科克;Y·金 -专利权人：通用医疗公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：提供了用于多光束光学相干断层扫描的系统、方法和介质，在一些实施例中，它们包括：光源；分路器，该分路器将光的一部分输出到各个波导；光学部件，该光学部件接收来自波导的光并将光引导作为同时在不同的侧向位置处撞击样本的光束，并收集来自侧向位置的反向散射光；另一分路器，该另一分路器将光的一部分作为参考光样本输出到参考臂的波导；混合器，该混合器接收反向散射光样本和参考光样本，并将每个反向散射样本与对应的参考样本进行组合，使得混合器输出条纹；以及检测器，该检测器接收条纹并输出OCT信号，每个OCT信号指示在相应侧向位置处的样本的结构。
用于光束光学相干断层扫描系统方法介质

[发明专利]干涉仪模块-CN201710222191.X有效
发明人： G·德博尔;T·A·乌姆斯;N·弗奇尔;G·C·A·库维利尔斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：本发明涉及一种适用于测量参考反射镜和测量反射镜之间的位移的方向的差分干涉仪模块。在实施例中，差分干涉仪模块适用于将三种参考光束向着第一反射镜发射并将三种测量光束向着第二反射镜发射，以便确定所述第一反射镜和所述第二反射镜之间的位移。在优选实施例中，该同一模块也适用于测量绕两个垂直轴的相对旋转。本发明还涉及一种用于测量这样的位移和旋转的方法。
干涉仪模块

[实用新型]一种迈克尔逊干涉仪-CN202122346196.8有效
发明人：陈钢;刘敏 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：一种迈克尔逊干涉仪，包括底座，底座上设有传统迈克尔逊干涉仪，传统迈克尔逊干涉仪包括可前后移动的M2动镜，M2动镜的前方设有从左至右依次排列的G1分光板、G2补偿板和M1定镜，M1定镜与M2动镜垂直设置，G1分光板的左侧设有光源，G1分光板的前方设有用于观察干涉条纹的光屏，将传统迈克尔逊干涉仪中的M2动镜和M1定镜由原来的平面镜替换为凹面镜，所述凹面镜的曲率半径≤100mm。本实用新型利用凹面镜的汇聚扩散特点，增大光斑面积和强度，使干涉效果更明显且更容易获得，使传统迈克尔逊干涉仪中两个平面镜组成的平平腔需严格保证垂直的缺点得以改正。
一种迈克干涉仪

[发明专利]干涉图像取得装置和干涉图像取得方法-CN201880085772.6有效
发明人：山内丰彦;后藤谦太郎;松井永幸;平川聪史;山田秀直 -专利权人：浜松光子学株式会社;国立大学法人浜松医科大学
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01B9/02018 文献下载
摘要：干涉图像取得装置(1)包括光源(11)、分光镜(12)、物镜(13)、物镜(14)、第2反射镜(15)、镜筒透镜(16)、分光镜(17)、摄像器(18)和第1反射镜(20)。在透明件(容器(70)的底部)的一侧配置有细胞(73)，在该透明件的另一侧配置有第1反射镜(20)。在双光束干涉计中，由第1反射镜(20)反射的第1光束的光程与由第2反射镜(15)反射的第2光束的光程之间的光程差为从光源(11)输出的光的相干长度以下。摄像器(18)在摄像面与第1反射镜(20)之间的第1光学系统中相对于摄像面共轭的位置配置有细胞(73)的状态下取得干涉图像。由此，能够实现在反射镜与对象物彼此隔开间隔时能够取得鲜明的干涉图像的装置和方法。
干涉图像取得装置方法

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