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[发明专利]一种多普勒干涉仪校准调试系统、校准方法及调试方法-CN202110759706.6有效
发明人：陈舒越;易贤;郭向东;刘森云;魏龙涛 -专利权人：中国空气动力研究与发展中心低速空气动力研究所
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01M9/06 文献下载
摘要：本发明适用于一种结冰实验装置技术领域，提供了一种多普勒干涉仪校准调试系统、校准方法及调试方法。所述系统可以用于技术人员对结冰实验中的多普勒干涉仪进行辅助校准与调试，包括：多普勒干涉仪、支架，校准组件、调试组件；所述校准组件和所述调试组件安装于所述支架上；校准时，所述校准组件伸入所述多普勒干涉仪的光学采样区；调试时，所述调试组件向所述多普勒干涉仪的光学采样区喷雾。采用此系统，可以有效避免普勒干涉仪校准时，光学采样区悬浮的小液滴或杂质对相位校准造成的干扰，还可以对多普勒干涉仪的工作状态进行预估，在真正的风洞喷雾实验前，即可确定多普勒干涉仪是否能成功采集信号，进而避免人力和物力的浪费
一种多普勒干涉仪校准调试系统方法

[发明专利]双干涉仪级联游标增敏的少模光纤温度传感器及其系统-CN202210224327.1有效
发明人：文晓艳;林国辉;黎敏;吕海飞;李明钰 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种双干涉仪级联游标增敏的少模光纤温度传感器及其系统，双干涉仪级联游标增敏的少模光纤温度传感器包括：少模光纤干涉仪和单模光纤干涉仪；少模光纤干涉仪的结构为错位熔接的单模光纤‑少模光纤‑单模光纤，单模光纤干涉仪的结构为错位熔接的单模光纤‑单模光纤‑单模光纤；少模光纤干涉仪与单模光纤干涉仪串联连接；当目标温度发生变化时，少模光纤干涉仪和单模光纤干涉仪的峰值波长发生相反方向的移动形成包络谱，以实现双干涉仪级联游标增敏的少模光纤温度传感器的温度灵敏度检测
干涉仪级联游标光纤温度传感器及其系统

[发明专利]一种抑制光频域反射仪的激光器非线性扫描装置和方法-CN201110226965.9有效
发明人：刘铁根;刘琨;丁振扬;江峻峰;李定杰 -专利权人：天津大学
申请日： 2011-08-09 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： H04B10/08 文献下载
摘要：一种抑制光频域反射仪的激光器非线性扫描影响的装置和方法。该装置主要包括主干涉仪和附加干涉仪，附加干涉仪采用双法拉第旋转镜反射，抑制了干涉仪中偏振衰落现象。在主干涉仪中采用平衡探测技术，抑制系统共模噪声，提高系统信噪比3dB以上。方法上，对附加干涉仪的拍频干涉信号采用希尔伯特算法，提取出光频信息，再利用非均匀快速傅里叶变换技术（NUFFT）对主干涉仪的拍频信息进行处理，达到抑制光频非线性扫描的效果，压窄反射峰300倍以上，提高光频域反射仪的空间分辨率
一种抑制光频域反射激光器非线性扫描装置方法

[发明专利]位置测量系统、干涉仪系统和光刻装置-CN201980024003.X在审
发明人： C·J·C·斯库尔曼斯;J·M·T·A·阿德里安斯;T·沃斯 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于确定物体的位置的位置测量系统，该位置测量系统包括第一干涉仪和第二干涉仪，该第一干涉仪和第二干涉仪被布置为当物体处于第一测量区域时通过将束发射到物体的目标表面上来确定物体在第一方向上的距离位置测量系统还包括第三干涉仪和第四干涉仪，该第三干涉仪和第四干涉仪被布置为当物体处于第二测量区域时通过将束发射到物体的目标表面上来确定物体在第一方向上的距离。来自第一干涉仪和第二干涉仪所发射的束的撞击在目标表面上的束斑在第二方向上的相对位置的布置与来自第三干涉仪和第四干涉仪所发射的束撞击在目标表面上的束斑在第二方向上的相对位置的布置不同。
位置测量系统干涉仪光刻装置

[发明专利]多轴激光位移测量系统中干涉仪的安装偏差标定方法-CN201711013864.7有效
发明人：朱煜;胡金春;杜胜武;尚恩垚;张鸣;尹文生;杨开明;成荣 -专利权人：清华大学
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：多轴激光位移测量系统中干涉仪的安装偏差标定方法，所述方法是在激光干涉仪位移测量系统中，增加一个或多个冗余干涉仪。然后建立包含激光干涉仪安装偏差的位移解算方程，通过连续测量多个位置点的位移信息，得到冗余测量信息，组合形成的位移解算方程个数等于未知量个数，进而利用此方程组求解得到干涉仪的安装偏差。本发明采用冗余布置激光干涉仪方法，实现其安装偏差自标定。本发明无需借助其他更高精度的位移传感器，可解决工业应用中多轴干涉仪安装偏差难以标定的问题。
激光位移测量系统干涉仪安装偏差标定方法

[发明专利]一种双波长复合激光干涉仪系统-CN202210478556.6有效
发明人：刘海庆;解家兴;魏学朝;张际波;揭银先 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01B9/02003 文献下载
摘要：本发明公开了一种双波长复合激光干涉仪系统，包括远红外干涉仪光路模块、双波导、微波干涉仪光路模块和双层平台；远红外干涉仪光路模块包括远红外波段气体激光器、远红外激光器台面光路和远红外激光干涉仪光路器件；远红外激光干涉仪光路器件用于进行分束，并接收角反射镜返回的光束；微波干涉仪光路模块包括两台微波固体源和微波干涉仪光路器件，用于进行分束并将微波光束和远红外光束进行合束，实现角反射镜的振动误差补偿。本发明实施例提供的双波长复合激光干涉仪系统，可以精确测量等离子体中心到边界多个位置的等离子体电子密度，其中一束光束由两种波长的激光同时共线测量，可以对装置顶部角反射镜进行振动补偿，提高了干涉仪的测量精度
一种波长复合激光干涉仪系统

[发明专利]利用光纤光栅及波分复用技术的台阶高度在线测量系统-CN200710122404.8无效
发明人：谢芳;张琳 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2007-09-25 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用光纤光栅及波分复用技术的台阶高度在线测量系统。利用光纤光栅反射布拉格波长特性和波分复用技术构成光纤复合干涉仪，该干涉仪含二个反射镜独立光路几乎重合的光纤迈克尔逊干涉仪。一个干涉仪用于测量；另一个干涉仪用于稳定，经反馈控制电路补偿环境干扰对测量系统的影响，从而使系统适用于在线测量。谱宽40nm的超辐射发光二极管发出的光被三个布拉格波长不同的光纤光栅反射包含三个波长的光进入系统，一个波长作用于稳定干涉仪中，稳定系统；另二个波长作用于测量干涉仪中，产生合成波干涉，实现测量。调节作用于测量干涉仪的二个波长的大小，可得不同大小的合成波长，实现对不同高度台阶测量。
利用光纤光栅波分复用技术台阶高度在线测量系统

[发明专利]一种干涉仪装配质量检测系统-CN201611244555.6有效
发明人：杨建华;时东海;马瑞;黄磊;任娟;黄鑫岩;龙娅;陈欣 -专利权人：北京航天时代光电科技有限公司
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种干涉仪装配质量检测系统，由测试系统与被测干涉仪光路组成完整保偏光纤陀螺最小互易性结构，本发明可以通过探测器输出电压判断干涉仪光路装配损耗，提前发现干涉仪光路损耗问题，提高装配合格率，降低生产成本。
一种干涉仪装配质量检测系统

[发明专利]数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统及方法-CN201610070593.8有效
发明人：黎碧莲;黄金培 -专利权人：黎碧莲;黄金培
申请日： 2016-02-01 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种数显式迈克尔逊干涉仪自动化测量系统及方法，所述系统包括微调手轮驱动装置、干涉环测量装置、控制数显主机、迈克尔逊干涉仪以及干涉条纹观测屏；所述微调手轮驱动装置将迈克尔逊干涉仪的微调手轮卡住，带动微调手轮同步转动，使迈克尔逊干涉仪的动镜前进或后退；所述干涉环测量装置设置在干涉条纹观测屏上，并与微调手轮驱动装置连接；所述控制数显主机与微调手轮驱动装置连接。本发明系统结构精巧、合理，使用方便，满足了迈克尔逊干涉仪工作时的平稳运行的要求，保证了迈克尔逊干涉仪的测量精度，具有在同类产品中使用更广泛、性价比更高等优点。
数显式迈克干涉仪自动化测量系统方法

[实用新型]用于时间相位编码量子密钥分发系统的封装结构及封装系统-CN202120976163.9有效
发明人：陈柳平;王林松;王其兵;范永胜;万相奎 -专利权人：国开启科量子技术（北京）有限公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H04L9/08 文献下载
摘要：本实用新型公开的用于时间相位编码量子密钥分发系统的封装结构，涉及量子通信领域，包括不等臂干涉仪、第一等臂干涉仪和第二等臂干涉仪，其中，第一等臂干涉仪的输出端与不等臂干涉仪的输入端光连接，第一等臂干涉仪包括第一耦合器、第二耦合器和第一热光调制器；不等臂干涉仪包括第二耦合器和第三耦合器，第一等臂干涉仪被配置为维持输入不等臂干涉仪的两个臂的光信号的强度一致；第二等臂干涉仪包括第四耦合器、第五耦合器、电光调制器和第二热光调制器，被配置为制备诱骗态的光信号，实现了基于时间相位编码的量子密钥分发系统发送端的集成化，减小了体积、降低了成本高且易于维护、提高了稳定性。
用于时间相位编码量子密钥分发系统封装结构

[发明专利]基于补偿干涉仪的串联式全场光学层析成像装置及方法-CN201610814446.7有效
发明人：高万荣;郭英呈;朱越 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2016-09-12 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于补偿干涉仪的串联式全场光学层析成像装置及方法。该装置包括宽带卤素光源、科勒照明系统、补偿干涉仪、第二分光棱镜、探测干涉仪、样品、成像透镜和面阵CCD；方法为：宽带卤素光源发出的光经过科勒照明系统进入补偿干涉仪，经补偿干涉仪两臂反射回来的光被第二分光棱镜分成两束光，其中一束进入探测干涉仪，进入探测干涉仪的光一部分被反射、另一部分穿过探测干涉仪对样品照明；经由探测干涉仪的反射光作为参考光，该参考光和样品的后向散射光相遇发生干涉，该干涉信号穿过第二分光棱镜后，经过成像透镜聚焦到面阵
基于补偿干涉仪串联式全场光学层析成像装置方法

[发明专利]一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法-CN201910812967.2在审
发明人：段发阶;张聪;傅骁;刘文正;苏宇浩;鲍瑞伽 -专利权人：天津大学
申请日： 2019-08-29 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本发明公开一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法。标定系统包括直线度测量机构、激光干涉仪激光头、激光干涉仪干涉镜、激光干涉仪角锥棱镜和位移台，直线度测量机构由激光器、二维位置探测器、固定端基座和角锥棱镜组成，激光器和二维位置探测器均固定在固定端基座上，激光器的出射激光照射到角锥棱镜，经过角锥棱镜后的回射激光照射到二维位置探测器上，所述角锥棱镜放置于位移台上；激光干涉仪角锥棱镜放置于位移台上，位移台能够沿x方向水平移动，激光干涉仪干涉镜放置在激光干涉仪激光头与激光干涉仪角锥棱镜之间，使激光干涉仪激光头内激光干涉从而实现位移台的位移测量。
激光干涉仪角锥棱镜直线度测量二维位置激光器激光头位移台探测器标定系统激光照射干涉镜固定端收发一体式方向水平激光干涉激光准直位移测量出射回射移动

[发明专利]一种双干涉仪的空气折射率廓线的测量系统及方法-CN201710345129.X有效
发明人：刘志刚;刘哲;邓忠文;贾星宇 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开一种双干涉仪的空气折射率廓线的测量系统及方法，系统包括激光器、光纤分束器、参考干涉仪、测量干涉仪、数据采集卡和计算机；激光器输出的调谐激光通过光纤分束器分成两束，一束激光通过第一光纤准直器后，进入参考干涉仪形成干涉，参考干涉仪的干涉信号由第一光电探测器进行接收；另一束激光通过第二光纤准直器后，进入测量干涉仪形成干涉，测量干涉仪的干涉信号由第二光电探测器进行接收；第一光电探测器和第二光电探测器通过数据采集卡连接计算机本发明可以直接测量路径上空气折射率廓线，扩大了空气折射率的测量范围，降低了测量成本，提高了系统的测量精度和鲁棒性。
光电探测器空气折射率干涉参考干涉仪测量干涉仪光纤分束器光纤准直器数据采集卡激光干涉信号测量激光器廓线调谐测量成本测量系统直接测量鲁棒性计算机参考输出

[发明专利]一种光束间不平行角度的补偿方法-CN201010592293.9有效
发明人：李煜芝;许琦欣;孙刚 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-16 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：发明提供一种光束间不平行角度的补偿方法，该方法应用于光刻机系统，该光刻机系统包括基底台、第一方向干涉仪和与该第一方向垂直的第二方向干涉仪，包括：该基底台沿着该第一方向步进，由该第一、第二方向干涉仪同步测量，得到该第一方向干涉仪光束间不平行角度；该基底台沿着该第二方向步进，由该第一、第二方向干涉仪同步测量，得到该第二方向干涉仪光束间不平行角度；分别补偿该第一方向干涉仪和该第二方向干涉仪光束间不平行角度。本发明通过补偿干涉仪光束间的不平行角度，得到正确的长条镜面形，进而对测量位置进行面形补偿，提高基底台控位准确性，提高光刻机系统的精度。
一种光束平行角度补偿方法

[发明专利]用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、测量系统和方法-CN201110053279.6无效
发明人：王珍媛;张志平;吴萍;张晓文;池峰 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-03-07 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱、干涉仪热漂移系数的测量系统和干涉仪热漂移系数的测量方法，所述用于测量干涉仪热漂移系数的温控箱，包括：箱体、加热装置、用于承载干涉仪的微晶玻璃和测量反射镜，所述箱体上设置有视窗，所述加热装置、微晶玻璃和测量反射镜置于所述箱体内，所述微晶玻璃靠近所述视窗，所述干涉仪置于所述微晶玻璃的靠近所述视窗的一端，所述测量反射镜置于所述微晶玻璃上并且与所述干涉仪出光面贴合达到了精确、方便地得到干涉仪热漂移系数η的目的。
用于测量干涉仪漂移系数温控系统方法