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[发明专利]基于虚拟参考腔和游标效应的高灵敏大范围干涉测量方法-CN202210448649.4有效
发明人：董小鹏;关云卿 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：基于虚拟参考腔和游标效应的高灵敏大范围干涉测量方法，涉及光学信号处理领域。包括以下步骤：1)确定传感干涉仪的自由光谱宽度和腔长；2)确定参考干涉仪的腔长；3)确定测量过程中的灵敏度放大因子；4)大范围测量时，传感干涉仪的腔长与虚拟参考干涉仪的腔长的差增大，当灵敏度放大因子下降到预先设定的最小值时，调整虚拟参考干涉仪的腔长，使恢复到初始值；5)重复步骤4)，直至测量结束。基于数值仿真构造虚拟参考干涉仪，不受环境因素和被测物理量的影响而发生变化，极大地简化系统结构，降低成本、提高稳定性；保证传感干涉仪在大范围测量时，传感系统始终保持很高的灵敏度，实现方式灵活可靠。
基于虚拟参考游标效应灵敏范围干涉测量方法

[发明专利]一种宽带干涉仪闪电定位系统的系统误差模拟和优化方法-CN202110174719.7有效
发明人：范祥鹏;张义军;王国印 -专利权人：珠海复旦创新研究院
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01W1/18 文献下载
摘要：本发明属于闪电定位技术领域，具体涉及一种宽带干涉仪闪电定位系统的系统误差模拟和优化方法。本发明从干涉仪定位原理‑闪电射频信号传输的平面波近似出发，给出了平面波近似下干涉仪定位结果产生的系统误差的几何模型，提出平面波模型近似是干涉仪定位系统误差的主要来源；通过对正交基线布局下的干涉仪模拟定位分析，证明基线布局要形态对定位结果的系统误差有重要影响，即基线布局的对称性有助于优化干涉仪定位中由平面波近似引起的系统误差；进而提出以等边三角形中心为坐标原点的基线布局方案，这种基线布局可以非常有效地改善平面波近似导致的系统误差
一种宽带干涉仪闪电定位系统系统误差模拟优化方法

[实用新型]一种简化光频域反射系统-CN202221270938.1有效
发明人：钟华健;付彩玲;王义平;李朋飞 -专利权人：深圳大学
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种简化光频域反射系统，包括可调谐激光器、干涉仪、采集装置、控制装置和待测光纤，所述待测光纤的一端与所述干涉仪连接，另一端与一末端反射点连接。该简化光频域反射系统无需辅助干涉仪，通过在待测光纤末端上设置末端反射点形成自补偿，以代替现有的辅助干涉仪，极大地简化了现有光频域反射系统的结构，同时降低了采集装置的数据采集量，而且传感距离不再受到辅助干涉仪中延迟光纤的长度限制
一种简化光频域反射系统

[发明专利]页岩气水力压裂中微地震监测系统-CN202210950659.8在审
发明人：宋宪晨;唐东林 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01V1/28 文献下载
摘要：本发明提供一种页岩气水力压裂中微地震监测系统，包括：光频域反射仪系统，所述光频域反射仪系统包括光源模块、第一光纤耦合器、主干涉仪模块、副干涉仪模块、光电转化模块、数据处理模块，所述光源模块连接第一光纤耦合器，第一光纤耦合器输出两路分别用于连接主干涉仪模块和副干涉仪模块，主干涉仪模块和副干涉仪模块均与光电转换模块连接，所述光电转换模块数与数据处理模块相连；双螺旋缠绕光纤检波敏感装置采用串联方式复用为光纤检波器阵列，用于解决解决Φ‑OTDR传感系统微地震监测空间分辨率低，井中或地表掩埋探测布置工程量大、不能准确获取探测点位置信息的问题。
页岩水力压裂中微地震监测系统

[实用新型]页岩气水力压裂中微地震监测系统-CN202222103024.2有效
发明人：宋宪晨;唐东林 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01V1/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种页岩气水力压裂中微地震监测系统，包括：光频域反射仪系统，所述光频域反射仪系统包括光源模块、第一光纤耦合器、主干涉仪模块、副干涉仪模块、光电转化模块、数据处理模块，所述光源模块连接第一光纤耦合器，第一光纤耦合器输出两路分别用于连接主干涉仪模块和副干涉仪模块，主干涉仪模块和副干涉仪模块均与光电转换模块连接，所述光电转换模块数与数据处理模块相连；双螺旋缠绕光纤检波敏感装置采用串联方式复用为光纤检波器阵列，用于解决解决Φ‑OTDR传感系统微地震监测空间分辨率低，井中或地表掩埋探测布置工程量大、不能准确获取探测点位置信息的问题。
页岩水力压裂中微地震监测系统

[实用新型]通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪-CN200620033979.3无效
发明人：柴立群;许乔;王涛 -专利权人：成都太科光电技术有限责任公司
申请日： 2006-04-25 - 公布日： 2007-09-19 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种不使用机械相移方式进行相移测量的面形检测相移干涉仪，通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪，依次连接有标准镜、成像系统、准直系统、扩束聚焦系统、激光器模块、计算机和图像采集系统，其中准直系统还与图像采集系统相连本实用新型通过改变可调谐激光器波长的方式，使干涉仪的干涉条纹产生系列相位移动，进而计算出原始的波面相位，不需要移动干涉仪任何器件，就能实现稳定、可靠和高精度的测量，特别适合于大口径干涉仪。
通过波长变化进行检测相移干涉仪

[发明专利]一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法-CN202210988547.1在审
发明人：王青蓝;全海洋;胡常安;刘俊伯;胡松;李建科;朱咸昌;王建 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：本发明公开了一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法，标定装置包括双通道干涉仪、球透镜、球面反射镜，沿所述的双通道干涉仪输出空间非相干光方向依次是球透镜、球面反射镜，所述的双通道干涉仪和球透镜不处于共焦的位置，球透镜与球面反射镜处于共焦的状态，结合随机平均法可以实现双通道干涉仪系统误差的高精度标定。
一种通用双通道干涉仪系统误差标定装置方法

[发明专利]一种光刻机同步控制系统及方法-CN201511026460.2有效
发明人：方欣 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机同步控制系统及方法，所述光刻机同步控制系统包括干涉仪分系统和外部分系统，所述干涉仪分系统包括通过同步总线连接的同步控制卡、多通道光纤卡及干涉仪计数卡，所述同步控制卡通过外同步通道与所述外部分系统连接，所述多通道光纤卡通过光纤通道与所述外部分系统连接。本发明提供的技术方案，通过将干涉仪分系统和工件台掩模台分系统的硬件解耦，使干涉仪分系统的同步控制卡可以连接更多的测量轴和外部分系统，增加了干涉仪分系统以及工件台掩模台分系统的扩展性。通过提供格式和接口标准统一的外同步通道，实现外部分系统的扩展，提高了同步控制系统的通用性。
一种光刻同步控制系统方法

[发明专利]一种带参考干涉仪的干涉式光纤矢量水听器-CN202010408496.1在审
发明人：易朗宇;腾潢龙;徐红霞;沈燕青;高发仁;陈含芳;杨廷新 -专利权人：中国电子科技集团公司第七研究所
申请日： 2020-05-14 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带参考干涉仪的干涉式光纤矢量水听器，包括质量块，弹性筒，光纤干涉仪，用于放置质量块、弹性筒、光纤干涉仪的外壳。本发明将参考干涉仪与传感干涉仪封装于同一水听器的外壳内部，当水听器受温度和其他外界环境影响时，参考干涉仪与传感干涉仪相位信号产生的低频随机漂移高度相似，在实际应用中由激光器引起的参考干涉仪与传感干涉仪的相位噪声也高度相关，因此通过参考干涉仪与传感干涉仪的信号进行信号处理，可以消除传感干涉仪信号的相位噪声。
一种参考干涉仪干涉光纤矢量水听器

[发明专利]单频激光偏振干涉仪在线调试装置及方法-CN201010296976.X有效
发明人：杨军;苑勇贵;李立艳;吴冰;刘彬彬;苑立波 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2010-09-29 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供的是单频激光偏振干涉仪在线调试装置及方法。装置包括稳频激光器、光隔离器、偏振态旋转机构，待测单频激光偏振干涉仪，光学透射反射机构、光功率计、多路正交干涉信号探测器、干涉信号采集与分析系统、气浮隔振光学平台。该装置的特征是集高偏振度激光的发生、旋转、测量，以及干涉仪输出的正交干涉信号的特性分析于一体，通过对偏振光学元件的在线性能测试和干涉仪输出光强与干涉信号的幅值、相位畸变的评价，完成集成一体化干涉仪的安装与调试，将单频激光偏振干涉仪光路的固有非线性误差减小到nm量级以下，提高干涉仪的测量精度。本发明结构简单、操作简便，稳定可靠，成本低廉，可实时完成单频偏振激光干涉仪的性能在线评价。
激光偏振干涉仪在线调试装置方法

[发明专利]用于QKD系统的稳定可调谐的高精度光纤调谐方法及干涉仪-CN201911171898.8在审
发明人：陈柳平;李伍一;张建;万相奎;范永胜 -专利权人：国开启科量子技术（北京）有限公司
申请日： 2019-11-26 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本方案提供一种用于QKD系统的稳定可调谐的高精度光纤调谐方法及干涉仪，获取裁切值，对干涉仪两臂光纤裁切，将其耦合端固定在干涉仪光单元内。通过调谐，使熔接后光纤的轴向与耦合端端面垂直，且熔接后光纤与固定干涉仪的光纤的光程差低于阈值后微调，使干涉条纹达到最佳值。稳定可调谐的高精度光纤干涉仪包括，将熔接后光纤的耦合端固定在干涉仪光单元内，身部经绕轴缠绕后经方位角标准具到达调整组件，调谐端固定在调整组件上。干涉仪外壳内侧有锁紧组件，拉伸件与锁紧组件相对。通过增设调整组件，使得熔接后光纤可调谐解决现有技术中的光纤干涉仪由于臂长不可调谐导致的适配成功率低，进一步导致离散变量的量子密钥分发系统性能不稳定的问题。
用于 qkd 系统稳定调谐高精度光纤方法干涉仪

[发明专利]一种振动台微小角运动量的测量装置及方法-CN201310012915.X无效
发明人：彭军;张天昕;何群;孙丰甲;郭建麟;李娜娜 -专利权人：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
申请日： 2013-01-15 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： G01P3/36 文献下载
摘要：该装置包括激光干涉仪、目标体、数据采集系统和振动台；所述的目标体是长120mm、宽30mm、高40mm的长方体钢块，钢块各面之间垂直度0.01mm，将目标体用螺钉与压条安装在振动台的平面上；所述的激光干涉仪为1台双光束差动激光干涉仪或为2台单光束激光干涉仪；所述的激光干涉仪发出的两束差动激光照射到目标体上，通过目标体上的反射膜将两束差动激光反射后被激光干涉仪接收，两束差动激光经过激光干涉仪的解调之后送给数据采集系统进行采集
一种振动微小运动量测量装置方法

[发明专利]法布里-珀罗干涉仪系统上的集成检测器-CN202180010166.X在审
发明人：哈维尔.米格尔桑切斯 -专利权人： AMS传感器新加坡私人有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01J3/26 文献下载
摘要：一种法布里‑珀罗干涉仪系统上的集成检测器。一种光学传感器。光学传感器包括基板和法布里‑珀罗干涉仪。基板由半导体形成。法布里‑珀罗干涉仪包括第一反射镜和第二反射镜，并且安装在基板上，使得光透射通过干涉仪到基板。基板被掺杂，使得光通过干涉仪透射到的基板的区域形成光电二极管。
法布里干涉仪系统集成检测器

[发明专利]光刻机投影物镜波像差在线检测方法-CN200810057060.1无效
发明人：李艳秋;刘克;刘丽辉 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2008-01-29 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：通过在光刻机上集成干涉仪装置，进行投影物镜波像差的在线检测、校正和控制。干涉仪装置为点衍射干涉或狭缝衍射干涉仪，具备两种测量模式：PSI测量模式和FTM测量模式。PSI测量模式采用移相干涉术，测量精度较高，主要用于干涉仪装置系统误差标定时；FTM测量模式采用傅立叶变换法处理干涉条纹，测量速度较快，主要在投影物镜波像差在线检测和控制时使用。本方法在不降低检测速度的前提下，提高了测量精度；并且在不降低干涉条纹对比度的前提下，采用质量更高的球面参考波标定干涉仪装置各个元器件所导致的系统误差，提高了干涉仪装置本身的测量精度和可重复性。
光刻投影物镜波像差在线检测方法

[发明专利]用于量子通信系统的调谐装置-CN202310374930.2有效
发明人：张建;王其兵;陈柳平 -专利权人：国开启科量子技术（北京）有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H04L9/08 文献下载
摘要：本发明提供用于量子通信系统的调谐装置，所述装置包括：光源，设置在发射端中的第一不等臂干涉仪的输入端，用于输出光脉冲；单光子探测器，设置在接收端中的第二不等臂干涉仪的输出端，用于探测单光子计数；直角棱镜，设置在第二不等臂干涉仪的短臂的光路上，用于改变短臂中的光程；控制器，被配置为响应于探测到的单光子计数未达到干涉阈值而驱动直角棱镜移动，以通过所述移动在直角棱镜中针对短臂产生的光程的变化量来补偿第一不等臂干涉仪的两臂之间的光程差与第二不等臂干涉仪的两臂之间的光程差之间的差值本发明提升了量子通信系统中的不等臂干涉仪对周围环境的适应性，从而确保了量子通信系统中的不等臂干涉仪的干涉效果的稳定性。
用于量子通信系统调谐装置