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[发明专利]用于在恶劣环境中测量物理参数的光学传感器及其制造和使用方法-CN202011379479.6在审
发明人：多米尼克·韦兹;布莱兹·伊夫·盖拉;詹卢卡·尼基奥蒂;弗雷德里科·迪亚斯;樊尚·帕拉 -专利权人：梅吉特股份有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：一种用于测量物理参数的光电子系统，包括：利用耦合器被一并耦合为组合光的具有不同峰值频率的两个窄带光源。所述组合光被分成第一法布里‑珀罗干涉仪和第二法布里‑珀罗干涉仪，所述第一法布里‑珀罗干涉仪被设置为暴露于温度和另一个物理参数，所述第二法布里‑珀罗干涉仪被设置为仅暴露于温度。所述系统还包括：第一光学检测器和第二光学检测器，被设置为通过包括透镜和/或反射镜的组合的光路和菲索干涉仪分别接收从第一、第二法布里‑珀罗干涉仪的腔反射的光。
用于恶劣环境测量物理参数光学传感器及其制造使用方法

[发明专利]一种相位调制器半波电压测试系统及方法-CN202310921729.1在审
发明人：代成伟 -专利权人：合利科技发展有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种相位调制器半波电压测试系统及方法，所述系统依次设有窄线宽激光器、相位调制器、FP干涉仪、光电探测器、示波器，所述相位调制器的输入端还连接有信号发生器，所述FP干涉仪的输入端还连接有干涉仪控制器；所述方法为信号发生器产生单音正弦信号，经过射频信号调制后，相位调制器PM输出光谱，干涉仪控制器生成锯齿波驱动电压，FP干涉仪出射光束，示波器显示激光器中心波长和边带光谱干涉信号；本发明的优点在于：通过调节信号发生器输出正弦信号幅值
一种相位调制器电压测试系统方法

[发明专利]一种双通道正交式干涉仪动镜控制系统-CN202210647358.8在审
发明人：路向宁;黄旻;韩炜;钱路路;王占超 -专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01N21/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种双通道正交式干涉仪动镜控制系统，双通道干涉仪用于在入光口和出光口处获取强度、相位一致的两路激光干涉信号；相移单元用于将双通道干涉仪获取的两路激光干涉信号处理为正交关系；干涉脉冲处理单元用于对相互正交的两路信号通过异或运算进行倍频处理；零位检测单元用于检测动镜的移动原点；音圈电机安装在所述双通道干涉仪中动镜支承框架摆臂K的外端，用于驱动动镜进行匀速摆动；DSP电机控制及驱动单元根据预先设置的动镜速度及位移来控制所述音圈电机，驱动动镜在一定区间内进行匀速摆动上述系统内部构造简单，可根据需要连续调整干涉仪动镜的运动行程，在设定位移内进行匀速运动。
一种双通道正交干涉仪控制系统

[发明专利]基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置-CN201310419697.1有效
发明人：陈磊;李金鹏;陈悦;宋倩;宋乐;周舒 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2013-09-16 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于白光干涉的光学玻璃均匀性检测方法及装置。装置包括白光干涉仪和两个双频激光回馈位移测量系统，并且两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪为连动结构，将两个双频激光回馈位移测量系统和白光干涉仪结合为一体式结构进行移动扫描。检测方法为：标定白光干涉仪，得到光程差与条纹偏移量的比例系数；获取待测光学玻璃引入的光程差变化量，并使用位移测量系统测得待测光学玻璃同一被测位置的厚度偏差；根据白光干涉仪获得的光程差和位移测量系统获得的厚度偏差
基于白光干涉光学玻璃均匀检测方法装置

[发明专利]一种Mach-Zehnder光纤干涉仪稳定控制系统-CN201510349839.0在审
发明人：叶全意 -专利权人：金陵科技学院
申请日： 2015-06-23 - 公布日： 2015-10-21 - 主分类号： G02F1/225 文献下载
摘要：本发明公开了一种Mach-Zehnder光纤干涉仪稳定控制系统，包括Mach-Zehnder光纤干涉仪，还包括光纤耦合器、光电探测器、偏置控制电路和相位调制器，所述光纤耦合器的输入端与Mach-Zehnder光纤干涉仪连接，纤耦合器的输出端与光电探测器的输入端连接，光电探测器的输出端与偏置控制电路的输入端连接，偏置控制电路的输出端与相位调制器的输入端连接，所述相位调制器设置于Mach-Zehnder光纤干涉仪的一臂上本发明实现简单，利用保偏光纤耦合器加光纤延迟线构造可调谐Mach-Zehnder光纤干涉仪，克服现有Mach-Zehnder光纤干涉仪不能稳定工作的问题。
一种 mach zehnder 光纤干涉仪稳定控制系统

[发明专利]一种干涉仪天线快速外辐射校正方法及系统-CN202310418051.5在审
发明人：熊国刚;叶永强;赵丹;安玉元;周斌斌;杨柳;汪相国;张亚平;蔡晶;黄勇韬;张一帆 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十九研究所
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G01S3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉仪天线快速外辐射校正方法及系统，其包括：获取辐射信号源到干涉仪天线各阵元的距离；基于辐射信号源到干涉仪天线各阵元的距离，通过外辐射校正获取干涉仪天线中一个阵元分别与其他所有阵元之间的相位差；基于干涉仪天线中一个阵元分别与其他所有阵元之间的相位差，计算干涉仪天线中一个阵元分别与其他所有阵元之间的固有相位差。
一种干涉仪天线快速辐射校正方法系统

[发明专利]用于基于自由空间光学的全光信号再生的系统和方法-CN200710165417.3有效
发明人：萨吉耶·查德卡;尼夫·纳尔基斯;哈伊姆·查耶特;沙尔瓦·本－埃兹拉;埃雷尔·格拉诺特;鲁文·扎伊贝尔;阿里耶·舍尔;沙伊·察多克;尼尔·沙哈尔 -专利权人：凯莱特光子学公司
申请日： 2007-10-25 - 公布日： 2008-05-21 - 主分类号： H04B10/17 文献下载
摘要：本发明描述了用于基于自由空间光学的全光信号再生的系统和方法。在一个示例性实施例中，一种用于再生光信号的方法包括：在基于自由空间光学的全光信号再生器内对输入信号和再生信号进行反传播，其中所述基于自由空间光学的全光信号再生器包括Sagnac环干涉仪；以及从Sagnac环干涉仪中提取经再生的输出信号。在另一示例性实施例中，基于自由空间光学的全光信号再生器包括：Sagnac环干涉仪；耦合到Sagnac环干涉仪的半导体光放大器的光信号输入路径；耦合到Sagnac环干涉仪的半导体光放大器的再生光信号路径；以及耦合到Sagnac环干涉仪的经再生的光输出路径。
用于基于自由空间光学信号再生系统方法

[发明专利]光频域反射技术中可提高近距离传感稳定性的装置及方法-CN201710673660.X有效
发明人：王辉文;张晓磊;温永强 -专利权人：武汉昊衡科技有限公司
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明涉及一种光频域反射技术中可提高近距离传感稳定性的装置及方法，装置包括线性扫频激光器、光纤分束器、主干涉仪、辅助干涉仪、数据采集卡和计算机，主干涉仪用于使进入该主干涉仪的扫频激光发生拍频干涉，产生第一拍频信号；辅助干涉仪使进入该辅助干涉仪的扫频激光发生拍频干涉，产生第二拍频信号，该第二拍频信号经过转化后作为高速数据采集卡的外部时钟；数据采集卡在外部时钟的触发下等频域间隔采样第一拍频信号。本发明在测量距离固定的前提下，探测到的主干涉仪拍频信号由高频到低频映射的物理距离为从近到远，在近距离位置处探测的拍频信号为高频信号。本发明能有效减少近距离传感中拍频信号受外界低频信号的干扰，增强系统稳定性。
光频域反射技术提高近距离传感稳定性装置方法

[发明专利]双脉冲非匹配短干涉仪的光栅增强型分布式振动传感系统与方法-CN202310089782.X在审
发明人：李政颖;王一鸣;王洪海;桂鑫;何思琪;姜德生 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双脉冲非匹配短干涉仪的光栅增强型分布式振动传感系统，它包括脉冲光调制器、双脉冲程序控制器、光纤放大器、第一光环形器、第一光栅阵列光纤、第二光环形器、非匹配短干涉仪、三通道光电探测器和三通道数据采集卡，本发明采用双脉冲非匹配短干涉仪实现光栅反射信号的干涉振动传感，当接入不同光栅间距的光栅阵列光纤时，无需将系统内部的干涉仪臂长差调整到与光栅间距一致，只需调节双脉冲时延即可实现对不同光栅间距的光栅阵列光纤形成干涉传感，从而提升解调系统的适用性。
脉冲匹配干涉仪光栅增强分布式振动传感系统方法

[发明专利]基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统-CN201410031125.0有效
发明人：张鸣;朱煜;王磊杰;刘召;吴亚风;成荣;徐登峰;穆海华;尹文生;杨开明;胡金春;胡楚雄;祁利山 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-01-23 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统，包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和电子信号处理单元；光栅干涉仪包括激光管、偏振片、偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件及四通道零差结构。该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元，转换为电信号至电子信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学倍程，能够实现亚纳米甚至更高分辨率。采用零差信号处理，可消除直流分量和幅值变化带来的影响，具有对环境不敏感、测量精度高等优点，作为光刻机超精密工件台位移测量系统可提升工件台性能。
基于光学倍程法自由度光栅干涉仪位移测量系统

[实用新型]基于激光相位波动的超高速量子随机数发生器-CN201520476636.3有效
发明人：张军;聂友奇;潘建伟 -专利权人：中国科学技术大学先进技术研究院
申请日： 2015-06-30 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： G06F7/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于激光相位波动的超高速量子随机数发生器，包括激光光源、双光束干涉仪、相位控制系统、光电探测器和模数转换器，双光束干涉仪包括环形器、分束器、第一反射镜和第二反射镜，相位控制系统包括压控移相器，激光光源的输出的光辐射通过双光束干涉仪进行干涉，双光束干涉仪在其中一个干涉光路上设置有压控移相器，相位控制系统通过调节压控移相器来保证两个干涉光路的相位差保持在预定值，从而实现激光光源的相位波动与干涉仪的输出光强一一对应
基于激光相位波动超高速量子随机数发生器

[发明专利]基于不对称M-Z干涉仪的全光纤测风激光雷达装置及方法-CN201510456142.3在审
发明人：夏海云;上官明佳;任佳恩;王冲;裘家伟;窦贤康;薛向辉 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2015-07-27 - 公布日： 2015-11-04 - 主分类号： G01P5/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于不对称M-Z干涉仪的全光纤测风激光雷达装置及方法，一方面，采用2×2光纤耦合器和3×3光纤耦合器形成的不对称M-Z干涉仪作为测风激光雷达的鉴频器，相比于采用Fabry-Perot干涉仪，其具有透过率高，可探测的风速动态范围大等优点；相比于采用传统的空间光学式M-Z干涉仪，其具有抗干扰能力强、结构紧凑、系统稳定，调光方便等优点；相比于采用基于2×2光纤耦合器的对称M-Z干涉仪，无需将激光锁定在M-Z干涉仪的半腰处，因此可通过减小M-Z干涉仪的自由谱间距，提高测量的灵敏度；另一方面，采用微分交叉相乘的解调方法，对入射到MZI的能量进行了归一化，因此，该方案对激光能量的起伏不敏感。
基于不对称干涉仪光纤激光雷达装置方法

[发明专利]球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法-CN201410016063.6有效
发明人：马冬梅;张海涛;孙鸽;于杰 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-01-14 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：球面波前测试干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法，属于光学测试领域，为解决现有技术无法对球面测试时干涉仪传递函数的测试问题，该测试装置及方法：安装干涉仪球面测试基准镜头在干涉仪主机上；打开移相式干涉仪主机和配套计算机电源开关；在干涉仪球面测试基准镜头的球心后面45°放置高度传递函数测试基准板使光路折转，在其后放置高精度球面反射镜，使其球心与干涉仪球面测试基准镜头的球心重合；在干涉仪主机上可获得高度传递函数测试基准板的图像，通过干涉仪主机测试采集相移图像将得到高度传递函数测试基准板的面形测试图，测试基准板的高度测试结果hi；基准板相应频域的高度值h0，则干涉仪高度测试传递函数值H=hi/h0。
球面测试干涉仪高度传递函数装置及其方法

[发明专利]带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统-CN201310048743.1有效
发明人：朱煜;张鸣;杨开明;成荣;刘召;刘昊;徐登峰;张利;田丽;叶伟楠;张金;胡金春;穆海华;尹文生 -专利权人：清华大学
申请日： 2013-02-06 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：带激光干涉仪测量的具有六自由度粗动台的掩膜台系统，主要用于光刻机系统中。该系统包括粗动台、精动台和机架；粗动台含有一个粗动台台体、驱动装置和粗动台重力平衡组件，粗动台台体设置在精动台的外部，将精动台包围在中间；该掩膜台系统还包含用于测量精动台台体和测量架之间位置反馈激光干涉仪测量组件，所述的激光干涉仪测量组件由激光光源、光路组件、激光干涉仪和测量架组成，可对该掩膜台系统的运动部分进行实时的六自由度的测量。该掩膜台系统具有结构简单、紧凑，运动部分质量轻从而减小了负载，提高了速度，加速度和控制带宽，配合激光干涉仪测量系统，大大提高了掩膜台系统的运动的精度。
激光干涉仪测量具有自由度粗动台掩膜台系统

[发明专利]多干涉仪组合应用安装调整装置-CN202111351425.3在审
发明人：齐威;李璟;杨光华;陈进新;卢增雄;齐月静;苏佳妮 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明涉及精密机械技术领域，提供了一种多干涉仪组合应用安装调整装置，包括：载物台；干涉仪组，包括分别位于载物台的前侧、左侧和后侧的第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，载物台上分别相对第一干涉仪和第三干涉仪的位置上设有第一反射镜和第二反射镜第一反射镜和第二反射镜的正上方分别设置有第一Z向反射镜和第二Z向反射镜；光路传播部，包括第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径，入射光分别沿第一光路传播路径、第二光路传播路径和第三光路传播路径进入第一干涉仪、第二干涉仪和第三干涉仪，第一干涉仪的出射光束经第一反射镜反射至第一Z向反射镜，第三干涉仪的出射光束经第二反射镜反射至第二Z向反射镜。
干涉仪组合应用安装调整装置