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[发明专利]激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法和光刻系统-CN201911050178.6有效
发明人：王磊杰;朱煜;张鸣;徐继涛;成荣;李鑫;杨开明;胡金春 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光学仪器仪表设备技术领域，公开了一种激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，从激光干涉光刻的曝光光束中分离出测量光输入激光相位测量干涉仪对激光干涉光刻的曝光光束进行相位测量，再引入与激光干涉光刻曝光光束同源的参考光束也输入激光相位测量干涉仪，由激光相位测量干涉仪处理形成干涉测量光信号，进行解算得到激光干涉光刻的曝光光束的相位。本发明公开了一种激光干涉光刻系统，包括激光相位测量干涉仪、控制器和相位调制器，采用前述激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法，用激光相位测量干涉仪测量曝光光束相位是否漂移，由控制器控制相位调制器进行相位调制
激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法系统

[发明专利]基于双通道非平衡干涉仪的大动态干涉型光纤传感器-CN201510040639.7有效
发明人：姚琼;熊水东;梁迅;罗洪;曹春燕;杨华勇;孟洲;张学亮;张岩;魏文俭 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2015-01-27 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： G01D5/353 文献下载
摘要：本发明属于光纤传感技术领域，具体涉及一种基于双通道非平衡干涉仪的大动态干涉型光纤传感器。该装置由激光器1、光纤环行器2、正常通道光纤迈克尔逊干涉仪3、差分通道光纤迈克尔逊干涉仪4、光纤环行器5、光电探测器6、光电探测器7、光电探测器8、信号处理系统9、光电探测器10、光电探测器11、光电探测器12、信号处理系统13组成。本发明通过在原有的正常通道光纤迈克尔逊干涉仪的基础上增加一个差分通道光纤迈克尔逊干涉仪，将同时获得传感光纤所传感到的待测相位的正常信息及差分信息。通过将两路通道传感信号联合处理，可有效避免信号过载现象，大大扩展系统动态范围。
基于双通道平衡干涉仪动态干涉光纤传感器

[实用新型]气体分子吸收信号增强系统-CN202120514882.9有效
发明人：邹幸;李文雪;顾澄琳;刘洋;罗大平;李松阳;徐兴亚;周晨 -专利权人：中国航发商用航空发动机有限责任公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本公开公开一种气体分子吸收信号增强系统。该气体分子吸收信号增强系统包括双光梳模块、合束模块、光学干涉仪模块、平衡探测器以及数据采集处理模块，光学干涉仪模块包括光学干涉仪，双光梳模块包括两台锁定在预定重复频率差和载波包络相位偏移频率的光学频率梳；合束模块，被配置为将两台光学频率梳输出的两束飞秒脉冲进行合束后进入光学干涉仪；平衡探测器，被配置为接收光学干涉仪输出的干涉信号，进行拍频探测；数据采集处理模块，被配置为对拍频后的射频信号做傅里叶变换以恢复光谱本公开基于双光梳光谱系统增强气体分子吸收信号，获得的光谱只存在分子吸收谱线，无多余的原光谱成分，具有极高的探测灵敏度。
气体分子吸收信号增强系统

[发明专利]一种水听器阵列干涉仪封装装置-CN202211063415.4在审
发明人：宋章启;赵德龙;王轲;孔令宇;陈昱达;杨洋;黄可钦;陈宇涛;方敏 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种水听器阵列干涉仪封装装置，包括：屏蔽罩；干涉仪安装组件，位于所述屏蔽罩内并用于安装干涉仪；传输端接头和阵列端接头，分别设置于所述屏蔽罩的两端；其中，所述阵列端接头用于引出所述干涉仪的阵列光纤，安装对接光纤水听器阵列；所述传输端接头用于安装所述干涉仪的信号射频线和传输光纤。由于屏蔽罩的头部引出一根信号射频线与一根传输光纤，通过与传输端接头连接将干涉仪对接到光电传输缆中，尾部引出阵列光纤，通过与阵列端接头连接将干涉仪与阵列相连。本发明将干涉仪安装到屏蔽罩内部以抑制连接缆中的光路拾音。
一种水听器阵列干涉仪封装装置

[实用新型]一种激光干涉仪用调整装置-CN202222404697.1有效
发明人：张虎城;刘芳;赵宇;孙旺 -专利权人：长春精测光电技术有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光干涉仪用调整装置，包括有安装箱、升降组件、安装板、调节组件、支撑板、转轴和导向板，支撑板上对称安装有安装板，所述安装板上转动安装有转轴，激光干涉仪安装在转轴上，当需要对激光干涉仪的角度进行调节时，调节组件带动安装的转轴转动，转轴转动带动与之连接的激光干涉仪转动，进而可以调节激光干涉仪的角度，当需要对激光干涉仪的高度进行调节时，安装的升降组件带动导向板在安装箱中滑动，导向板滑动在支撑杆的作用下带动安装的激光干涉仪移动，进而可以对激光干涉仪的高度进行调节，便于将其调节到合适的高度，提升了装置的实用性。
一种激光干涉仪调整装置

[发明专利]用于优化干涉仪的光学性能的方法及设备-CN201780071464.3有效
发明人： L.L.德克 -专利权人：齐戈股份有限公司
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种用干涉仪测量测试对象的性质的方法，包含：a)提供校准信息，校准信息将干涉仪的对焦设定相关到测试对象相对于干涉仪的参考表面的位置；b)确定测试对象相对于参考表面的位置；以及c)使用干涉仪来收集测试对象的干涉仪图像
用于优化干涉仪光学性能方法设备

[发明专利]用于优化干涉仪的光学性能的方法及设备-CN201911058419.1有效
发明人： L.L.德克 -专利权人：齐戈股份有限公司
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：一种用干涉仪测量测试对象的性质的方法，包含：a)提供校准信息，校准信息将干涉仪的对焦设定相关到测试对象相对于干涉仪的参考表面的位置；b)确定测试对象相对于参考表面的位置；以及c)使用干涉仪来收集测试对象的干涉仪图像
用于优化干涉仪光学性能方法设备

[发明专利]干涉型光纤传感器及其控制工作点的数字闭环方法-CN200910077387.X无效
发明人：李立京;冯秀娟;王夏霄;张晞;李传生;于佳 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2009-02-19 - 公布日： 2009-08-05 - 主分类号： G01D5/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种干涉型光纤传感器及其控制工作点的数字闭环方法，首先在干涉仪的两束干涉光波之间引入方波相位调制信号，使干涉仪的输出信号由余弦响应变为方波误差信号；然后采用数字相关检测技术对方波误差信号进行解调，获得低频相位漂移的大小；之后由解调出的低频相位漂移产生补偿相移，并将该补偿相移反馈回光路中，用于抵消所述低频相位漂移，该过程反复多次，使干涉仪稳定在正交工作点。补偿了环境扰动产生的低频相位漂移，稳定了干涉仪的正交工作点，使系统始终工作在最灵敏的区域，提高了系统的稳定性。
干涉光纤传感器及其控制工作数字闭环方法

[发明专利]一种基于神经网络的干涉仪角度解算方法-CN202010791037.6有效
发明人：郭磊;余建宇;乔宏乐 -专利权人：西安电子工程研究所
申请日： 2020-08-07 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01S3/40 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于神经网络算法的干涉仪角度解算方法，通过多层神经网络拟合干涉仪测角方程曲线，从而根据输入的频率和相位信息即可计算来波信号到达角。本发明可针对单部干涉仪独立训练，从而省去干涉仪的校正过程，同时可提高测角精度。本发明具备对干涉仪布阵方式不敏感的特性，可通过相同的训练方式适应多种不同干涉仪布阵方式。同时，本发明对来波信号角度范围不敏感，可拟合大角度条件下的非线性曲线，因此可扩展干涉仪的角度测量范围。
一种基于神经网络干涉仪角度方法

[发明专利]基于椭圆拟合的光学低频应变检测系统与检测方法-CN202110402388.8有效
发明人：左铖;时金辉;光东;吴许强;俞本立 -专利权人：安徽大学
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明公开了基于椭圆拟合的光学低频应变检测系统与检测方法，该系统包括激光器、两个干涉仪、相位调制器、信号发生器、双路光电探测器及数据处理模块；两个干涉仪共用一个干涉臂，该共用干涉臂为参考臂；所述相位调制器设置在两个干涉仪的参考臂上；两个干涉仪由其中一个传感臂感知外部应变，而参考臂与另一传感臂用于隔绝外界干扰；本发明所述基于双干涉仪和椭圆拟合算法的光学低频应变检测方法通过在相位解调技术中引入椭圆拟合算法，以处理直流分量的偏置和通道间干涉信号的条纹可见度，可以直接计算出干涉信号的相位差，根据椭圆拟合算法计算出的相位差来计算光纤长度的变化，从而实现对低频应变的检测。
基于椭圆拟合光学低频应变检测系统方法

[发明专利]双F-P腔与Michelson组合干涉仪-CN201010186862.X有效
发明人：苑立波;关春颖;杨军 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2010-05-31 - 公布日： 2010-09-29 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供的是一种双F-P腔与Michelson组合干涉仪。由两个光纤F-P干涉仪和一个光纤Michelson干涉仪组合而成；Michelson干涉仪由单芯保偏光纤和双芯保偏光纤耦合而成；双芯保偏光纤是中心为空气孔，两个对称且部分悬挂于空气孔中、部分嵌入包层中的纤芯构成的熔嵌式双芯保偏光纤；熔嵌式双芯保偏光纤的两个纤芯上刻写Bragg光纤光栅对构成F-P腔；F-P干涉仪的入射端光纤光栅构成Michelson干涉仪反射端。本发明在两个干涉臂构造两个F-P干涉仪，在同一根保偏光纤中形成了双F-P干涉仪和Michelson干涉仪的组合式干涉仪。具有制造工艺简单、单根光纤集成、灵敏度高、保偏特性好、温度稳定性高等优点。
michelson 组合干涉仪

[发明专利]一种在子孔径拼接检测光学系统透射波前中调整平面反射镜倾斜的装置和方法-CN201910428976.1有效
发明人：罗倩;张海妮;吴时彬;汪利华;杨伟;范斌 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种在子孔径拼接检测光学系统透射波前中调整平面反射镜倾斜的装置和方法，组合使用干涉仪与光电自准直仪，以调整透射波前检测中平面镜倾斜角度。该系统包括干涉仪，标准镜头，被测光学系统，双面平面反射镜，光电自准直仪，隔振台，五维调整台，支撑台，平移台，升降架，倾斜调整装置，显示控制器，利用干涉仪条纹在中间子孔径位置处调整平面镜，建立干涉仪、被测系统和平面镜平行的基准点，光电自准直仪角度清零，然后再在其它子孔径位置处，以自准直仪为基准调整平面镜的倾斜量，从而减小子孔径面形中的倾斜误差，提高子孔径拼接检测光学系统透射波前的精度。
一种孔径拼接检测光学系统透射波前中调整平面反射倾斜装置方法

[发明专利]一种高时间分辨率地基中高层大气风场测量干涉仪系统-CN201911386116.2有效
发明人：冯玉涛;李勇;畅晨光;傅頔;孙剑;李娟;闫鹏 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2019-12-29 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： G01P5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高时间分辨率地基中高层大气风场测量干涉仪系统，主要解决现有地基高层大气风场测量干涉仪观测效率低的问题。该系统包括第一空间扫描机构、第二空间扫描机构、第一望远镜、第二望远镜、天顶望远镜、视场耦合组件、定标模块、干涉仪组件、分色成像组件和探测器；视场耦合组件位于第一望远镜、第二望远镜、天顶望远镜的出射光路上，将第一望远镜、第二望远镜、天顶望远镜的视场光束耦合到一起，并透射到干涉仪组件中；定标模块位于视场耦合组件和干涉仪组件之间，用于提供与观测谱线波长相近的标准谱线；干涉仪组件对入射光谱辐射进行调制产生干涉图
一种时间分辨率地基高层大气测量干涉仪系统

[发明专利]基于TRIZ的光学干涉装置技术进化设计及其方法-CN201310267658.4在审
发明人：吴寿煜;张宇红;吴佳蓬 -专利权人：江南大学
申请日： 2013-06-29 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： G01V7/00 文献下载
摘要：本发明运用TRIZ和光学干涉原理建立了光学干涉装置技术进化设计及其方法。首先对贾民干涉仪进行分析，发现该仪器系统的适应性较差，限制了一些实验，根据2008TRIZ矛盾矩阵表推荐的八个相关发明原理作为技术进化路线，使用三个发明原理将贾民干涉仪进化成迈克耳孙干涉仪，使用五个发明原理将迈克耳孙干涉仪进化成高频引力波测量装置；然后对高频引力波测量装置进行分析，发现该仪器系统探测到中低频引力波的适应性较差，根据2008TRIZ矛盾矩阵表推荐的7个发明原理作为技术进化路线，将高频引力波测量装置进化成探测中低频引力波的空间激光干涉引力波探测器
基于 triz 光学干涉装置技术进化设计及其方法

[发明专利]平面光波电路以及平面光波电路的制造方法-CN201080058035.0无效
发明人：阵内启光;内藤正彦;村泽敦志 -专利权人： NTT电子股份有限公司
申请日： 2010-12-15 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：与本发明有关的平面光波电路具备：包含多个光波导的至少两个干涉仪；以及配置在所述干涉仪中、具有比最大的光波导密度小的光波导密度的所述干涉仪的所述光波导的两侧的虚拟图案。干涉仪（A1）的光波导密度比干涉仪（A2）的光波导密度大。因此，平面光波电路（101）在干涉仪（A1）的光波导（13）的两侧具备虚拟图案（17）。
平面光波电路以及制造方法