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[发明专利]一种带参考干涉仪的干涉式光纤矢量水听器-CN202010408496.1在审
发明人：易朗宇;腾潢龙;徐红霞;沈燕青;高发仁;陈含芳;杨廷新 -专利权人：中国电子科技集团公司第七研究所
申请日： 2020-05-14 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： G01H9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带参考干涉仪的干涉式光纤矢量水听器，包括质量块，弹性筒，光纤干涉仪，用于放置质量块、弹性筒、光纤干涉仪的外壳。本发明将参考干涉仪与传感干涉仪封装于同一水听器的外壳内部，当水听器受温度和其他外界环境影响时，参考干涉仪与传感干涉仪相位信号产生的低频随机漂移高度相似，在实际应用中由激光器引起的参考干涉仪与传感干涉仪的相位噪声也高度相关，因此通过参考干涉仪与传感干涉仪的信号进行信号处理，可以消除传感干涉仪信号的相位噪声。
一种参考干涉仪干涉光纤矢量水听器

[发明专利]用于频率调制干涉仪的路径波动监测-CN201980047263.9有效
发明人：史蒂文·T·坎迪夫;克里斯·斯莫尔伍德;埃里克·马丁 -专利权人：密歇根大学董事会
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：提出了使用相对于测量光具有任意频率的参考激光器来确定干涉仪中的路径长度波动的方法。该方法包括：沿干涉仪的信号路径注入参考光；测量干涉仪的输出处的参考光之间的干涉；通过测量参考光之间的干涉的强度调制并且从所测量的强度调制中减去预期的频率调制来确定干涉仪的两个信号路径中的参考光之间的光学相位差；累积干涉仪的两个信号路径中的参考光之间的展开相位差，其中，展开相位差是相对于参考定义的；以及使用展开相位差确定干涉仪中的光的路径长度波动。
用于频率调制干涉仪路径波动监测

[发明专利]菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法-CN202210999903.X在审
发明人：松浦心平 -专利权人：株式会社三丰
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：本发明涉及一种菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法。本发明涉及干涉度量领域，特别是涉及用于改善干涉图的对比度的菲索干涉仪。菲索干涉仪包括光源、参考面、位于菲索干涉仪的支撑件上的测试面以及摄像系统。菲索干涉仪利用偏振参考面来改善干涉图的对比度。本发明还涉及本发明的菲索干涉仪的使用方法，用于改善由菲索干涉仪获得的干涉图的对比度。
干涉仪确定测试特性改善干涉对比度方法

[发明专利]用于优化干涉仪的光学性能的方法及设备-CN201780071464.3有效
发明人： L.L.德克 -专利权人：齐戈股份有限公司
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种用干涉仪测量测试对象的性质的方法，包含：a)提供校准信息，校准信息将干涉仪的对焦设定相关到测试对象相对于干涉仪的参考表面的位置；b)确定测试对象相对于参考表面的位置；以及c)使用干涉仪来收集测试对象的干涉仪图像
用于优化干涉仪光学性能方法设备

[发明专利]用于优化干涉仪的光学性能的方法及设备-CN201911058419.1有效
发明人： L.L.德克 -专利权人：齐戈股份有限公司
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：一种用干涉仪测量测试对象的性质的方法，包含：a)提供校准信息，校准信息将干涉仪的对焦设定相关到测试对象相对于干涉仪的参考表面的位置；b)确定测试对象相对于参考表面的位置；以及c)使用干涉仪来收集测试对象的干涉仪图像
用于优化干涉仪光学性能方法设备

[发明专利]微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法-CN201310229267.3有效
发明人：亚尔科·安蒂拉;马尔蒂·布卢姆伯格 -专利权人： VTT技术研究中心
申请日： 2013-06-08 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明涉及微机械可调法布里‑珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里‑珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。
微机可调法布里干涉仪装置及其生产方法

[发明专利]基于虚拟参考腔和游标效应的高灵敏大范围干涉测量方法-CN202210448649.4有效
发明人：董小鹏;关云卿 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-04-26 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01B9/02055 文献下载
摘要：基于虚拟参考腔和游标效应的高灵敏大范围干涉测量方法，涉及光学信号处理领域。包括以下步骤：1)确定传感干涉仪的自由光谱宽度和腔长；2)确定参考干涉仪的腔长；3)确定测量过程中的灵敏度放大因子；4)大范围测量时，传感干涉仪的腔长与虚拟参考干涉仪的腔长的差增大，当灵敏度放大因子下降到预先设定的最小值时，调整虚拟参考干涉仪的腔长，使恢复到初始值；5)重复步骤4)，直至测量结束。基于数值仿真构造虚拟参考干涉仪，不受环境因素和被测物理量的影响而发生变化，极大地简化系统结构，降低成本、提高稳定性；保证传感干涉仪在大范围测量时，传感系统始终保持很高的灵敏度，实现方式灵活可靠。
基于虚拟参考游标效应灵敏范围干涉测量方法

[发明专利]基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置-CN202110529251.9在审
发明人：魏相宇;唐锋;王向朝;郭福东;冯鹏;陈梦来 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，通过在一侧干涉仪光路中加入相干性抑制单元，使得对侧干涉仪的输出光与本侧干涉仪的测量光、参考光不相干，不能发生干涉；或对侧干涉仪输出光与本侧干涉仪测量光、参考光等效不发生干涉，仅产生背景直流量，不影响干涉相位的提取。本发明不改变双侧干涉仪系统的光路结构，有效利用了光学系统的数值孔径，简化了系统工作流程，具有测量精度与效率高，分光方式灵活等优点。
基于干涉仪形貌厚度检测装置

[发明专利]基于数字虚拟参考腔和游标效应的法珀腔长精确测量方法-CN202210348954.6有效
发明人：董小鹏;关云卿 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：基于数字虚拟参考腔和游标效应的法珀腔长精确测量方法，涉及光学信号处理领域。减小现有常规方法测量腔长时带来的误差，包括以下步骤：1)确定传感干涉仪的腔长估计值：2)确定参考干涉仪的腔长；3)确定叠加光谱包络的自由谱宽；4)计算传感干涉仪的精确腔长。无需在实际中制作一个腔长与传感干涉仪接近的参考干涉仪，而是基于数值仿真构造一个虚拟的参考干涉仪，并通过游标效应实现FPI腔长的高精度测量。由于虚拟参考腔的腔长是精确的，参考腔也不会受环境因素和被测物理量的影响而发生变化，因此，实现方式灵活可靠，具有很大的实用性。
基于数字虚拟参考游标效应法珀腔长精确测量方法

[发明专利]干涉仪设备及其运行方法-CN200880117054.9有效
发明人： W·霍尔扎普费尔 -专利权人：约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
申请日： 2008-10-01 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及干涉仪设备及其运行方法。干涉仪设备包括具有干涉仪光源的干涉仪，干涉仪光源发出的辐射可分配到测量臂和参考臂中，其中测量对象被布置在测量臂中并且干涉仪提供依赖于测量对象位置的干涉仪信号。干涉仪设备还包括检测装置，用于检测测量臂和/或参考臂中的空气的折射率的波动。在此，检测装置包括光谱仪单元；光谱仪单元具有至少一个光谱仪光源以及至少一个光谱仪探测器单元。由光谱仪光源发出的射束与干涉仪光源的射束相叠加，其中光谱仪光源发出具有如下波长的辐射：该波长处于至少一种确定的空气成分的吸收线范围内。光谱仪探测器单元用于生成光谱仪信号，光谱仪信号表征空气成分在测量臂和/或参考臂中关于光谱仪光源波长的吸收。
干涉仪设备及其运行方法

[实用新型]一种基于游标效应的光纤应变传感器-CN202221290228.5有效
发明人：王婷婷;王秀婷;孙家程;葛益娴 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于游标效应的光纤应变传感器，包括并联设置的参考干涉仪和传感干涉仪，所述参考干涉仪和传感干涉仪为马赫‑曾德尔干涉仪；所述参考干涉仪和传感干涉仪包括依次熔接的第一单模光纤、第二单模光纤、少模光纤和第三单模光纤；光束经第二单模光纤激发为高阶模和基模；所述少模光纤传输高阶模和基模至所述第三单模光纤；所述高阶模和基模在所述第三单模光纤中干涉；本实用新型通过同时监测仅受温度变化影响的参考干涉仪透射谱的波长漂移量
一种基于游标效应光纤应变传感器

[发明专利]用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪-CN201110106490.X无效
发明人：王青;何勇;徐新华;李建欣;陈磊;张国伟 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2011-04-27 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪，包括干涉仪本体、干涉仪框架、垂直移动部件、水平移动部件、引导反光镜、参考平晶。干涉仪固定于框架顶部，出射光通过第一反光镜引导传入第二反光镜再次反射，进入水平移动部件，经第三反光镜引导透过参考平晶打向被测表面。参考平晶由二维精密调整架控制，整个移动部件由二维精密定位装置控制作精确运动。整部干涉仪可在大型车间内由航车吊装进行现场实时测量。本发明设计原理科学，结构设计合理，各部件加工方便，整个构件稳定、可靠。只要将本干涉仪整体框架调整好，就可以将干涉仪方便地移动，获得稳定、清晰的干涉图。
用于孔径拼接参考前置干涉仪

[发明专利]绝对重力仪中光速有限效应的双光路测试装置-CN201510165558.X有效
发明人：田蔚;张为民;钟敏;吴晓敏;胡明 -专利权人：中国科学院测量与地球物理研究所
申请日： 2015-04-09 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： G01V13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种绝对重力仪中光速有限效应的双光路测试装置，包括隔振平台、支撑结构、第一激光干涉仪、第一参考棱镜、落体真空腔、对顶双棱镜形成的落体结构、第二激光干涉仪、第二参考棱镜；其中第一参考棱镜和第二参考棱镜刚性连接；当对顶双棱镜形成的落体在落体真空腔中自由下落时，会在第一激光干涉仪和第二激光干涉仪中分别形成干涉信号，通过探测器分别探测两套激光干涉仪的干涉信号，由于光速有限效应在两套干涉仪中的作用效果是相反的，而重力加速度、振动噪声和其他噪声等对两套激光干涉仪的作用效果是相同的，是共模信号，因此通过数据处理实现两套激光干涉仪信号的差分测量，就可以直接测量绝对重力仪中光速有限效应的大小。
绝对重力光速有限效应双光路测试装置

[发明专利]一种光纤干涉仪臂长差的测量装置及测量方法-CN201610329545.6有效
发明人：杨军;王建国;侯长波;苑勇贵;彭峰 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2016-05-18 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供的是一种光纤干涉仪臂长差的测量装置及测量方法。包括激光光源模块、被测光纤干涉仪模块、参考干涉仪模块和采集与控制模块。可调谐激光器发出波长线性变化的光进入被测干涉仪和参考干涉仪模块、使用计算机控制模拟量输出板卡驱动绕好光纤的压电陶瓷，解调得到的信号后获得两模块精确的位相变化量；改变参考干涉仪模块两臂光程差同时使用光源模块中的分布式反馈激光器结合PGC算法解调出光程差变化量；改变参考干涉仪两臂光程差后重复第一步；依据臂长差测量公式计算出被测光纤干涉仪臂长差。本发明通过引入压电陶瓷、分布式反馈激光器等，运用PGC算法可精确测得被测光纤干涉仪的臂长差，具有测量精度高、范围广和自动定标等优点。
一种光纤干涉仪臂长差测量装置测量方法

[发明专利]集成式形状测量装置-CN201410323081.9在审
发明人：尹都永;金兑昱;黄映珉;朴喜载 -专利权人： SNU精密股份有限公司
申请日： 2014-07-08 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：其包括：反射干涉仪单元、透射干涉仪单元和光探测器。反射干涉仪单元包括第一光源以及反射干涉仪。反射干涉仪将从第一光源发射的光传输到待测物体和参考镜，基于从待测物体反射的光和参考镜的参考光形成干涉条纹。透射干涉仪单元包括配置为发射单色光的第二光源以及透射干涉仪。透射干涉仪将从第二光源发射的光进行分光，使得一部分光能透射通过待测物体而另一部分光不能透射通过待测物体，基于透射通过待测物体的光和未透射通过待测物体的光形成干涉条纹光。探测器被置于待测物体的上方并且探测所述干涉条纹。在该装置中，根据待测物体的透光率而选择性地使用反射干涉仪单元和透射干涉仪单元中的一者。
集成形状测量装置

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