[发明专利]太阳能电池串转移机构及方法在审

申请号：	201910985235.3	申请日：	2019-10-16
公开（公告）号：	CN110600420A	公开（公告）日：	2019-12-20
发明（设计）人：	雷水德;曾庆礼;高宜江;袁国钟;徐世亮	申请（专利权）人：	苏州德睿联自动化科技有限公司
主分类号：	H01L21/683	分类号：	H01L21/683;H01L21/677;H01L31/18
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	215000 江苏省苏州市高新区建林路***	国省代码：	江苏;32
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摘要：	本发明公开一种太阳能电池串转移机构，包括抓取组件，所述抓取组件包括抓取架及安装在抓取架下部的吸盘，在抓取架上安装有下压气缸，在下压气缸的活动端底部连接有弹性条。该太阳能电池串转移机构，抓取组件下降将电池串放置在载板上，吸盘去真空松开电池串，在抓取组件上升前，下压气缸活动端向下伸出加压至电池串顶面上，所述弹性条被压缩，后抓取组件上升，吸盘向下施加在电池串上的力逐步撤掉，吸盘与电池串分离；随着压缩量的减小，所述弹性条逐渐恢复原厚度，在弹性条的弹性缓冲作用下，夹存在电池片与载板之间被压缩的空气缓慢释放，可有效避免该压缩空气快速膨胀造成电池串位置误差的问题。本发明还提供了一种太阳能电池串转移方法。
搜索关键词：	电池串抓取组件吸盘弹性条太阳能电池串抓取架下压气缸转移机构活动端载板弹性缓冲作用底部连接缓慢释放快速膨胀位置误差压缩空气压缩电池片压气缸压缩量减小松开加压施加伸出恢复
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【主权项】：

1.一种太阳能电池串转移机构，其特征在于，包括抓取组件，所述抓取组件包括抓取架及安装在抓取架下部的吸盘，在抓取架上安装有下压气缸，在下压气缸的活动端底部连接有弹性条；/n抓取组件通过所述吸盘抽气抓取太阳能电池串，移动至载板处，抓取组件下降将所述太阳能电池串放置在该载板上，所述吸盘放气松开所述太阳能电池串，所述下压气缸活动端向下伸出加压至太阳能电池串顶面上，所述弹性条被压缩，所述抓取组件上升，使所述吸盘、所述弹性条依次与太阳能电池串分离。/n

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摘要：一种硅片手动脱胶装置，涉及半导体硅棒多线切割后脱胶技术领域，包括提篮、固定基座和硅片接片槽，固定基座和硅片接片槽从上到下依次悬设于提篮内，固定基座用于卡设装有切割后未脱胶硅片的工件夹板，切割后未脱胶硅片随工件夹板一同倒挂于提篮内的固定基座上，切割后未脱胶硅片由于自重自动脱落于固定基座下方的硅片接片槽中进行脱胶。本发明有益效果：本发明提供了一种硅片手动脱胶装置实现倒挂对硅棒进行手动脱胶，结构简单，设置合理，有效解决了现有脱胶工艺中存在的问题。

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摘要：本发明的课题是提供一种芯片接合切割片材，其可在根据隐形切割法的半导体装置的制造中，改善扩展时粘合剂层从粘附剂层的剥离及飞散、进一步改善向半导体芯片的附着。解决上述课题的手段是，一种贴附在半导体元件搭载用支撑部件上使用的芯片接合切割片材，其具有如下构成：剥离性的第1基材、设置于所述第1基材的一侧表面之上的粘合剂层、覆盖所述粘合剂层的整个上表面并且具有不与所述粘合剂层重合的周缘部的粘附剂层、以及设置于所述粘附剂层的上表面的第2基材，所述粘合剂层的平面外形大于所述半导体元件搭载用支撑部件的平面外形，并且，所述粘合剂层的端部与所述支撑部件的端部之间的间隔为1mm以上、12mm以下。

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摘要：本发明公开了一种用于半导体器件的薄膜及半导体器件的制作方法，所述薄膜包括基材和设置于所述基材上的粘合层，其特征在于：所述薄膜预设为粘贴区和扩展区，所述扩展区的弹性模量小于所述粘贴区的弹性模量，当对所述薄膜施以一拉伸力时，所述扩展区比所述粘贴区更容易产生拉伸形变。采用该薄膜进行半导体器件扩膜时，可保证器件均匀、有序排列于薄膜上。

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摘要：本发明的目的在于提供能够将部件保持膜在加热下正常地吸附固定于卡盘台的部件制造装置和部件制造方法，本部件制造装置1具备：在经加热的吸附面21a上吸附固定部件保持膜的吸附固定单元20、以及阻止在吸附面21a产生的热对流撞击部件保持膜的阻止单元30。本部件制造方法具备在经加热的吸附面21a上吸附固定部件保持膜的设置工序，设置工序包含阻止在吸附面21a产生的热对流撞击部件保持膜的阻止工序。

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摘要：本发明公开了一种便于转移的MicroLED芯片及其制作方法、转移方法，所述芯片包括载体基板、扩展片和多个芯粒，所述芯粒包括衬底、设置在衬底正面的外延层、以及与外延层导电连接的电极，所述扩展片结合在衬底的背面，以增加芯粒的与吸嘴的接触面积，所述载体基板上设有连接点，所述芯粒的电极结合在连接点上，从而将芯粒固定在载体基板上，所述连接点由具有粘附性的导电金属制成。本发明通过在衬底地背面设置一层扩展片，以增加吸嘴与芯粒的接触面积，使得吸嘴可以稳稳地吸住芯粒，从而提高转移效率。

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发明人：孙沂周;金圣协 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： H01L21/683
摘要：提供了用于结合基底的真空吸盘和设备以及结合基底的方法。所述用于结合基底的真空吸盘包括：吸盘板，包括真空孔以保持基底；隔板，布置在吸盘板中，隔板将吸盘板划分为多个区域；以及温度控制构件，位于多个区域中的每个区域中，温度控制构件独立地控制每个区域中的温度，以使基底的与每个区域接触的部分选择性地膨胀或收缩。

陶瓷混合绝缘体板-201910637929.8
发明人： J·西蒙斯;D·洛弗尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-07-15 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： H01L21/683
摘要：本公开内容整体涉及一种用于处理基板的静电吸盘。所述静电吸盘包括：设施板；以及绝缘体，所述绝缘体设置在冷却基部与接地板之间。支撑主体耦接到所述冷却基部以用于在所述支撑主体上支撑基板。环被配置为环绕所述绝缘体。所述环由耐受因暴露于制造工艺中造成的降解的材料形成。所述环任选地包括延伸部，所述延伸部被配置为环绕所述设施板。

转移结构体的方法-201910623851.4
发明人：拉米·贝纳萨 -专利权人：原子能和替代能源委员会
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H01L21/683
摘要：本发明涉及将结构体(200)转移到主基板(400)上的方法，所述方法依次包括以下步骤：a)提供包括两个主要面的临时基板(100)，所述临时基板(100)是可延伸的，所述结构体(200)经它们的正面(210)结合在第一面上；b)沿至少一个方向延伸临时基板(100)，以增大结构体(200)之间沿至少一个方向上的间隔；c)将多个结构体(200)转移到主基板(400)的主面(410)上的步骤，临时基板(100)包括由可延伸材料制成的基质(101)和结构体(200)结合于其上的多个嵌件(102)，所述嵌件包含的材料的杨氏模量高于可延伸材料的杨氏模量。

一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂-201910922545.0
发明人：唐阳明 -专利权人：上海图双精密装备有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H01L21/683
摘要：本发明公开了一种用于涂胶显影设备的晶圆传送手臂，包括手臂本体，还包括两个与手臂本体滑动连接的调节座，所述调节座内设有真空通道，所述调节座上固定连接有球头座，所述球头座上固定连接有顶部、底部均为平面的球头，所述球头顶部固定连接有限位板，所述限位板上设有通孔，所述通孔向下延伸依次贯穿球头、球头座并与真空通道连通，所述球头外部可转动地套接有吸盘座，所述吸盘座可相对球头在一定范围内摆动，所述吸盘座顶部安装有吸盘，所述吸盘与通孔连通。本发明能够适应不同尺寸的晶圆及发生翘曲的晶圆。

专利分类

H 电学

H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造

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[发明专利]太阳能电池串转移机构及方法在审

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