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[发明专利]一种静电转移头及其制造方法-CN202011037950.3有效
发明人：张良玉;朱充沛;高威;周宇;王鸣昕 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-09-28 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电转移头及其制造方法，静电转移头包括基板、阵列设置在基板上的多个高台，还包括位于相邻高台之间且设置在基板上的沟槽、位于沟槽内的电极线和接地线、设置在每个高台上的凹槽、覆盖在高台上和侧边上的至少一个电极以及介电层；其中，所述电极覆盖至少部分凹槽，所述电极线连接相邻高台上的电极，所述介电层位于电极线和接地线之间和覆盖所述电极和所述凹槽。本发明静电转移头，通过在高台上形成凹槽以形成双极电极或单极电极，电极吸附和转移微型器件；凹槽很好的解决了静电转移头与微型器件之间的偏移问题，另外，本发明在电极线上方还添加了接地线很好的屏蔽了电极线产生的电场。
一种静电转移及其制造方法

[发明专利]显示面板及显示装置-CN202111655144.7在审
发明人： 朱充沛;高威;黄洪涛;仲崇岩;方佳怡 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;南京京东方显示技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01L27/15 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种显示面板及显示装置，显示面板包括驱动背板，驱动背板包括衬底基板，位于衬底基板一侧的驱动电路层，位于驱动电路层远离衬底基板一侧的有机绝缘层，以及位于有机绝缘层远离衬底基板一侧的键合金属层；键合金属层包括与发光单元键合的键合区，且至少两个键合区与衬底基板的距离不同。如此设计，能够缩小不同叠层厚度的发光单元在键合于驱动背板的键合垫后的高度差，甚至是消除高度差，一方面能够保证发光单元与驱动背板的键合良率，另一份使发光单元顶端基本平齐，降低上电极层的制作难度。
显示面板显示装置

[发明专利]一种微型发光二极管的制造方法-CN202010614937.3有效
发明人：王俊星;周宇;张惟诚;黄安;朱充沛 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明提出一种微型发光二极管的制造方法，涉及微型发光二极管领域，本发明通过对外延层先进行部分刻蚀，再去除外延层上的光阻，然后继续对外延层刻蚀形成微型发光二极管的方法，解决了微型发光二极管在制作过程中容易发生位置偏移的问题，提高了Micro LED制造完成后的位置准确性。
一种微型发光二极管制造方法

[发明专利]一种显示背板及其制造方法、微型发光二极管显示器-CN202010309479.2有效
发明人：张有为;朱充沛;王俊星;张良玉;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明提出一种显示背板及其制造方法、微型发光二极管显示器，涉及微型发光二极管领域，所述制造方法包括：S1：形成多个位于背板衬底上阵列排布的键合电极，形成位于键合电极上方的磁流变液层；S2：电磁铁基板上的电磁铁对应贴合在背板衬底的背面，电磁铁位于背板衬底的下方且与键合电极对应设置；S3：控制电磁铁的磁场强度，在对应的磁流变液层上放置微型发光二极管；S4：对微型发光二极管进行光学检测，控制电磁铁的磁场强度对检测到的坏点进行移除，并转移新的微型发光二极管放置至坏点处；S5：微型发光二极管的底部电极与键合电极进行键合，键合完成后移除电磁铁基板。本发明实现显示背板制造过程中对微型发光二极管可选择的转移和修复。
一种显示背板及其制造方法微型发光二极管显示器

[发明专利]一种微型发光二极管显示背板的制造方法-CN201911178192.4有效
发明人：黄安;徐尚君;张惟诚;朱充沛;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明提出一种微型发光二极管显示背板的制造方法，涉及微型发光二极管领域，制造方法包括以下步骤：S1：在暂态基板的外延层上形成阵列排布的倒梯形金属层；S2：在倒梯形金属层的下方形成微型发光二极管；S3：转移头将顶部带有倒梯形金属层的微型发光二极管转移至显示背板的第二电极上；S4：形成位于微型发光二极管顶部的第一开孔和位于显示背板上的第一电极顶部的第二开孔，在第一开孔和第二开孔覆盖金属氧化物层，微型发光二极管与第一电极导通。本发明通过事先制备一个位于微型发光二极管上方的倒梯形金属层，便于在制备微型发光二极管侧壁保护层的同时也能在微型发光二极管顶部形成开孔。
一种微型发光二极管显示背板制造方法

[发明专利]一种转移装置、显示背板、Micro LED器件及其制造方法-CN202011370496.3在审
发明人：黄安;张惟诚;黄洪涛;徐尚君;高威;朱充沛 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种转移装置、显示背板、Micro LED器件及其制造方法，转移装置包括转移基板、位于转移基板上且阵列设置的转移勾臂基座以及固定在转移勾臂基座上且与转移基板平行设置的转移勾臂。本发明转移装置不需要重新加工，可以重复使用；在转移过程中不存在残胶风险，且转移装置受Micro LED器件的金属键合层和缓冲层的附着力的影响较小，转移成功率高。
一种转移装置显示背板 micro led 器件及其制造方法

[发明专利]一种Micro LED检测和转移方法-CN202011372893.4在审
发明人：张有为;周宇;朱充沛;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H01L27/15 文献下载
摘要：本发明提供一种Micro LED检测和转移方法，包括如下步骤：S1：形成阵列设置的外延层；S2：在外延层上制作金属电极层；S3：金属电极层与暂态基板的第一UV胶贴合；S4：激光剥离蓝宝石基板；S5：检测基板上涂覆第二UV胶，然后在第二UV胶上制作并图案化的光敏导电层；S6：光敏导电层与LED的外延层贴合并加电固化，在加电固化的过程中；S7：移走暂态基板；S8：检测基板把正常的LED转移至背板基板的键合电极上，LED的金属电极层与键合电极键合；S9：在背板基板对LED进行修补，具体修补步骤S6中的环的LED。本发明通过检测和转移同时进行，在LED转移至背板基板前进行检查，提高检查和效率；检测和转移同时进行，提高工艺效率。
一种 micro led 检测转移方法

[发明专利]一种微型发光二极管的转移结构及其方法-CN202011392019.7在审
发明人：黄安;张良玉;朱景辉;朱充沛;黄洪涛;高威;王志军 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种微型发光二极管转移结构及其方法，包括转移头和待转移的微型发光二极管器件；转移头包括扰动模块、转移头衬底以及多个转移柱；待转移的微型发光二极管器件包括暂态基板、位于暂态基板上的缓冲层以及位于缓冲层上呈阵列分布的环状微型发光二极管；每个环状微型发光二极管的底部设有环状键合金属；所述环状微型发光二极管和环状键合金属的中心处设有贯通孔，转移时，转移头的转移柱可插入所述贯通孔内。本发明通过将转移头设置成扰动模块、转移头衬底以及多个转移柱，将微型发光二极管设置成环状，可以实现一次性拾取并转移多组微型发光二极管，且转移头可以重复使用，大大提升了微型发光二极管的转移效率，降低了生产成本。
一种微型发光二极管转移结构及其方法

[发明专利]一种微型器件及其转移方法-CN202011333978.1在审
发明人：张有为;周宇;朱充沛;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：本发明还提供一种微型器件及其转移方法，微型器件包括位于暂态基板上的粘附层，粘附层呈凹凸状；微型器件还包括位于凸状粘附层上的第一外延层、位于第一外延层上的第一金属电极、位于凹状粘附层上的第二外延层以及位于第二外延层上的第二金属电极。本发明微型器件的第一金属电极和第二金属电极不是整面的，且通过生长直接获得，不需要进行刻蚀，保持了完整性；通过图案化生长外延层，避免了ICP(等离子刻蚀)分割LED带来不良影响；只需要一次激光剥离衬底基板，且在激光剥离之前生长好第一金属电极和第二金属电极，不会因激光剥离产生碎裂状况；第一金属电极和第二金属电极都可使用，避免浪费，节约成本。
一种微型器件及其转移方法

[发明专利]一种Micro LED器件及其转移方法-CN202011337110.9在审
发明人：张有为;周宇;朱充沛;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：本发明还提供一种Micro LED器件及其转移方法,Micro LED器件包括玻璃基板、位于玻璃基板上的胶缓冲层、位于胶缓冲层上的第二金属凸起、粘附层以及LED阵列，其中第二金属凸起呈凹凸状，粘附层位于第二金属凸起的凸状上，LED阵列包括位于第二金属凸起的凹状内的第一金属凸起和位于第一金属凸起上的外延层。本发明LED阵列的LED金属层放置在第二金属凸起的凹状内上且未直接与胶缓冲层接触，这样LED阵列转移时不会有胶残留；另一方面LED阵列底部没有设置胶，这样转移LED阵列时，拾取力需求小，提高了转移效率，避免了LED电性接触不良。
一种 micro led 器件及其转移方法

[发明专利]一种微发光二极管背板及其制造方法-CN202011369798.9在审
发明人：黄安;张良玉;朱景辉;朱充沛 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：本发明提供一种微发光二极管背板及其制造方法，微发光二极管背板其包括背板衬底，还包括位于背板衬底上的粘附性绝缘层、位于粘附性绝缘层上的底部电极和第一金属电极线、位于底部电极上的微发光二极管、覆盖微发光二极管的平坦化绝缘层、位于平坦化绝缘层上的第二金属电极线、通过平坦化绝缘层与微发光二极管接触的透明电极。本发明微发光二极管背板直接省去了转移工艺以及微型发光二极管转移后热压贴工艺，节约了工艺时间和成本，而且通过开孔的平坦化绝缘层保护微型发光二极管侧壁，平坦化绝缘层致密性较好，降低了漏电流的风险。
一种发光二极管背板及其制造方法

[发明专利]一种静电吸头及其制造方法、以及转移Micro LED方法-CN202011372649.8在审
发明人：张有为;周宇;朱充沛;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电吸头及其制造方法、以及转移Micro LED方法，一种静电吸头，包括位于玻璃基板上且阵列设置的记忆合金层、缓冲层、电极层和介电层，其中缓冲层、电极层和介电层依序位于记忆合金层上。本发明静电吸头的缓冲层保护静电吸头的电极层和Micro LED，可恢复性伸缩材料制成的记忆合金层可以补偿暂存基板的翘曲、膜层均一性差等带来的gap值，提高静电力，增加转移良率。
一种静电吸头及其制造方法以及转移 micro led

[发明专利]一种易于转移的微型发光二极管的制造方法-CN202011106340.4在审
发明人：张有为;周宇;朱充沛;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种易于转移的微型发光二极管的制造方法，包括如下步骤：在蓝宝石衬底上沉积外延层，在外延层上涂覆光阻层；在光阻层上涂覆牺牲层；将带有第一胶缓冲层的第一玻璃衬底与牺牲层贴合；剥离掉蓝宝石衬底；对外延层进行刻蚀，形成微型发光二极管阵列结构；将带有第二胶缓冲层的第二玻璃衬底与微型发光二极管阵列结构贴合；剥离掉第一胶缓冲层；对牺牲层和光阻层进行刻蚀；对第二胶缓冲层进行解胶；将微型发光二极管与一基板键合区进行键合；剥离网状的牺牲层和光阻层。本发明通过光阻层和牺牲层形成网状结构，将转移前的Micro LED彼此连接，Micro LED转移后使Micro LED彼此独立的留在基板上，该方法不仅可以提高Micro LED转移良率，而且增加了转移精度。
一种易于转移微型发光二极管制造方法

[发明专利]一种微型发光二极管显示背板及其制造方法-CN202011152532.9在审
发明人：黄安;朱充沛;黄洪涛;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： H01L25/16 文献下载
摘要：本发明提出一种微型发光二极管显示背板及其制造方法，涉及微型发光二极管领域，微型发光二极管显示背板包括：背板衬底；多条第一金属电极条，平行分布在背板衬底上；多个键合金属柱，阵列设置在第一金属电极条上方；弹性胶层，覆盖背板衬底和第一金属电极条，所述弹性胶层在键合金属柱上方无覆盖；微型发光二极管，键合于键合金属柱上；绝缘层，覆盖弹性胶层；多条第二金属电极条，位于绝缘层上且与第一金属电极条垂直交错设置；以及多个电极图层，连接微型发光二极管和对应的第二金属电极条；其中，所述弹性胶层由耐高温弹性材料制成。
一种微型发光二极管显示背板及其制造方法

[发明专利]一种微型器件转移头及其制造方法-CN202011046499.1在审
发明人：张有为;周宇;朱充沛;高威 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提出一种微型器件转移头及其制造方法，涉及微型发光二极管领域，本发明提供一种使用热缩性材料的微型器件转移头，通过在使用热缩性材料层上设置间隔排列且大小不同的第一凹槽和第二凹槽，加热热缩性材料实现凹槽的均匀收缩并包裹住待转移的微型器件，以此有效解决转移精度不高、微型器件易损坏等问题。
一种微型器件转移及其制造方法

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