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[发明专利]一种硅片热氧化湿氧工艺-CN202010923895.1在审
发明人：仝泉;周晓飞;田献立;刘丽娟 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：本发明的一种硅片热氧化湿氧工艺，包括构建硅片热氧化湿氧工艺过程高纯水加注量确定的步骤和方法，具体包括在氧化炉炉管后部设置计量泵和气体喷头；通过计量泵将高纯水注入气体喷头；气体喷头将注入的高纯水雾化成水汽注入氧化炉炉管，水汽进入氧化炉炉管后，分解成氢气和氧气，与硅片发生反应，在硅片表面形成氧化膜；通过调整计量泵注入氧化炉炉管内纯水的量控制硅片表面氧化膜的生长厚度。本发明提高了硅片氧化湿氧工艺的安全可靠性，减少了湿氧过程引入污染的几率，通过控制计量泵注入纯水的流量和湿氧工艺时间，可精准控制硅片氧化工艺氧化膜的生长厚度。
一种硅片氧化工艺

[实用新型]一种用于硅晶圆多线切割的砂浆管固定架-CN201921505848.4有效
发明人：王晓飞;郭爱林;马文宏 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于硅晶圆多线切割的砂浆管固定架，包括卡槽机构、架体机构和弧形卡具，卡槽机构包括固定板、T形板和固定螺栓，固定板上设有与固定螺栓相匹配的固定通孔，固定板还通过固定螺栓连接于多线切割机的外基座处，T型板的下端面还连接于固定板的顶部，T形板还连接架体机构；架体机构包括连接板、限位板和横杆，连接板的两端还分别连接限位板和横杆，连接板和横杆均沿水平方向设置，限位板设置为两个，两个限位板分别沿竖直方向连接于连接板的两侧，两个限位板之间还预留供T形板竖直板通过的限位间隙，横杆还连接夹持砂浆管的弧形卡具。本实用新型解决了原有安装方式下砂浆管不能水平放置的现象，保证设备长效运行。
一种用于硅晶圆多线切割砂浆固定

[实用新型]一种用于硅单晶棒粘接台的编码器联接件-CN201921789322.3有效
发明人：王晓飞;彭建生;李建刚;焦二强 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于硅单晶棒粘接台的编码器联接件，包括联接板和设置于联接板上的第一安装架、第二安装架，联接板为矩形板，联接板还沿中心轴方向预留供连接轴通过的连接通孔，联接板连接第一安装支架和第二安装支架；第一安装支架上预留供第一安装螺栓通过的第一连接孔，第二安装支架上预留供第二安装螺栓通过的第二连接孔，第一安装支架通过第一安装螺栓连接于编码器的外壁处，第二安装支架通过第二安装螺栓连接于联接件底座，第一安装支架和第二安装支架均设置为两个，两个第一安装支架和两个第二安装支架还分别对称设置。使用本实用新型后的编码器轴向窜动量小，定位效果良好且更换方便。
一种用于硅单晶棒粘接台编码器联接

[实用新型]一种LPCVD炉真空泵防返气工装-CN202020137598.X有效
发明人：张天鹏;李艳巧;李鲁;董开纪 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： F04B39/10 文献下载
摘要：一种LPCVD炉真空泵防返气工装，涉及半导体材料生产技术领域，包括一球形空心连接件，连接件的上下端设有接口，连接件的中心位置放置有橡胶圆球，连接件靠近上端接口的内壁上设有4个凸出柱，4个凸出柱均匀分布于同一个水平的圆周上。本实用新型有益效果：本实用新型结构简单、设计合理、操作方便，克服了外界气体进入炉腔沾污产品的问题，保证了炉腔的洁净度，进而保证了产品质量。
一种 lpcvd 真空泵防返气工装

[实用新型]一种背面软损伤设备用的砂浆喷头调整固定底座-CN202020137599.4有效
发明人：郭栋梁;王军;代玉超;彭建生 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：一种背面软损伤设备用的砂浆喷头调整固定底座，涉及半导体硅片技术领域，所述底座包括方形的底座本体，底座本体中心开设一个圆形的喷头安装孔，底座本体的其中一个面为固定面，其它三个面为定位面，固定面上设置2个底座固定孔，每个定位面设置一个用于锁紧喷头的锁紧螺丝孔。本实用新型有益效果：解决了现有设备在调整砂浆喷头高低时存在的问题，根据生产工艺的要求，只要松动各个锁紧螺丝便可轻松方便的调整喷头高低，操作方便，大大地提高了设备产能。
一种面软损伤备用砂浆喷头调整固定底座

[实用新型]一种防止液位误报警的高温溶液槽装置-CN202020412292.0有效
发明人：马龙峰;高战锋;张明亮 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种防止液位误报警的高温溶液槽装置，涉及半导体制造技术领域，包括溶液槽及与溶液槽连通的连通管路，在连通管路上连接一三通接头，三通接头的第一接口与连通管路连通，三通接头的第二接口连通高纯氮气管路，三通接头的第三接口连接一液位检测管路，液位检测管路同时与溶液槽和连通管路连通，且液位检测管路和连通管路的液位随溶液槽的液位变化而变化，液位检测管路上设有用于检测液位的光电传感器。本实用新型有益效果：解决了现有设备在片盒清洗过程中，液位检测管路容易凝结小水滴，造成设备误报警的问题。
一种防止液位误报警高温溶液装置

[实用新型]一种单晶炉炉压调节装置-CN201921505856.9有效
发明人：王松涛;孙金召;吴继伟;冯冰冰 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架、电控部分，还包括阀板和环形胶木阀套；阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，锯齿结构的外围相配合设置环形胶木阀套，环形胶木阀套嵌于所述不锈钢环架和阀板之间，且环形胶木阀套不做运转，电控部分设置在不锈钢环架的一侧且分别与不锈钢环架、阀板电连接，所述电控部分带动阀板做正反转动。本实用新型一方面降低了运行过程中挥发物沉积、减少负载运行过重对电路的损坏的风险；另一方面，阀板比起原来结构减小，紧贴周围有环形胶木阀套防护，机械运行的力度大大降低，阀板与环形胶木阀套的密封性能完好结合，设备压力控制稳定可靠。
一种单晶炉炉压调节装置

[实用新型]一种NTC多线切割机主辊夹具-CN201922428700.1有效
发明人：王晓飞;刘建锋;彭建生;张天鹏 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：一种NTC多线切割机主辊夹具，涉及硅晶圆切割生产技术领域，包括夹具外框，夹具外框的一端开设螺栓孔，另一端开设夹具固定凹口，螺栓孔内穿设夹具螺栓，夹具外框内侧设有用于连接主辊的联接盘，联接盘穿设于夹具螺栓上，所述夹具还包括防损块，防损块为空心圆柱形，穿设在夹具外框与联接盘之间的夹具螺栓上。本实用新型有益效果：本实用新型的NTC多线切割机主辊夹具使用方便，通过设置防损块盖住夹具螺栓的无丝部分，在实际操作中，当推进或拉出连接盘时，如果过于拉出联接盘，联接盘会触碰到防损块，防损块受压破碎由此避免了夹具螺栓的损坏，解决了原有夹具容易受损不能使用的问题，提高了工作效率。
一种 ntc 切割机主夹具

[外观设计]激光刻字识别装置-CN202030204163.8有效
发明人：李仕豪;熊诚雷;吴跃峰;胡晓亮;赵智超;姜宝柱;田增国 -专利权人：洛阳德晶智能科技有限公司;麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2020-05-08 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：激光刻字识别装置。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于识别一整盒硅片表面的激光刻字。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
激光刻字识别装置

[发明专利]一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构-CN202010350249.0在审
发明人：贾波;牛海涛;郭光灿;马龙峰;张明亮 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： F15B15/02 文献下载
摘要：一种提高气缸运动行程的放大伸缩机构，涉及硅片陶瓷盘的取料输送装置技术领域，包括上层机架、中间机架和底层机架，中间机架位于底层机架和上层机架之间，底层机架上平行设有2条直线导轨，中间机架通过底层机架上的直线导轨在底层机架上滑动；中间机架包括对称设置的两条滑轨，两条滑轨之间通过位于滑轨一端的连接板固定连接，气缸的伸出轴与连接板连接，上层机架通过其底部设置的轴承与滑轨配合实现上层机架在中间机架上的滑动。本发明有益效果：本发明以钢丝为行程放大机构，结构简单，运动行程大，解决了抛光生产过程中对载体陶瓷盘进行取料困难的问题，实现了陶瓷盘取料机构的轻便化，为其它抛光设备取料提供了有效的解决方案。
一种提高气缸运动行程放大伸缩机构

[实用新型]一种硅片倒角工艺中直径扫描仪位置调整固定装置-CN201921776599.2有效
发明人：王海君;李建刚;刘建锋 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：一种硅片倒角工艺中直径扫描仪位置调整固定装置，涉及半导体硅片生产技术领域，包括直角形的定位件和经过标准件校准并标记有校准尺寸的刻度板，所述刻度板上对应于每个校准尺寸的正上方开设有定位孔，定位件的水平段上穿设有与定位孔配合固定的固定销，定位件的垂直段固定于直径扫描仪的底部。本实用新型有益效果：本实用新型结构简单，设置合理，利用该装置可以精确、直观、有效且简单的调整直径扫描仪固定位置，保证直径扫描仪工作在有效范围内，进而能精确地检测到被测硅片直径数据，且调整方法简单、实用。
一种硅片倒角工艺直径扫描仪位置调整固定装置

[实用新型]一种倒片器硅片卡具-CN201922428795.7有效
发明人：王晓飞;董开纪;郭栋梁;乔光辉 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种倒片器硅片卡具，涉及半导体硅片热处理技术领域，包括卡具本体，卡具本体上沿其长度方向均匀开设有多个用于卡设硅片的卡槽，所述卡槽为U形。本实用新型有益效果：本实用新型结构简单，设计合理，使用硅片卡具，解决了原有倒片方式下，硅片出现擦伤的问题，提高产品质量。
一种倒片器硅片卡具

[实用新型]一种硅片研磨机磨盘的拆卸安装工装-CN201921881877.0有效
发明人：郭栋梁;董开纪;王军 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B24B45/00 文献下载
摘要：一种硅片研磨机磨盘的拆卸安装工装，涉及半导体材料技术领域，包括均匀分布于磨盘表面四周的4个长方体的吊装板和4个与吊装板配合固定的L型的固定板，每个长方体吊装板的表面开设有2个锁紧螺丝孔，长方体吊装板的侧面开设有联接丝孔，所述固定板上开设一个与联接丝孔配合固定的联接孔。本实用新型有益效果：本实用新型结构简单、设计合理、加工工艺简单、成本低、操作方便、安全可靠，利用磨片机本身的结构和功能与本实用新型结合实现磨盘的拆卸安装功能，并克服了拆装困难的问题，大大地节省更换磨盘时间、降低了生产成本，提高了设备产能。
一种硅片研磨机磨盘拆卸安装工装

[实用新型]一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置-CN201921776596.9有效
发明人：韩云霄;杨波;胡晓亮 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型的一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置，该抛动装置包括传动板、固定杆、底板、转轮、凸轮、连接板和直线导轨；传动板的两侧分别贯穿设置所述固定杆，传动板上均匀分布有若干个用于固定传动板和固定杆的固定螺丝孔，底板设置在传动板的下方且与固定杆的底端分别连接，转轮设置在该抛动装置的中心位置且连接后方的电机，转轮的上部贯穿设置凸轮且转轮的转动带动凸轮的转动，凸轮的上方通过连接板连接设置直线导轨，直线导轨位于连接板和传动板之间，直线导轨和连接板将凸轮的圆周运动转化为传动板的非匀速直线运动。本实用新型实现对腐蚀前的硅片的充分清洗的同时，尽可能地减少机械磨损问题，延长其使用寿命。
一种用于腐蚀清洗硅片装置

[实用新型]一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台-CN201921505838.0有效
发明人：王晓飞;代玉超;董开纪 -专利权人： 麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，包括支撑机构、滚柱和调节机构，支撑机构包括滚道平台和与滚道平台相连接的支撑柱，滚道平台沿水平方向设置，滚道平台上还预留多个安装轨道，安装轨道还互相平行，滚柱设置于安装轨道内，滚柱为圆柱体形，滚道平台还连接多个支撑柱；支撑柱的一端连接安装平台的底面，支撑柱的另一端还预留安装槽，多个支撑柱还分别通过安装槽连接于调节机构；调节机构包括螺纹槽和与螺纹槽相匹配的地脚螺栓，螺纹槽固定于安装槽的内部，地脚螺栓还通过地脚螺栓的螺纹端连接于螺纹槽。本实用新型提高了硅圆晶片加工过程中电极安装的安全性和便捷性。
一种用于晶片加工电机安装平台

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