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- [发明专利]一种外延层剥离装置及剥离方法-CN201710509575.X有效
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兰立广
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紫石能源有限公司
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2017-06-28
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2022-09-06
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H01L21/67
- 本发明公开了一种外延层剥离装置及剥离方法，用于依次包含有衬底、牺牲层、外延层和支撑层的待剥离件的外延层剥离，该外延层剥离装置包括上端开口的盒体，盒体底部设置有弹性缓冲结构；待剥离件放置于弹性缓冲结构上方时，待剥离件的支撑层边沿位于盒体侧壁上，使得待剥离件的支撑层与衬底之间具有一定张角。刻蚀初期，弹性缓冲结构被压缩而缓慢下移，在支撑层自身的应力和外延层剥离装置对待剥离件的支撑力的共同作用下，使得外延层与衬底的张角逐渐变大，增大了腐蚀液和牺牲层界面间形成的腐蚀通道，有利于腐蚀液快速进入及反应副产物的输出，从而提高了刻蚀初期的外延层剥离速率。
- 一种外延剥离装置方法
- [发明专利]立式热处理设备-CN202110691127.2在审
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兰立广;杨慧萍
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2021-06-22
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2021-08-31
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H01L21/67
- 本申请实施例提供了一种立式热处理设备。该立式热处理设备包括：内炉管、外炉管及炉体结构；内炉管包括炉管本体及盖板，炉管本体的底端为传输口，用于传输晶圆及工艺气体；盖板设置于炉管本体的顶端，盖板开设有与内炉管同轴设置的排气口，用于排出工艺气体；外炉管的顶端为封闭结构，外炉管套设于内炉管的外周，外炉管的内壁与内炉管的外壁间隔设置以形成与排气口连通的排气通路；外炉管的底部一侧还设置有与排气通路连通的排气歧管；炉体结构包覆于外炉管的外周，用于对内炉管及外炉管进行加热及保温。本申请实施例实现了内炉管的气流一致性，有利于提高晶圆镀膜等工艺的结果一致性，从而大幅提高了晶圆的工艺良率。
- 立式热处理设备
- [发明专利]薄膜片热压合方法及系统-CN201910570321.8在审
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兰立广;刘香廷;严静融
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东泰高科装备科技有限公司
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2019-06-27
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2020-12-29
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B32B37/10
- 本发明涉及薄膜片的热压合技术领域，尤其涉及一种薄膜片热压合方法及系统，薄膜片热压合方法包括以下步骤：S1，剥离双层离型纸的底层离型纸；S2，对双层离型纸的热熔胶层进行预设形状的切割处理，形成胶合区和分离区；S3，将分离区由双层离型纸的顶层离型纸上剥离，胶合区留在顶层离型纸上，分离区与胶合区分离；S4，将胶合区与衬底结构的表面进行热压合；S5，剥离顶层离型纸；S6，将高分子聚合物薄膜与衬底结构上的胶合区进行热压合。本发明实现胶合区与衬底结构的热压合，剥离顶层离型纸，从而获得局部覆盖热熔胶的衬底结构，有效解决了在衬底结构的倒角处层压有热熔胶的问题,防止后续外延层剥离的失效。
- 薄膜热压方法系统
- [发明专利]一种柔性太阳能组件的层压方法-CN201611183312.6有效
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兰立广;童翔;丁建
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北京汉能创昱科技有限公司
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2016-12-20
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2020-12-22
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B32B37/10
- 本发明公开了一种柔性太阳能组件的层压方法，其方法是：将柔性太阳能组件中的各层材料对位后置于层压机下腔体的加热板上，对层压机上腔体和下腔体同时抽真空；逐步增加层压机上腔体中的压强至最高层压压强，保持层压机上腔体中的最高层压压强与下腔体中的压强差小于一个大气压，直至太阳能组件中各层材料粘合；使层压机上腔体恢复到步骤1中的初始真空压强，同时逐步增加层压机下腔体中的压强至一个大气压；打开层压机下腔体，即得层压后的太阳能组件。本发明在层压工艺初始阶段设置层压机上腔体分阶段逐步增加压强，并保持最终的层压压强低于一个大气压强，有利于提高光电电池的发电性能及可靠性，且层压方法工艺制程简单，并具有易实现的特点。
- 一种柔性太阳能组件层压方法
- [发明专利]膜片分离装置及方法-CN201811609516.0在审
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兰立广;李秋凤;刘香廷;姚立强
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东泰高科装备科技有限公司
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2018-12-27
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2020-07-07
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B32B38/10
- 本发明提供一种膜片分离装置，所述膜片分离装置包括承载台、分离机构和收集机构；所述承载台包括承载面，所述承载面用于吸附膜片的衬底，所述收集机构包括收集面；所述承载面与所述收集面分别设置在所述分离机构的两侧，且所述承载面与所述分离机构相对，所述收集面与所述分离机构相背，所述分离机构包括分离辊，所述分离辊能够绕自身轴线转动且同时能够相对所述承载台运动，所述分离辊外表面设置有多个第一外气孔，所述多个第一外气孔能够分别吸气或者喷气。本发明还提供一种膜片分离方法，所述膜片分离装置在分离过程中能够避免该膜片的本体的功能层被损坏或者被污染。
- 膜片分离装置方法
- [发明专利]一种泄漏检测装置及方法-CN201811646586.3在审
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杨巍;王进福;兰立广
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东泰高科装备科技有限公司
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2018-12-29
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2020-07-07
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G01M3/24
- 本发明公开了一种泄漏检测装置及方法，属于泄漏检测技术领域。该泄漏检测装置包括信号处理器和振动体；所述信号处理器与所述振动体之间通过振动发生机构和振动检测机构连接；所述信号处理器连接有远程控制器。该方法包括步骤S1：通过激励方法产生激励信号，使所述振动体产生一定的机械振动响应；S2：检测出所述振动体机械振动的响应特性；S3：根据检测的响应特性，通过模拟信号分析或数字信号分析得到系统的模态特性，判断是否发生泄露。本发明提供的泄漏检测方法通过振动原理进行检测，避免了待检测物料需要特定的理化属性造成的使用限制；同时也适用于固体类物料的检测，扩展了可检测泄漏的物料种类，提高了装置的适用性。
- 一种泄漏检测装置方法
- [发明专利]漏液检测装置和漏液检测方法-CN201811460184.4在审
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杨巍;兰立广;王进福
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东泰高科装备科技有限公司
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2018-11-30
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2020-06-09
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G01M3/24
- 本发明提供了一种漏液检测装置和漏液检测方法，其中，漏液检测装置包括超声波发射单元，用于向外发出超声波信号；超声波接收单元，用于接受超声波信号；信号控制处理单元；信号控制处理单元用于控制超声波发射单元发出超声波信号，并用于分析处理超声波信号，信号控制处理单元根据超声波信号通过检测区域的过程中出现速度变大、相位偏移或强度减弱现象而判定检测区域内存在漏液，并向外发出漏液提示信号。本发明解决了现有技术中的漏液检测装置因结构复杂，元器件昂贵而存在成本高的问题，而且还容易受环境因素的影响存在检测精度低的问题，导致漏液检测装置会出现不报警或失误报警的状况。
- 检测装置方法
- [发明专利]层压设备-CN201811290114.9在审
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兰立广;陈保存;李金龙;姚立强
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东泰高科装备科技有限公司
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2018-10-31
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2020-05-08
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B32B37/06
- 本发明提供了一种层压设备。层压设备包括真空热压合结构、热压合结构和冷却结构，热压合结构位于真空热压合结构下游处，冷却结构位于热压合结构下游处，真空热压合结构包括：第一压合件；位于第一压合件下方的第二压合件，第一、二压合件之间的距离可调整，以对设置在第一、二压合件之间的被加工件和层压材料压合；其中，第二压合件包括吸合本体及设置在吸合本体上的至少两个相互独立的抽真空组件，吸合本体通过至少一个抽真空组件吸合层压材料，至少一个抽真空组件用于抽取层压材料与被加工件之间的气体，第一、二压合件压接以实现真空热压合结构对层压材料和被加工件的压合。本发明解决了现有技术中层压设备的层压效果较差的问题。
- 层压设备
- [发明专利]输送设备-CN201811290118.7在审
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兰立广;陈保存;王营营;杨巍
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东泰高科装备科技有限公司
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2018-10-31
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2020-05-08
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B65H23/26
- 本发明提供了一种输送设备。输送设备包括机架及依次设置在机架上的引料装置、张紧组件和收料装置，引料装置包括用于缠绕被输送件的进料辊，收料装置包括收料辊，被输送件被卷绕在收料辊上，以实现收料辊对被输送件的收料操作，张紧组件包括：张紧结构，设置在引料装置与收料装置之间，张紧结构包括第一辊轮组件和压力调节组件，被输送件绕设在第一辊轮组件上，压力调节组件可调节被输送件上的张力值，当张力值与预设张力值不一致时，压力调节组件调整第一辊轮组件在竖直方向Z上的高度，以使张力值与预设张力值一致。本发明有效地解决了现有技术中输送设备对被输送件上张力控制的控制精度较低的问题。
- 输送设备
- [发明专利]贴膜机-CN201811290164.7在审
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兰立广;陈保存;李金龙;姚立强
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东泰高科装备科技有限公司
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2018-10-31
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2020-05-08
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B65B33/02
- 本发明提供了一种贴膜机。贴膜机包括：输送设备，包括机架及设置在机架上的引料装置和收料装置，层压材料绕设在引料装置和收料装置上；层压设备，位于引料装置和收料装置之间，以对经由层压设备的层压材料和被加工件进行压合；切割设备，位于层压设备与收料装置之间，切割设备包括切割装置和位于切割装置下方的载台组件，切割装置对完成压合的层压材料和被加工件进行切割，待切割完成后，载台组件将完成切割后的层压材料和被加工件输送至预设位置。本发明有效地解决现有技术中贴膜效率较低，生产周期较长的问题。
- 贴膜机
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