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[发明专利]晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统-CN202110761694.0有效
发明人：曹自立;李灯;申兵兵;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统，晶圆竖直旋转处理设备包括：用于竖直旋转晶圆的夹持机构、用于输送流体的供给臂、用于在晶圆处理腔室内形成动态气流的通风系统；通风系统包括进气组件和排气组件，外部的气体从设于进风罩下方的进气管路引入并通过进风面板的进风口通入晶圆处理腔室，腔室内的气体从排风背板的排风口进入环形排风罩进行汇集，并通过环形排风罩的底部引出结构向下方的排气管路引出；进风面板上不同面积的进风口按照特定方式分布，进风口为台阶孔形状，其包括位于进气侧的第一通孔和位于出气侧的第二通孔，第一通孔的截面积不同于第二通孔的截面积从而对流经进风口的气体流量进行调节。
竖直旋转处理设备及其应用通风系统

[实用新型]一种晶圆清洗装置-CN202320829377.2有效
发明人： 申兵兵;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置，包括：槽体，其内部形成有供晶圆清洗的容置腔；清洗组件，包括位于晶圆两侧的滚刷；支撑组件，其位于所述清洗组件的下方并与晶圆边缘接触，用于支撑并限定晶圆在竖直平面内旋转；其中，所述支撑组件包括主动轮和测速轮，所述测速轮配置有制动件，所述制动件用于控制所述测速轮停止旋转。本实用新型提供的晶圆清洗装置为测速轮配置了制动件，测速轮的转动轴与制动件的转子相连，当冲洗完成后通过制动件对测速轮进行制动，使得测速轮可以及时止停，防止刮伤晶圆。
一种清洗装置

[发明专利]一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置-CN202310398564.4在审
发明人： 申兵兵;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F16D55/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置，包括：通过电磁制动器对测速轮进行制动，其中，所述电磁制动器包括定子、转子、线圈绕组和摩擦片；向所述线圈绕组中通入不同方向的脉冲电流，使得线圈绕组充磁或消磁；所述线圈绕组充磁后吸引转子向所述定子方向移动直至与所述摩擦片接触摩擦制动；所述线圈绕组消磁后，所述定子复位并与所述摩擦片脱离，解除对所述测速轮的制动限制。本发明通过脉冲电流对线圈绕组进行磁化，使得线圈绕组产生恒定的磁场，电磁制动器在对测速轮维持制动状态或维持解除状态时无需持续通电，进而减小了线圈绕组的发热量。
一种清洗测速制动方法装置

[实用新型]一种晶圆清洗装置-CN202223587945.7有效
发明人： 申兵兵;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置，包括：壳体，其内部用于容纳晶圆并提供晶圆清洗的空间；清洗组件，包括位于晶圆两侧的滚刷，所述滚刷沿其轴向旋转，对晶圆表面进行滚动擦洗；驱动组件，包括与晶圆边缘接触的驱动轮和测速轮，所述驱动轮用于限定并带动晶圆在竖直平面内沿其轴线旋转，所述测速轮在所述晶圆的带动下被动旋转；其中，所述测速轮传动连接电磁制动器，对所述电磁制动器通入不同方向的脉冲电流以对所述测速轮制动或解除制动。本实用新型通过脉冲电流对线圈绕组进行磁化，使得线圈绕组产生恒定的磁场，电磁制动器在对测速轮维持制动状态或维持解除状态时无需持续通电，进而减小了线圈绕组的发热量。
一种清洗装置

[发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202310398557.4在审
发明人： 申兵兵;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆清洗装置，包括：槽体，其内部形成有供晶圆清洗的容置腔；清洗组件，包括位于晶圆两侧的滚刷；支撑组件，其位于所述清洗组件的下方并与晶圆边缘接触，用于支撑并限定晶圆在竖直平面内旋转；其中，所述支撑组件包括主动轮和测速轮，所述测速轮配置有制动件，所述制动件用于控制所述测速轮停止旋转。本发明提供的晶圆清洗装置为测速轮配置了制动件，测速轮的转动轴与制动件的转子相连，当冲洗完成后通过制动件对测速轮进行制动，使得测速轮可以及时止停，防止刮伤晶圆。
一种清洗装置

[发明专利]一种用于晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置-CN202211736121.3在审
发明人： 申兵兵;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： F16D55/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置，包括：通过电磁制动器对测速轮进行制动，其中，所述电磁制动器包括定子、转子、线圈绕组和摩擦片；向所述线圈绕组中通入不同方向的脉冲电流，使得线圈绕组充磁或消磁；所述线圈绕组充磁后吸引转子向所述定子方向移动直至与所述摩擦片接触摩擦制动；所述线圈绕组消磁后，所述定子复位并与所述摩擦片脱离，解除对所述测速轮的制动限制。本发明通过脉冲电流对线圈绕组进行磁化，使得线圈绕组产生恒定的磁场，电磁制动器在对测速轮维持制动状态或维持解除状态时无需持续通电，进而减小了线圈绕组的发热量。
一种用于清洗测速制动方法装置

[实用新型]一种晶圆清洗装置-CN202223585222.3有效
发明人： 申兵兵;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置，包括：槽体，其内部形成有供晶圆清洗的容置腔；清洗组件，包括位于晶圆两侧的滚刷；支撑组件，其位于所述清洗组件的下方并与晶圆边缘接触，用于支撑并限定晶圆在竖直平面内旋转；其中，所述支撑组件包括主动轮和测速轮，所述测速轮配置有制动件，所述制动件用于控制所述测速轮停止旋转。本实用新型提供的晶圆清洗装置为测速轮配置了制动件，测速轮的转动轴与制动件的转子相连，当冲洗完成后通过制动件对测速轮进行制动，使得测速轮可以及时止停，防止刮伤晶圆。
一种清洗装置

[发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202211738455.4在审
发明人： 申兵兵;李长坤 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆清洗装置，包括：槽体，其内部形成有供晶圆清洗的容置腔；清洗组件，包括位于晶圆两侧的滚刷；支撑组件，其位于所述清洗组件的下方并与晶圆边缘接触，用于支撑并限定晶圆在竖直平面内旋转；其中，所述支撑组件包括主动轮和测速轮，所述测速轮配置有制动件，所述制动件用于控制所述测速轮停止旋转。本发明提供的晶圆清洗装置为测速轮配置了制动件，测速轮的转动轴与制动件的转子相连，当冲洗完成后通过制动件对测速轮进行制动，使得测速轮可以及时止停，防止刮伤晶圆。
一种清洗装置

[实用新型]一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置-CN202222979181.X有效
发明人： 申兵兵;李长坤;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置，包括：箱体；晶圆承载移动组件，用于接收晶圆，带动晶圆平行移位并沿竖直方向提升晶圆；双喷淋组件，其包括位于上方的出气口和位于下方的出液口，在晶圆上升过程中，出液口向晶圆表面第一区域喷液的同时出气口向晶圆表面第二区域喷气，其中，第一区域与第二区域相交并位于第二区域下方，以在相交位置发生马兰戈尼效应剥离晶圆表面的污染物。
一种应用马兰效应清洗干燥装置

[实用新型]一种竖直提拉装置-CN202222979184.3有效
发明人： 申兵兵;李长坤;王凯杰 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种竖直提拉装置，包括：箱体；喷淋组件，其设有两组，分别设置在箱体内的进片区和出片区；活动门，其可进出箱体，用于将进片区和出片区分开；承载机构，用于带动晶圆沿竖直方向移动以经过喷淋组件；移位机构，用于带动承载机构在进片区和出片区之间移动；提升机构，位于出片区的喷淋组件上方，用于抓取处理后的晶圆。
一种竖直装置

[发明专利]一种竖直提拉装置-CN202211397969.8在审
发明人： 申兵兵;李长坤;王凯杰 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种竖直提拉装置，包括：箱体；喷淋组件，其设有两组，分别设置在箱体内的进片区和出片区；活动门，其可进出箱体，用于将进片区和出片区分开；承载机构，用于带动晶圆沿竖直方向移动以经过喷淋组件；移位机构，用于带动承载机构在进片区和出片区之间移动；提升机构，位于出片区的喷淋组件上方，用于抓取处理后的晶圆。
一种竖直装置

[发明专利]一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法-CN202211398100.5在审
发明人： 申兵兵;李长坤;赵德文;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆清洗干燥装置和方法，其中装置包括：箱体；晶圆承载移动组件，用于接收晶圆，带动晶圆平行移位并沿竖直方向提升晶圆；双喷淋组件，其包括位于上方的出气口和位于下方的出液口，在晶圆上升过程中，出液口向晶圆表面第一区域喷液的同时出气口向晶圆表面第二区域喷气，其中，第一区域与第二区域相交并位于第二区域下方，以在相交位置发生马兰戈尼效应剥离晶圆表面的污染物。
一种应用马兰效应清洗干燥装置方法

[发明专利]晶圆后处理设备及其应用的通风系统-CN202110761669.2有效
发明人：曹自立;李灯;申兵兵;李长坤;赵德文 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆后处理设备及其应用的通风系统，晶圆后处理设备包括：用于竖直旋转晶圆的夹持机构和用于输送流体的供给臂；供给臂可竖直地摆动并经由设置于其自由端处的喷射机构将流体供应至晶圆上；还包括用于在晶圆处理腔室内形成动态气流的通风系统，通风系统包括位于晶圆处理腔室一面的进气组件和位于晶圆处理腔室的相对的另一面的排气组件，排气组件包括排风背板和环形排风罩，晶圆处理腔室内的气体从排风背板的排风口进入环形排风罩进行汇集，并通过环形排风罩的底部引出结构向下方的排气管路引出，底部引出结构具有平滑过渡的引导面以降低气体排出的流体阻力。
晶圆后处理设备及其应用通风系统

[发明专利]一种晶圆提拉干燥的动态交接方法及晶圆干燥装置-CN202111279319.9有效
发明人：赵德文;李长坤;申兵兵;高庆刚 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： F26B25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆提拉干燥的动态交接方法及晶圆干燥装置，所述动态交接方法包括：提拉机构的夹紧部预先移动至交接位置下侧；顶升机构推动晶圆向上移动；当晶圆中心通过所述夹紧部，夹紧部加速向上移动至其速度与顶升机构的速度相同后，夹紧部与顶升机构匀速向上移动；夹紧部与顶升机构移动至交接位置时，所述夹紧部的夹持臂夹紧晶圆；提拉机构的夹紧部夹持晶圆继续向上移动，顶升机构随夹紧部向上移动后再向下移动至初始位置。
一种晶圆提拉干燥动态交接方法装置

[发明专利]一种晶圆提拉干燥方法及晶圆干燥装置-CN202111279331.X有效
发明人： 申兵兵 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： F26B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆提拉干燥方法及晶圆干燥装置，所述晶圆提拉干燥方法包括：将晶圆经由冲洗喷杆放置于清洗槽中的支撑部，所述支撑部侧向摆动以带动晶圆朝向顶升机构倾斜；提拉机构的夹紧部预先移动至交接位置下侧，与所述支撑部的位置相对的顶升机构推动晶圆向上移动；当晶圆中心通过所述夹紧部，夹紧部加速向上移动至其速度与顶升机构相同后，两者均速向上移动；夹紧部与顶升机构均匀移动至交接位置时，所述夹紧部夹紧晶圆继续向上移动，顶升机构随夹紧部向上移动后再向下移动至初始位置；在晶圆倾斜向上移动的过程中，干燥喷杆朝向经由的晶圆表面喷射干燥气体，以完成晶圆的提拉干燥。
一种晶圆提拉干燥方法装置

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