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[发明专利]一种晶圆级芯片封装对位XYθ纳米补偿装置-CN201710178615.7有效
发明人： 何思丰;汤晖;张凯富;车俊杰;陈创斌;向晓彬;邱迁;叶朕兰;张炳威;李杰栋;王江林;高健;陈新;杜雪 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种晶圆级芯片封装对位XYθ纳米补偿装置，用于解决现有的XYθ三自由度位移补偿装置多采用3RRR并联装置而导致的行程小，所能够工作的范围小，控制复杂，需要较多的计算分析的技术问题。本发明实施例包括：输出平台、第八柔性铰链、解耦机构、位移机构、输入平台、压电陶瓷；解耦机构在以解耦机构为中心的正负X轴和正负Y轴四个方向均依次连接有位移机构、输入平台、压电陶瓷；解耦机构在X轴、Y轴方向上通过第八柔性铰链与输出平台连接；第八柔性铰链为直圆型铰链。
一种晶圆级芯片封装对位 xy 纳米补偿装置

[发明专利]一种微位移放大器及纳米定位装置-CN201710066814.9有效
发明人： 何思丰;汤晖;邱迁;车俊杰;向晓彬;陈创斌;张凯富;高健;陈新;贺云波;王素娟 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-02-07 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G12B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微位移放大器，包括输入平台及固定底座，输入平台的同侧对称的连接有一对输入连杆，两根输入连杆的另一端分别与第一杠杆及第二杠杆的首端连接，第一杠杆及第二杠杆的中段分别通过柔性铰链与固定底座的两侧位置连接，第一杠杆及第二杠杆的尾端分别通过柔性铰链与第三杠杆及第四杠杆的中段连接，第三杠杆及第四杠杆的首端分别通过柔性铰链与固定底座的两侧顶端连接，第三杠杆及第四杠杆的尾端分别通过柔性铰链与一对输出连杆连接，两根输出连杆的另一端均位置对称的与输出平台连接。这种微位移放大器，有效地解决了现有的纳米定位装置行程小精度差，结构复杂的问题。本发明还公开了一种纳米定位装置。
一种位移放大器纳米定位装置

[发明专利]一种基于柔性铰链导向的大行程无回退纳米压电电机-CN202011423883.9有效
发明人：汤晖;何思丰;朱钟源;张沛源;陈新 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于柔性铰链导向的大行程无回退纳米压电电机，主要包括底座、第一滑台、第一压电驱动单元、第二压电驱动单元和第二滑台；第一滑台和第二滑台均安装在底座上且相互不接触；第一滑台的滑行方向与第二滑台垂直；第一压电驱动单元与第二压电驱动单元均安装在第一滑台上，采用纵向层叠方式安装；第一压电驱动单元与第二压电驱动单元内均设有柔顺机构。本发明的第一个运动模组在运动输出的后半部分开始减小垂直方向的压电陶瓷驱动电压，同时另外一个模组在垂直方向的压电陶瓷的驱动电压开始增加，以此实现两个模组之间的切换，并且两个模组水平方向的压电陶瓷保持同一速率增加驱动电压，以保证切换之后实现同一速度。
一种基于柔性铰链导向行程无回退纳米压电电机

[发明专利]一种微小芯片的批量转移装置-CN201910672291.1有效
发明人：朱钟源;汤晖;何思丰;陈新;高健;贺云波;崔成强 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2019-07-24 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种微小芯片的批量转移装置，包括导轨及芯片转移模块；所述导轨两侧包括沿所述导轨延伸方向排列的导轨电极；所述芯片转移模块套装在所述导轨上，且所述芯片转移模块与所述导轨之间具有间隙；所述芯片转移模块内侧包括与所述导轨电极相对应的芯片转移模块电极，通过改变所述导轨电极与所述芯片转移模块电极的电场强度，使所述芯片转移模块沿所述导轨宏动。本申请通过改变所述导轨电极不同位置的电场强度，精确控制所述芯片转移模块的位置，本申请提供的技术方案，在对所述芯片转移模块实现长行程的间距调整的同时，相比与现有技术，还大大减小了所述微小芯片的批量转移装置的占用空间，提高芯片转移的效率。
一种微小芯片批量转移装置

[发明专利]一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统-CN201710750610.7有效
发明人： 何思丰;汤晖;高健;陈新;陈桪;贺云波;李华伟;杨志军 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-08-28 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统，该方法包括：处理器将目的位移信号输入到柔性机构的输入输出模型，获取第一位移信号；将目的位移信号与位移传感器发送的第一位移反馈信号相减，获取第一误差信号，并将第一误差信号输入到PID控制器，获取第二位移信号；将第一位移信号和第二位移信号发送至压电陶瓷；本发明可以利用对柔性机构的输入端位移与最终位移输出端之间存在的非线性位移传递函数建立的输入输出模型，确定压电陶瓷的驱动器的输出位移量与柔性机构的最终输出位移量的对应关系，避免了柔性机构的非线性位移传递函数关系对柔性纳米定位的影响，提高了柔性纳米定位的精确度。
一种基于压电陶瓷柔性纳米定位方法装置系统

[发明专利]一种双模混合控制芯片倒装方法-CN201910339759.5有效
发明人：朱钟源;汤晖;何思丰;吴泽龙;高健;陈新;贺云波;张揽宇 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2019-04-25 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： H01L21/603 文献下载
摘要：本发明公开一种双模混合控制芯片倒装方法，以位置模式驱动贴装头运动，测量芯片与基板之间的接触力，在接触力大于设定阈值的时刻开始模式切换，位置模式输出量up与力模式输出量uf分别乘以一个关于权重因子η的函数，η在其定义区间内连续且可导，在贴装切换时长δ时间段内，将位置模式切换为力模式，切换过程不产生冲击；切换完成后由力模式输出量uf对芯片施加压力；压合一段时间后控制贴装头反向移动，完成芯片倒装过程，可进行下一次倒装过程。本发明的倒装方法在两种模式之间平滑切换，位置模式和力模式在贴装切换时长δ内同时存在，不出现突然切换，压力的设定阈值出现在跟随误差之前，更加准确地实现控制。
一种双模混合控制芯片倒装方法

[发明专利]一种柔性大行程微纳加工设备-CN201610716013.8有效
发明人：高健;曾昭和;汤晖;张揽宇;何思丰;陈新;管贻生;贺云波;简川霞;姜永军;杨志军 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性大行程微纳加工设备，包括平台底座和滑动设置于平台底座上的加工执行平台，和输入方向相互垂直设置的两组运动输入装置，运动输入装置的输出头均连接有单自由度的微定位位移装置；微定位位移装置对称的连接有杠杆及拉杆与柔性铰链的连接结构，并通过此机构与加工执行平台该侧的两端连接。在各自的输出端设置微定位位移装置，通过拉杆和柔性铰链的传动，将位移以准确倍率放大输出，由于运动输入方向相互垂直所以输出的位移能够有效覆盖整个工作平面的各个方向，实现多自由度的准确位移；通过运动输入方向相邻侧设置的拉杆和柔性铰链有效实现对该位移方向上的解耦，有效避免部件间的摩擦爬行，提高了位移输出的精度。
一种柔性行程加工设备

[发明专利]一种压电驱动马达-CN201811353660.2在审
发明人：汤晖;于鼎涛;何思丰;许嘉豪;罗浚豪;李嘉龙;陈新;高健 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： H02N2/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电驱动马达，包括中轴与输出轮，输出轮与中轴之间径向连接有压电输出模块，压电输出模块包括能够通电输出径向位移的压电陶瓷块，以及与压电陶瓷块限位配合将其输出径向位移转换至切向的柔性铰链组件。采用轮轴式的整体结构，在轮与轴之间设置压电输出对输出轮的旋转驱动达到连续输出，相当于增大输出步距；压电陶瓷块在通电状态下径向伸长，柔性铰链组件的位移转换作用将输出的径向位移转化为切向位移，并通过柔性铰链的位移放大作用在提升输出位移大小的情况下保持位移输出的精度，其精度由柔性铰链的设计保证降低对压电本身的要求，其结构相对较为成熟的尺蠖式传动设计结构更加简单，具有大步距连续性优点。
输出压电压电陶瓷块径向位移输出轮柔性铰链组件压电驱动马达柔性铰链输出模块切向中轴位移放大作用传动设计径向连接输出位移通电状态位移转换限位配合旋转驱动伸长步距轮轴通电转换成熟转化保证

[发明专利]一种纳米直线电机-CN201811353668.9在审
发明人：汤晖;于鼎涛;何思丰;庄宇东;陈锐淳;潘益帆;陈新;高健 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H02N2/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种纳米直线电机，包括：压电驱动马达，包括同轴设置的驱动轮及中轴，驱动轮及中轴之间设置有径向输出位移的压电输出模块，通过压电输出模块驱动驱动轮的旋转；换向输出组件，包括直线位移输出机构，直线位移输出机构与换向输出组件与压电驱动马达的驱动轮传动连接，用于将驱动轮的旋转运动转换为直线位移输出。通过压电驱动马达提供精准的位移输出与放大，通过直线位移输出机构的设计，令其与压电驱动马达的驱动马达传动连接，从而将旋转的位移输出转换为直线位移输出，以便适应直线输出电机的实际使用需要，有效地解决了采用压电原理的运动输出装置存在的材质要求高、控制结构复杂以及输出位移有限的技术问题。
直线位移驱动轮压电驱动马达输出机构传动连接输出模块输出组件直线电机换向输出压电中轴直线输出电机材质要求径向输出控制结构驱动马达输出位移输出转换同轴设置压电原理运动输出有效地放大驱动转换

[发明专利]一种芯片倒装基板空间调平设备和系统-CN201811124623.4在审
发明人：汤晖;关均铭;何思丰;陈新;高健;崔成强;贺云波 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种芯片倒装基板空间调平设备和系统，设备包括：调平设备本体和XY向运动平台；所述调平设备本体与所述XY向运动平台串联，且所述调平设备本体包括内部结构通过柔性铰链连接的三轴并联补偿装置。本申请实施例提供的芯片倒装基板空间调平设备的三轴并联补偿装置是通过柔性铰链来实现连接的，能克服现有技术存在的对芯片进行封装时对芯片造成挤压而损坏芯片的技术问题。
调平设备基板空间芯片倒装补偿装置柔性铰链三轴并联运动平台芯片申请封装串联挤压

[发明专利]一种柔性铰链导向的平面XYθ三自由度精度补偿器-CN201710028066.5有效
发明人： 何思丰;汤晖;陈新;向晓彬;车俊杰;陈创斌;邱迁;李宏城;高健;贺云波;杨志军;李杨民 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：一种柔性铰链导向的平面XYθ三自由度精度补偿器，包括补偿装置和安装底座；补偿装置包括三组固定块、末端执行器、三个位移驱动装置和三组分别连接于各固定块和末端执行器之间的三条柔性支链，固定块固定于安装底座；三个固定块以环形阵列的方式设置在末端执行器周围，柔性支链两端分别通过铰链铰接于末端执行器和固定块；位移驱动装置约束于固定块，位移驱动装置端部通过螺钉固定于第一杠杆尾段。三组柔性支链构成的传动装置具有放大效果，可以将位移驱动装置微小的位移输出放大成更大的位移，从而驱动末端执行器具有更大的操作调整空间，使驱动装置产生的位移量能快速地通过柔性支链传递到末端执行器。
一种柔性铰链导向平面 xy 自由度精度补偿

[发明专利]一种XYZ三自由度精密定位装置-CN201710019564.3有效
发明人：陈新;汤晖;邱迁;何思丰;向晓彬;车俊杰;陈创斌;李宏城;高健;贺云波;尹志强;陈云 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：一种XYZ三自由度精密定位装置，包括XY运动基座和Z轴运动模块，Z轴运动模块安装于XY运动基座；XY运动基座包括基板，基板上设有位移装置和运动平台，位移装置设有两组，位移装置分别位于X轴和Y轴；位移装置为设有压电陶瓷的柔性机构；位移装置包括左杠杆、右杠杆、输入端安装块和输出端安装块；基板开设有第一容纳槽，位移装置安装于第一容纳槽，左杠杆和右杠杆的下端通过铰链铰接于第一容纳槽的下槽壁，左杠杆的右侧下部和右杠杆的左侧下部均用过铰链铰接有输入端安装块；左杠杆的右侧上部和右杠杆的左侧上部均通过直梁型柔性铰链铰接有输出端安装块；输出端安装块通过直梁型柔性铰链与运动平台安装。
一种 xyz 自由度精密定位装置

[发明专利]一种三自由度并联平动快速刀具伺服器-CN201710019528.7有效
发明人：黄力雄;汤晖;陈新;梁浩;韩承毅;何思丰;邱迁;李宏城;高健;贺云波;杜雪;李杨民;尹自强 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： B23Q1/44 文献下载
摘要：一种三自由度并联平动快速刀具伺服器，包括安装底座、桥式放大结构、支链和末端执行装置；桥式放大结构和支链均设有三组，每个桥式放大结构上均竖向安装一个支链；三组桥式放大结构以安装底座的中心为圆心，呈等间距环形阵列的方式安装于安装底座；三组支链构成支架结构，三组支链的端部共同安装于末端执行装置；本发明的目的在于提出一种三自由度并联平动快速刀具伺服器，该装置结构紧凑、简单，具有较佳的稳定性。
一种自由度并联平动快速刀具伺服器

[发明专利]一种全柔性微位移放大机构-CN201710019537.6有效
发明人：黄力雄;邱迁;陈新;汤晖;梁浩;韩承毅;何思丰;李宏城;高健;贺云波;尹自强;肖霄 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-01-12 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： H02N2/04 文献下载
摘要：一种全柔性微位移放大机构，包括基座台、放大机构、输出端和压电陶瓷；放大机构安装于基座台，输出端安装于放大机构的输出部位，压电陶瓷安装于基座台，压电陶瓷的驱动端对准于放大机构的输入端；基座台包括底板、左立柱和右立柱，左立柱和右立柱分别固定设置于底板上表面的左边和右边。该柔性放大器结构更紧凑，整体刚性和位移放大倍数更大。
一种柔性位移放大机构

[实用新型]一种晶圆级芯片倒装定位平台-CN201720110268.X有效
发明人： 何思丰;汤晖;邱迁;车俊杰;陈创斌;张凯富;向晓彬;高健;陈新;崔成强;贺云波 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-02-06 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆级芯片倒装定位平台，包括用以承载晶圆、且能够进行较大幅度运动的X轴移动平台与Y轴移动平台，其特征在于，还包括用以供所述晶圆在XY平面内进行较大幅度旋转的旋转平台，所述旋转平台上设有用以供所述晶圆在XY平面内进行较小幅度旋转、且能够沿X轴与Y轴进行较小幅度运动的角位移补偿装置，所述角位移补偿装置的上方设有用以检测所述晶圆位置的视觉反馈系统。上述晶圆级芯片倒装定位平台，实现了带角位移补偿的平面三自由度的宏微复合。
一种晶圆级芯片倒装定位平台

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