专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种集成电路芯片设计用封装装置-CN202310917683.6在审
  • 胡仕刚;张飞;李炉焦;陈超洋 - 湖南科技大学
  • 2023-07-25 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本发明公开了一种集成电路芯片设计用封装装置,其特征在于:其结构包括主体、支撑脚、警报灯、控制面板,主体的底部设有支撑脚,警报灯安装在主体的顶部前端,控制面板位于主体的前端面,主体包括框体、传送装置、红外发射器、红外接收器、装料块、滑动轨道、点胶块、封装块,框体的底部端面与支撑脚相连接,传送装置安装在框体的内部底端,红外发射器安装在框体的后端面,红外接收器安装在框体的前侧端面,本发明利用按压限位装置让限位装置与固定块的端面脱离卡合,让复位弹簧带动固定块往芯片的侧端面进行移动进行固定,避免芯片在进行封装的过程中出现位移的情况,使得封装块能够精准的吸附塑料盖封装在芯片的端面。
  • 一种集成电路芯片设计封装装置
  • [发明专利]一种芯片分选机用吸放料机构及工作方法-CN202310990573.2在审
  • 周豆;李跟玉;刘祥坤 - 芯朋半导体科技(如东)有限公司
  • 2023-08-08 - 2023-10-27 - H01L21/683
  • 本发明公开了一种芯片分选机用吸放料机构及工作方法,涉及芯片分选技术领域,包括分选机本体,分选机本体包括上料机构、视觉分选机构和移料机构,移料机构包括装载台、真空吸嘴、防掉落组件和驱动组件。本发明通过驱动固定罩和旋转罩沿吸嘴本体轴向移动,通过第一滚珠与滚珠导轨配合驱使旋转罩下降过程中进行转动,进而通过进给螺纹套和齿槽配合驱动进给夹持杆靠拢对作业对象进行夹持,防止作业对象在转移过程中掉落,利用吸嘴本体内的真空负压驱动活塞本体向吸嘴本体内侧移动,通过活塞本体上的缺口连通腔室和吸嘴本体,使腔室内形成真空负压,进而使固定罩在真空负压和重力作用下沿吸嘴本体轴向下降,进而通过旋转罩驱动进给夹持杆夹持作业对象。
  • 一种芯片分选机用吸放料机构工作方法
  • [发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417216.2在审
  • 桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-04-20 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本发明公开一种晶圆载台装置,包括:与大气环境相连通的壳体组件,所述壳体组件包括支撑板;旋转台组件,用于支撑晶圆;磁流体轴,包括内轴和外轴,所述内轴和外轴之间设置有磁流体,所述外轴密封装配于所述支撑板,所述内轴具有伸入所述壳体组件内的第一端部和伸出所述壳体组件外的第二端部,所述第二端部与所述旋转台组件相连;驱动组件,位于所述壳体组件内,所述驱动组件具有驱动轴,所述驱动轴与所述内轴平行设置,且所述驱动轴与所述第一端部传动连接。上述晶圆载台装置可以方便装配和维护,且具备较高的集成度,体积可以较小,占用空间可以较少。
  • 一种晶圆载台装置
  • [发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210415919.1在审
  • 桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-04-20 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本发明公开一种晶圆载台装置,包括:与大气环境相连通的壳体组件,包括支撑板;旋转台组件,包括支撑台和压接部,压接部用于将晶圆压紧于支撑台;第一磁流体轴,包括转动密封的第一内轴和第一外轴,第一外轴密封装配于支撑板,第一内轴具有伸入壳体组件内的第一端部和伸出壳体组件外的第二端部,第二端部与旋转台组件相连;升降组件,升降组件包括主体部分和升降体,主体部分位于壳体组件内,升降体与支撑板或者第一外轴滑动密封,且升降体能够与压接部相作用;遮挡组件,包括挡板,挡板被配置为可转动地装配于支撑板,以在转动至与旋转台组件相对的第一工位和与旋转台组件相错开的第二工位之间进行切换。
  • 一种晶圆载台装置
  • [发明专利]升降销组件-CN202280020626.1在审
  • A·苏莱曼;A·侯赛因;T·J·富兰克林;C·黄;常雪杨 - 应用材料公司
  • 2022-03-08 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 提供了用于基板处理腔室的升降销组件的方法和设备。在一些实施例中,升降销组件包括:升降销,所述升降销包括轴、头部和耦接端,所述头部被配置成抵靠在静电吸盘上;上引导件,所述上引导件包括顶端、底端和第一开口,所述第一开口从顶端延伸到底端,其中所述轴被设置并且可轴向移动穿过第一开口;下引导件,所述下引导件包括顶端、底端、第二开口和第三开口,第二开口和第三开口从顶端延伸至底端,其中第三开口大于第二开口,并且其中轴被设置并且可轴向移动穿过第二开口和第三开口;以及偏置机构,所述偏置机构耦接到轴并且被配置成将升降销偏置朝向静电吸盘。
  • 升降组件
  • [发明专利]晶片载放台-CN202310007250.7在审
  • 久野达也;井上靖也 - 日本碍子株式会社
  • 2023-01-04 - 2023-10-27 - H01L21/683
  • 本发明提供一种晶片载放台,其能够抑制晶片的端子孔的正上方附近成为温度特异点。晶片载放台(10)具备:陶瓷基材(20)、冷却基材(30)、供电端子(54)、以及供电端子孔(36)。陶瓷基材(20)在上表面具有晶片载放面(22a),且内置有电极(26)。冷却基材(30)接合于陶瓷基材(20)的下表面,且形成有制冷剂流路(32)。供电端子(54)与电极(26)连接。供电端子孔(36)沿着上下方向贯穿冷却基材(30),且对供电端子(54)进行收纳。供电端子孔(36)与制冷剂流路(32)交叉。
  • 晶片载放台
  • [发明专利]一种旋转的真空吸附装置-CN202310909926.1在审
  • 江岱平;戴玉成;付黎明;周云;孔佳彬 - 深圳市腾盛精密装备股份有限公司
  • 2023-07-21 - 2023-10-27 - H01L21/683
  • 本发明涉及半导体技术领域,公开了一种旋转的真空吸附装置。真空吸附装置包括驱动件、转动组件、产品治具、固定组件和轴承,驱动件设有第一中空部,转动组件设置于驱动件上,并设有第二中空部,第一中空部与第二中空部贯通,产品治具设置于转动组件上,并设有第一凹槽和多个吸附孔,第一凹槽和多个吸附孔贯通,且于第二中空部形成真空腔,固定组件包括固定件和多个气管,固定件嵌入设于第二中空部内,多根气管的出气端均设置于固定件朝向第一中空部的一端上,进气端均穿过第一中空部与外部真空设备连接,且气管的出气口与真空腔贯通;轴承套设于固定件上,并与转动组件连接,避免气管出现缠绕或者脱落的情况。
  • 一种旋转真空吸附装置
  • [发明专利]一种芯片烧录生产设备及生产方法-CN202311105978.X在审
  • 王开来;赖汉进;汤勇;岳雅涛 - 广州明森合兴科技有限公司
  • 2023-08-30 - 2023-10-27 - H01L21/68
  • 本发明涉及一种芯片烧录生产设备及生产方法,所述芯片烧录生产设备包括机台、设置在机台上的芯片上料装置、芯片烧录装置、芯片打标装置、芯片下料装置、用于将芯片上料装置中的芯片搬运到芯片烧录装置中以及用于将芯片烧录装置中的芯片搬运到芯片下料装置中的芯片搬运装置,其中,所述芯片烧录装置用于对芯片进行信息写入,待芯片完成信息写入后,所述芯片打标装置运动到所述芯片烧录装置的烧录工位对芯片进行打标。本发明的芯片烧录装置以最少的搬运取放次数和最小的施与芯片的压力对芯片进行烧录,可以避免芯片管脚过压及表面摩损受到损伤,从而提高芯片的良品率。
  • 一种芯片生产设备方法
  • [发明专利]一种多芯片倒装封装设备及封装方法-CN202311219531.5在审
  • 张浩;郑中伟 - 恩纳基智能科技无锡有限公司
  • 2023-09-21 - 2023-10-27 - H01L21/683
  • 本申请公开了一种多芯片倒装封装设备及封装方法,所述设备包括基座以及设置在所述基座上的上料机构、输料机构和取料机构;所述输料机构包括固定块、至少一组备料台组件,以及至少一组第二滑动组件,所述备料台组件由若干备料台组成,所述第二滑动组件带动所述备料台往复移动;所述上料机构将芯片依次放置在所述备料台上;所述取料机构将所述备料台上的芯片同时吸附并移动至基板上方进行封装。通过设置若干备料台与吸附组件,能够一次吸附多个芯片,且设置两组分别用于上下料的备料台,能够在上料组件的上料过程中同时取料组件进行芯片封装,进而提高芯片封装效率。
  • 一种芯片倒装封装设备方法
  • [发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417221.3在审
  • 桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-04-20 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本发明公开一种晶圆载台装置,包括:旋转台组件,包括支撑台和压接部,所述支撑台用于支撑晶圆,所述压接部用于压紧所述晶圆;磁流体轴,包括内轴和外轴,所述内轴和外轴之间设置有磁流体,所述内轴包括端部件和筒状件,二者围合形成容纳空间;升降组件,包括主体部分和升降体,所述主体部分位于所述容纳空间,所述升降体可滑动地密封装配于所述端部件,所述升降体与所述压接部相作用。上述晶圆载台装置可以更为充分地对内轴的内部空间进行利用,以提高设备的结构紧凑性和集成度,能够有效地缩减晶圆载台装置的占用空间,以便于安装。
  • 一种晶圆载台装置
  • [发明专利]基板支撑组件的水平度监测和主动调整-CN202280006924.5在审
  • 詹姆斯·V·圣地亚哥;帕特里夏·M·刘 - 应用材料公司
  • 2022-03-18 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本公开内容的实施方式大体而言涉及处理基板的装置及方法。在至少一个实施方式中,装置包括腔室主体、基板支撑组件及设置于腔室主体的外部并耦接至该基板支撑组件的托架组件。托架组件具有用于调整基板支撑组件的水平度的多个调平螺钉。装置包括耦接至多个调平螺钉中的一者的致动器及耦接至基板支撑组件的加速计。加速计被配置为指示基板支撑组件的取向。装置包括与致动器及加速计通信的控制模块。控制模块被配置为基于由加速计指示的取向来确定基板支撑组件的水平度,并使用致动器调整基板支撑组件的水平度。
  • 支撑组件水平监测主动调整
  • [发明专利]液体辅助黏合方法-CN201911017738.8有效
  • 陈立宜 - 美科米尚技术有限公司
  • 2019-10-24 - 2023-10-27 - H01L21/683
  • 本发明公开了一种液体辅助黏合方法,包括:在元件的电极和基板的接触垫之间形成具有液体层的结构,且液体层的两相对表面分别与电极和接触垫接触,其中氢键在电极与接触垫的至少一个和液体层之间形成;及蒸发液体层以破坏氢键,使得电极面向接触垫的表面与接触垫面向电极的表面的至少一个被活化,以便助于在元件的电极和接触垫之间形成扩散黏合,其中电极和接触垫之间的接触面积小于或等于1平方毫米。本发明所提出的液体辅助黏合方法可帮助在电极的表面上的原子与接触垫的表面上的原子之间的电子云重叠,以助于之后形成扩散黏合。
  • 液体辅助方法
  • [发明专利]晶片探测器-CN201980006239.0有效
  • 朴滥佑;朴基宅 - 株式会社塞米克斯
  • 2019-01-15 - 2023-10-27 - H01L21/687
  • 本发明涉及一种晶片探测器。所述晶片探测器的晶片检测工作台,包括:下板;多个升降柱,其搭载于所述下板的上部表面;及上板,其搭载于所述多个升降柱的上端部,并且,所述各个多个升降柱在上板与下板之间上升/下降,所述上板的高度及倾斜度通过所述升降柱的上下移动而调整。所述晶片检测工作台根据向各个升降柱施加的荷重调整各个升降柱的高度,而能够调整配置在上板上面的卡盘的高度及卡盘的倾斜度或平坦度。
  • 晶片探测器

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