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[发明专利]掩膜版版图的修正方法及掩膜版版图-CN202010280503.4有效
发明人：郑二虎;张冬平;洪中山 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：一种掩膜版版图的修正方法和掩膜版版图，其中，所述修正方法包括：形成第一掩膜版版图，所述第一掩膜版版图包括若干沿第一方向延伸的第一图形；获取第二掩膜版版图信息，所述第二掩膜版版图信息包括第二掩膜版版图，所述第二掩膜版版图包括沿第二方向延伸的若干第二图形，并且，将所述第一掩膜版版图与所述第二掩膜版版图重叠后，所述第二图形横跨1个以上所述第一图形，所述第二方向与所述第一方向互相垂直；根据所述第二掩膜版版图信息，对若干所述第一图形进行补偿修正。
掩膜版版图修正方法

[实用新型]掩膜版夹具及晶圆曝光装置-CN201721857233.9有效
发明人：周阳;葛伟伟;黄志凯 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种掩膜版夹具及晶圆曝光装置。所述掩膜版夹具，包括用于容纳掩膜版的腔体，还包括相互连接的传感器和冷却组件；所述传感器用于检测所述腔体内掩膜版的温度；所述冷却组件，用于向所述掩膜版吹扫氮气，并根据所述掩膜版的温度改变氮气的流速，以调整所述掩膜版的温度本实用新型在实现对掩膜版冷却降温的同时，也达到了对掩膜版温度精准控制的效果，从根本上解决了曝光过程中掩膜版易发生形变的问题。
掩膜版夹具氮气本实用新型冷却组件曝光装置传感器晶圆半导体制造技术精准控制冷却降温曝光过程形变吹扫腔体体内容纳检测

[实用新型]一种掩膜版曝光压合固定治具-CN202220457981.2有效
发明人：孟洋;殷明春 -专利权人：廊坊晶正光电技术有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩膜版曝光压合固定治具，包括：底座，具有承载面，所述承载面的四角设置有旋转下压件；平台，位于所述承载面上，用于放置基材和掩膜版，所述基材、掩膜版向远离平台的方向依次紧贴放置；当依次放置好基材和掩膜版后，所述旋转下压件旋转至掩膜版上方，并对掩膜版进行挤压，使得基材和掩膜版进行紧密贴合；曝光完毕，所述旋转下压件松开对掩膜版的挤压，并旋转至远离掩膜版的上方。本申请所述的固定治具，自动化程度提高，保证了掩膜版和基材之间的紧密贴合。
一种掩膜版曝光固定

[发明专利]拼接式掩膜版及其制造方法-CN201910231370.9在审
发明人：范元骏 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种拼接式掩膜版，包括多个所述标记设置在掩膜版外框和掩膜版内框之间，所述重复器件单元掩膜版和非重复器件单元掩膜版并列排布在掩膜版内框内，该掩膜版的每种重复器件单元掩膜版仅保留一个，所述重复器件单元掩膜版和非重复器件单元掩膜版之间设有遮光带本发明还公开了一种所述拼接式掩膜版的制造方法。本发明每一种半导体器件重复单元的掩膜板只保留一个，将其他半导体器件重复单元掩膜板去除，重新组合排列，去除了大部分导体器件重复单元能实现将拼接式掩模版外框的长、宽均小于光刻机所能支持像场范围。采用本发明仅制作一张掩膜版便可以实现大面积拼接式芯片完全曝光，极大的减少了生产成本。
掩膜版拼接式重复器件半导体器件器件单元非重复掩膜板内框外框标记设置并列排布导体器件重新组合光刻机掩模版遮光带保留去除像场生产成本制造芯片曝光制作

[发明专利]减少制造成本的组合掩膜版-CN201410844370.3在审
发明人：樊茂;王希铭 -专利权人：展讯通信（上海）有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明涉及电子技术领域，具体涉及一种组合掩膜版。减少制造成本的组合掩膜版，包括，第一掩膜版，用于在一复合结构中形成第一薄膜层；第二掩膜版，用于在复合结构中形成第二薄膜层；第三掩膜版，用于形成连接第一薄膜层与第二薄膜层之间的通孔；第四掩膜版，用于在复合结构中形成第三薄膜层；本发明第一掩膜版的第一光掩膜图形、第二掩膜版的第二光掩膜图形、第四掩膜版的第四光掩膜图形叠加后的重合区域形成第五光掩模图形，第五光掩膜图形用于在复合结构中形成连接第二薄膜层与第三薄膜层的通孔，本发明可以减少通孔对应的掩膜版的数量
减少制造成本组合掩膜版

[发明专利]掩膜版、掩膜组件以及蒸镀方法-CN201811347484.1在审
发明人：徐海;孙力 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开提出一种掩膜版、掩膜组件以及蒸镀方法，掩膜版设于掩膜框架上。掩膜版的材质包括磁性材料且具有第一表面和第二表面，掩膜版的第一表面背向掩膜框架，掩膜版的第二表面朝向掩膜框架，掩膜版的第一表面上凸设有多个凸起结构。通过上述设计，本公开在蒸镀的过程中，可以最大程度地降低由于基板与掩膜版紧贴所造成的压痕，从而提高产品良率。
掩膜版第一表面掩膜蒸镀第二表面掩膜组件最大程度地产品良率磁性材料凸起结构基板上凸压痕紧贴

[发明专利]掩膜版安装框架和利用掩膜版安装框架固定掩膜版的方法-CN201610005579.X在审
发明人：马群;皇甫鲁江;闵天圭;嵇凤丽 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-01-04 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜版安装框架和利用掩膜版安装框架固定掩膜版的方法。该掩膜版安装框架包括框架本体和设置在框架本体的第一侧边上的拉伸单元，拉伸单元包括用于连接掩膜版的滑块及使滑块沿垂直于第一侧边的方向滑动的导向机构。本发明在第一侧边上设置有拉伸单元，拉伸单元有用于连接掩膜版的滑块和限制滑块滑动方向的导向机构。在将掩膜版安装到本发明提供的掩膜版安装框架上时，仅需将掩膜版的一端部固定在第一侧边的拉伸单元中的滑块上，滑动滑块，使掩膜版绷紧，安装过程简单。而在使用过程中掩膜版发生松弛时，也只需滑动滑块使掩膜版再次绷紧即可，操作也比较简单，同时由于不需要更换新的掩膜版能够降低OLED面板的制作成本。
掩膜版安装框架利用固定方法

[发明专利]一种异形玻璃掩膜版生产方法-CN202010639006.9在审
发明人：荆学军;熊启龙 -专利权人：深圳清溢光电股份有限公司
申请日： 2020-07-06 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本发明实施例涉及光刻技术领域，公开了一种异形玻璃掩膜版生产方法，该方法通过接收待生产掩膜版图形，通过CAM系统对所述待生产掩膜版图形进行处理；根据CAM系统的处理结果，对玻璃掩膜版进行常规工艺处理；对常规工艺处理后玻璃掩膜版进行异性工艺处理，则完成异性玻璃掩膜版生产进行包装出货，本发明实施例提供的异形玻璃掩膜版生产方法实现了异形玻璃掩膜版生产，尤其通过异形加工前的掩膜版保护和异形加工后的清洗，使得加工过程中不损坏掩膜版的功能。
一种异形玻璃掩膜版生产方法

[发明专利]一种耐腐蚀绝缘掩膜版及其制作方法-CN202110760771.0在审
发明人：钱超;杨波 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种耐腐蚀绝缘掩膜版，包括掩膜版和掩膜版金属框架，所述掩膜版包括多根横条和多根纵条；所述横条与所述纵条之间为正交关系且所述横条与所述纵条交汇形成多个蒸镀区域，每个所述横条与每个所述纵条的两端都设有轴突，所述掩膜版金属框架上设有与所述轴突配合使用的焊接槽，本发明设计的金属掩膜版横条和纵条正交的结构可以使得张网机对每个轴突进行拉伸的，这种正交轴结构的掩膜版可以使得掩膜版各个方向拉伸更均匀，从而提高张网机的张网良率，本发明针对掩膜版与金属框架的焊接部位进行了防腐蚀绝缘镀膜，可以防止焊接处发生腐蚀，从而防止掩膜版反复使用后掩膜版发生脱落以及产生杂质影响掩膜版蒸镀良率。
一种腐蚀绝缘掩膜版及其制作方法

[发明专利]一种掩膜版制作方法及掩膜版-CN202311078017.4在审
发明人：王广成;甘帅燕 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2023-08-25 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜版制作方法及掩膜版。本发明提供的掩膜版制作方法包括如下步骤：在掩膜版基板上加工预设开口，预设开口的尺寸小于实际开口的尺寸，将加工有预设开口的掩膜版基板张紧固定于支撑框架上，对固定于支撑框架上的掩膜版基板进一步加工，以将预设开口增大至实际开口该掩膜版制作方法减少了掩膜版在制作过程中产生的偏差，提高了对掩膜版的制作精度，满足了高精度显示产品以及窄边框显示产品的需求，并且制作方法简单便捷。本发明提供的掩膜版采用上述掩膜版制作方法进行制作，提高了对掩膜版的制作精度，满足了高精度显示产品以及窄边框显示产品的需求，并且制作简单便捷。
一种掩膜版制作方法

[发明专利]检测掩膜版的方法-CN200710094367.4有效
发明人：王柳 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2007-11-30 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测掩膜版的方法，步骤为：1，能量一定、按照不同的焦距在光片上同时曝光待检测掩膜版和已知为良品掩膜版的图形；2，焦距一定、按照不同的能量在光片上同时曝光待检测掩膜版和已知为良品掩膜版的图形；3，做成检测文件；4，根据第一步的曝光结果判断待检测掩膜版与已知为良品的掩膜版的焦深差异，以及掩膜版的图形和颗粒的状况；5，根据第二步的曝光结果判断待检测的掩膜版与已知为良品的掩膜版的能量域值差异，以及掩膜版的图形和颗粒的状况；6，综合第四步和第五步的结果判断待检测掩膜版的性能。
检测掩膜版方法

[实用新型]掩膜版存放装置-CN202020532605.6有效
发明人：熊启龙 -专利权人：合肥清溢光电有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本申请属于掩膜版生产设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版存放装置。本申请的掩膜版存放装置，可通过调整两个夹持组件在对应的旋转组件上的旋转角度，实现对不同尺寸的铬版掩膜版的存放。各夹持组件均能在旋转组件上转动，且通过掩膜版的自重将两个夹持组件朝向中间旋转。再在夹持组件上设有多个卡球，一方面，用于防止掩膜版与第一夹持件和第二夹持件接触，导致影响掩膜版的性能，另一方面，用于夹持固定该掩膜版。此外，设于第二夹持件下方的弹性件，在当两个夹持组件夹持有掩膜版时，能够支撑该夹持组件和掩膜版，当掩膜版取出后，弹性件将加持组件向上顶起，使得顶部开口较大，呈现张开模式，准备下一次存放铬版掩膜版。
掩膜版存放装置

[发明专利]一种掩膜版、基板、显示面板和显示装置-CN201610587380.2有效
发明人：林治明;王震;黄俊杰;张健;唐富强;高月娇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版、基板、显示面板和显示装置，用以避免对位掩膜版的频繁对位，且增加对位掩膜版的稳定性，提高产能。所述掩膜版，包括掩膜版框架和对位掩膜版主体，所述掩膜版框架上设置有多个第一对位标记，所述对位掩膜版主体具有与所述第一对位标记相对应的第二对位标记，所述对位掩膜版主体通过位于所述第二对位标记两侧的焊接区域与所述掩膜版框架固定
一种掩膜版基板显示面板显示装置

[发明专利]柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法-CN201711330542.5有效
发明人：唐军 -专利权人：深圳浚漪科技有限公司
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： C23C2/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法，包括：提供一金属掩膜版，在所述金属掩膜版的表面形成一纯铝层，对形成纯铝层的金属掩膜版进行阳极氧化处理。根据本发明实施例提供的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法，先在金属掩膜版的表面形成一纯铝层，再对形成纯铝层的金属掩膜版进行阳极氧化处理，如此，阳极氧化处理后的金属掩膜版表面即可呈现优良的绝缘性，使得金属掩膜版能够满足镀膜中对绝缘性的要求。
柔性 oled 封装金属掩膜版绝缘处理方法

[发明专利]一种掩膜版清洗装置及其清洗方法-CN201811590865.2有效
发明人：王晓龙;姚俊俊 -专利权人：上海彩丞新材料科技有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版清洗装置及其清洗方法，包括基台固定架、掩膜版固定架、喷淋冲洗机构、掩膜版固定架旋转驱动机构；掩膜版固定架用于夹持掩膜版，其为矩形状且宽度和长度可根据掩膜版的尺寸做出适应性调节；喷淋冲洗机构包含第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构，第一喷淋冲洗机构和第二喷淋冲洗机构可选择性的开启对所述掩膜版进行喷淋；掩膜版固定架旋转驱动机构可带动所述掩膜版固定架绕其水平中轴线以设定速度旋转，掩膜版简易清洗装置，单人操作即可完成，因避免了人为的直接接触，避免了掩膜版的二次污染。
一种掩膜版清洗装置及其方法