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- [实用新型]掩膜组件-CN201921667493.9有效
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王永来
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云谷（固安）科技有限公司
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2019-09-30
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2020-06-23
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C23C14/04
- 本实用新型涉及一种掩膜组件，所述掩膜组件包括框架、支撑组件、掩膜板以及至少一条限位条，所述框架上设置有开窗口，所述支撑组件横跨所述开窗口固定于所述框架，并构成一支撑面，每条所述限位条设置于所述框架设有所述支撑组件的一侧，且构成一与所述支撑面平行的阻挡面；所述掩膜板设置于所述框架上并限位于所述支撑面与所述阻挡面之间。上述掩膜组件中，掩膜板限位于支撑组件与限位条形成的支撑面与阻挡面之间，以沿垂直掩膜板所在平面的方向对掩膜板进行限位，防止掩膜板在使用过程中受到外力作用后波动，进而防止掩膜板变形导致像素开口的形状、位置改变，保证掩膜板的像素位置精度。
- 组件
- [发明专利]掩膜组件-CN201710072336.2有效
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周淑金
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张家港康得新光电材料有限公司
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2017-02-09
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2020-06-16
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C23C14/04
- 本发明提供了一种掩膜组件。该掩膜组件包括：碳纤维材料层，具有第一镂空区域；第一金属层，设置于碳纤维材料层的至少一侧表面，且第一金属层具有与第一镂空区域对应的第二镂空区域。由于碳纤维材料层具有低膨胀和高强度的特性，从而在应用上述掩膜组件时不仅降低了工艺中温度变化对其可靠性的影响，还减少了上述温度变化导致的掩膜组件中镂空图案的尺寸变化；并且，通过上述第一金属层能够使掩膜组件具有平滑表面，从而避免了在蒸发、溅射或印刷等制备工艺时材料在掩膜组件表面的堆积，进而省去了后续为去除上述堆积材料的刮除工序以及刮除工序带来的损伤，使掩膜组件同时满足了高强度和高精度的需求。
- 组件
- [实用新型]掩膜组件-CN202123010398.1有效
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黄新宇
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乐金显示光电科技（中国）有限公司
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2021-12-02
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2022-05-03
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C23C14/04
- 本实用新型公开一种掩膜组件，包括支撑框架和多个掩膜条，多个掩膜条交叉设置，并连接于支撑框架上，以划分形成多个矩形蒸镀区域，每个掩膜条均沿其宽度方向在支撑框架上的位置可调，每个掩膜条上均设置有遮蔽结构。通过沿掩膜条的宽度方向调节其在支撑框架上的位置，能够调节多个掩膜条划分形成的蒸镀区域的尺寸，使用时，可根据待蒸镀的玻璃基板上的待蒸镀区域调节掩膜条的位置，以使形成的蒸镀区域与玻璃基板上的待蒸镀区域对正，通用性强，另外，在有掩膜条并排设置的位置，掩膜条上的遮蔽结构能够遮挡相邻两掩膜条之间形成的竖向间隙，从而避免下方蒸镀源散发的有机物蒸汽污染玻璃基板上的非蒸镀区域。
- 组件
- [发明专利]掩膜版、掩膜组件以及掩膜组件的制造方法-CN202010298098.9有效
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王亚玲
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昆山国显光电有限公司
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2020-04-16
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2022-05-17
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C23C14/04
- 本发明涉及一种掩膜版、掩膜组件以及掩膜组件的制造方法，掩膜组件包括掩膜框架；至少两个掩膜版，沿第一方向排布于掩膜框架；其中，相邻的两个掩膜版彼此搭接以在第二方向上具有交叠区域；其中，第一方向平行于掩膜框架，第二方向垂直于掩膜框架，第一方向与第二方向相互垂直。上述掩膜组件，掩膜组件包括沿第一方向排列的至少两个掩膜版，相比于单个大尺寸的掩膜组件，本申请的掩膜版的结构强度较高且相邻掩膜版可相互支撑，因此整体下垂量较低，为大尺寸的显示面板的制造提供了可能性。而且，相邻两个掩膜版之间不存在需要额外遮挡的间隙，因此无需额外设置遮挡掩膜版，从而减少了材料消耗，有效降低了材料断供的风险。
- 掩膜版组件以及制造方法
- [实用新型]一种掩膜板框架及掩膜板组件-CN202022623233.0有效
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高崇;梁舰;史晓波;冯敏强
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江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
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2020-11-13
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2021-07-23
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C23C14/04
- 本实用新型属于掩膜板技术领域，公开了一种掩膜板框架，用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度，本实用新型还提供了一种掩膜板组件包括掩膜板框架以及支撑于掩膜板框架上的掩膜板，该掩膜板组件能够调整掩膜板的下垂形变，以提升蒸镀图形的精度。
- 一种掩膜板框架组件
- [实用新型]掩膜版存放装置-CN202020532605.6有效
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熊启龙
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合肥清溢光电有限公司
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2020-04-10
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2020-12-18
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G03F1/66
- 本申请属于掩膜版生产设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版存放装置。本申请的掩膜版存放装置，可通过调整两个夹持组件在对应的旋转组件上的旋转角度，实现对不同尺寸的铬版掩膜版的存放。各夹持组件均能在旋转组件上转动，且通过掩膜版的自重将两个夹持组件朝向中间旋转。再在夹持组件上设有多个卡球，一方面，用于防止掩膜版与第一夹持件和第二夹持件接触，导致影响掩膜版的性能，另一方面，用于夹持固定该掩膜版。此外，设于第二夹持件下方的弹性件，在当两个夹持组件夹持有掩膜版时，能够支撑该夹持组件和掩膜版，当掩膜版取出后，弹性件将加持组件向上顶起，使得顶部开口较大，呈现张开模式，准备下一次存放铬版掩膜版。
- 掩膜版存放装置
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