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- [发明专利]一种掩膜版制作方法及掩膜版-CN202311078017.4在审
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王广成;甘帅燕
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江苏高光半导体材料有限公司
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2023-08-25
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2023-10-27
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C23C14/24
- 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜版制作方法及掩膜版。本发明提供的掩膜版制作方法包括如下步骤：在掩膜版基板上加工预设开口，预设开口的尺寸小于实际开口的尺寸，将加工有预设开口的掩膜版基板张紧固定于支撑框架上，对固定于支撑框架上的掩膜版基板进一步加工，以将预设开口增大至实际开口。该掩膜版制作方法减少了掩膜版在制作过程中产生的偏差，提高了对掩膜版的制作精度，满足了高精度显示产品以及窄边框显示产品的需求，并且制作方法简单便捷。本发明提供的掩膜版采用上述掩膜版制作方法进行制作，提高了对掩膜版的制作精度，满足了高精度显示产品以及窄边框显示产品的需求，并且制作简单便捷。
- 一种掩膜版制作方法
- [实用新型]一种掩膜版上下料装置-CN202222054763.7有效
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虞栋;李国祥;王明芳
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江苏高光半导体材料有限公司
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2022-08-05
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2023-07-25
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B08B13/00
- 本实用新型提出的一种掩膜版上下料装置，涉及掩膜版清洗辅助设备领域。该掩膜版上下料装置包括升降台和掩膜版载具，掩膜版载具设置在升降台上；所述掩膜版载具包括支撑架，支撑架上设置有限位滚轮组和驱动机构，限位滚轮组设置在支撑架的上部，且配置为受驱动机构驱动并执行沿竖直方向的移动；所述支撑架的下部或者所述升降台上还设置有支撑滚轮组，支撑滚轮组与所述限位滚轮组上下对应。本实用新型掩膜版上下料装置，用于掩膜版清洗装置前的上料或者下料，不仅能够降低掩膜版上下料难度、劳动强度和人员成本，同时能够提高上下料效率和过程中的安全性。
- 一种掩膜版上下装置
- [发明专利]一种金属掩膜版框体及其加工方法-CN202310251086.4在审
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张蔡星;钱超;王明芳
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江苏高光半导体材料有限公司
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2023-03-16
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2023-06-09
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C23C14/04
- 本发明提出的一种金属掩膜版框体及其加工方法，涉及金属掩膜版领域。该金属掩膜版框体包括组合框体和衔接件，组合框体由数个相同或不同的拼接段组成，任意两个相邻的拼接段均设置有衔接件进行衔接；拼接段上设置有凹槽，数个凹槽在组合框体的表面组合形成衔接件卡槽，衔接件安装于相应的衔接件卡槽内；各拼接段之间以及拼接段与衔接件之间相接合并形成为一个整体。加工步骤：加工拼接段，能够组合成组合框体的多个拼接段为一组；加工出与每组拼接段相适配的衔接件；将拼接段与衔接件组装在一起，并接合形成一个整体的金属掩膜版框体。本发明可有效利用掩膜版生产过程中的余料，且不受掩膜版框体实际边长和边宽的限制，二次利用率大幅提高。
- 一种金属掩膜版框体及其加工方法
- [发明专利]一种掩膜版清洗装置及其清洗方法-CN202110604114.7有效
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钱超;杨波
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江苏高光半导体材料有限公司
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2021-05-31
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2023-03-10
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B08B7/04
- 本发明提供一种掩膜版清洗装置，包括挂载架，挂载架内设有离心组件，挂载架的外侧套设有清洗组件，挂载架的两端安装有抵板，离心组件包括旋转轴，旋转轴的两端分别与两个抵板转动连接，其中一个抵板上安装有驱动电机，驱动电机与旋转轴驱动连接，旋转轴上设有移动块，移动块上安装有卡合机构，通过设置的离心组件和环筒的配合，以达到利用旋转来促使掩膜版均匀多角度的受到水流的冲洗效果，并能实现自动化自清洗效果，降低人力成本，本发明通过设置的环筒内的多个区间，以达到利用层层递进的方式来进行对掩膜版的清洗，从而使得其上附着的杂质可以更好的脱离其表面，在清洗完毕后进行超声震荡烘干处理，防止水渍未干导致重新附着新的杂质。
- 一种掩膜版清洗装置及其方法
- [发明专利]一种晶圆镀膜载具-CN202211062547.5在审
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蔡则凡;张蔡星;钱超
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江苏高光半导体材料有限公司
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2022-08-31
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2023-01-31
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H01L21/687
- 本发明提出的一种晶圆镀膜载具，涉及晶圆镀膜加工领域。该镀膜载具包括：支承件，其具有至少一个上下贯通的容置区；以及托爪，多个托爪分布于容置区的边缘，且托爪的前端伸入到容置区的区域内；以及间隔物，其具有多个，多个间隔物设置于支承件上，且分布在容置区的外围；间隔物凸出于支承件上的支承面，且超出支承面的部分的高度不超过1mm。本发明应用于晶圆在蒸镀机内镀膜，能够克服晶圆因自重产生中部下垂和边缘起翘继而可能导致的晶圆边缘与冷却板表面直接接触产生局部过快降温甚至产生压迫的情形，晶圆破损率大幅度降低；与此同时，冷却板与晶圆的间隔距离通过设定间隔物的高度得以控制，冷却板对晶圆的冷却效率和效果得以保障。
- 一种镀膜
- [发明专利]一种晶振盒载具及载具组件-CN202210935760.6在审
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蔡则凡;张蔡星;钱超
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江苏高光半导体材料有限公司
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2022-08-04
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2022-11-01
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B08B3/04
- 本发明提出的一种晶振盒载具及载具组件，涉及蒸镀机晶振探头清洗治具领域。晶振盒载具包括装配位、外围支撑框和连接部；多个装配位处于同一平面，其中包括一个第一装配位和至少一圈围绕第一装配位设置的多个第二装配位；外围支撑框环绕于装配位的外围；多个连接部分别连接于第一装配位、第二装配位、外围支撑框之间。载具组件包括晶振盒载具和载具外框，载具外框包括框体，框体的中部具有窗口；框体一侧具有安装槽，另一侧具有凸出部；晶振盒载具的外围支撑框固定于安装槽内。本发明的晶振盒载具及载具组件，一次性可装载多个晶振盒进行清洗，清洗效率成倍提高；装载的晶振盒之间互不接触、碰撞，不易损坏。
- 一种晶振盒载具组件
- [实用新型]一种磁铁板-CN202220999594.1有效
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李成林;张蔡星
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江苏高光半导体材料有限公司
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2022-04-24
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2022-08-19
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H01F7/00
- 本实用新型提出的一种磁铁板，涉及镀膜设备技术领域。其包括：载体板，其一侧表面上具有若干宽度和深度均相同的嵌槽，嵌槽大致沿第一方向延伸；若干嵌槽在与第一方向垂直的第二方向上等间距间隔分布，且相互平行；以及若干尺寸相同的磁钢，磁钢适配设置在相应的嵌槽内；同一嵌槽内的磁钢相同，且沿该嵌槽的延伸方向依次紧密排列形成一个磁钢纵列；沿第二方向上任意相邻嵌槽内磁钢的磁极方向相反；磁铁板包括第一区域和两个第二区域，第一区域中不同嵌槽内的磁钢的磁力大小相同，第二区域中至少一个嵌槽内磁钢的磁力大小与该区域中其它嵌槽内的不相同；在第二方向上，两个第二区域对称设置在第一区域的两侧。本实用新型磁铁板磁力均一性好。
- 一种磁铁
- [发明专利]一种金属掩膜版框架安全夹具-CN202011546493.0有效
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钱超;杨波
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江苏高光半导体材料有限公司
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2020-12-23
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2022-05-17
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B25B11/00
- 本发明公开了掩膜版技术领域的一种金属掩膜版框架安全夹具，包括固定基座和夹具支架，夹具支架之间设置有对位部件，所述对位部件可向内部进行手动滑动，夹具支架上安装气动微调节夹具，气动微调节夹具用微气流作为动力，推动夹持部对掩膜版的框架侧边进行夹持，调节夹持力度，冲支台对掩膜版的底部区域进行缓冲支撑，掩膜版整体底部受力均匀，本发明通过设置对位部件将掩膜版的框架进行挤压对齐，保证掩膜版在夹持前保持稳定和正确的夹持姿态，通过设置的气动微调节夹具通过控制气体的流速控制夹头的夹持力度，气体推动提供推力更加便于对精密部件的缓冲夹持，避免机械结构操作的夹持力过大对掩膜版外部造成损伤。
- 一种金属掩膜版框架安全夹具
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