[发明专利]一种低电容高压放电管及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011370830.5 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN113161427A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 王凯健;柯亚威;张鹏;周健 申请(专利权)人: 江苏吉莱微电子股份有限公司
主分类号: H01L29/87 分类号: H01L29/87;H01L29/06;H01L21/329
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 卢海洋
地址: 226200 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种低电容高压放电管,N型硅片两面设有N+隔离区,N型硅片两面设有PBASE区,N型硅片和PBASE区上有P++区,PBASE区上方P++区和N+隔离区之间有P‑BASE区中N+区,N型硅片两面两边上设有玻璃钝化层,并在玻璃钝化层上湿法腐蚀出沟槽,N型硅片上的PBASE区上沉淀有金属层,金属层两侧的PBASE区设有氧化层和LTO层。步骤:1)选择N型硅片;2)氧化;3)N+隔离区;4)形成P++肼区;5)形成P‑BASE区;6)进行P‑BASE区中N+区光刻;7)台面光刻,腐蚀出沟槽;8)硼磷硅玻璃钝化、接触孔刻蚀;9)LTO层,沉积2000‑8000Å的LTO层;10)形成电极,形成金属层;11)合金。通过横向侧腐,减小了N+隔离区处的PN结横截面积,从而减小了电容值,有效降低了器件的残压,降低电容值。
搜索关键词: 一种 电容 高压 放电 及其 制备 方法
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