专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]CIS的制作方法-CN202310718068.2在审
  • 李睿;曹志伟;张召 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2023-06-16 - 2023-09-29 - H01L27/146
  • 本申请公开了一种CIS的制作方法,包括:提供一衬底,衬底中形成有深沟槽,深沟槽将衬底分割为多个柱型结构,柱型结构上形成有硬掩模层,衬底的晶向为[100],深沟槽的深度和宽度的比值大于4;在深沟槽的表面第一外延层;进行烘烤处理对第一外延层的表面形貌进行修复;通过低压选择性外延工艺生长第二外延层,第二外延层填充深沟槽。本申请通过在CIS的制作过程中,在衬底中形成深沟槽后,现在深沟槽表面第一外延层,然而通过烘烤处理修复形貌,再通过低压选择性外延工艺生长第二外延层以填充深沟槽,能够降低沟槽中填充的外延层产生缺陷的几率
  • cis制作方法

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