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- [发明专利]半导体器件及其制备方法-CN202310924668.4在审
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霍文;曹志伟;王琦
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华虹半导体（无锡）有限公司
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2023-07-25
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2023-10-03
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H01L21/205
- 本申请提供一种半导体器件及其制备方法，其中制备方法包括：(1)提供形成有外延层的衬底；(2)通入第i流量的反应气体形成第j子柱体层，通入的反应气体的分配比例从中心往边缘逐渐增大；(3)回刻第j子柱体层，刻蚀速率从中心往边缘逐渐增大；(4)重复执行步骤2至步骤3；(5)通入第i+1流量的反应气体，形成第j+1子柱体层，第i+1流量小于第i流量；(6)去除高于外延层的第j+1子柱体层；i、j均为大于或者等于1的整数。本申请通过执行上述步骤，不仅可以使得各沟槽中的组合柱体层中的离子掺杂浓度可以随着组合柱体层厚度增加而减小，而且可以将不同区域柱体层的离子掺杂浓度同时调低。
- 半导体器件及其制备方法
- [实用新型]一种铆钉钢丝热处理装置-CN202223467947.2有效
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曹志伟
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弘凯不锈钢科技（南通）有限公司
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2022-12-26
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2023-10-03
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C21D9/00
- 本实用新型公开了一种铆钉钢丝热处理装置，属于热处理装置技术领域，包括底板、侧支板和支撑台，防护板架上转动支撑设有物料运输组件，所述防护板架内的上端固定设有加热器，还包括：钢丝传动组件，所述钢丝传动组件与所述物料运输组件和钢丝连接；冷却箱，所述冷却箱内固定设有过滤网板；收卷轮一，所述收卷轮一支撑设于所述过滤网板底侧的冷却箱内，所述钢丝一端绕卷在所述收卷轮一上，所述收卷轮一端部固定连接的支撑轴与电机一的输出端固定连接；冷却组件，所述冷却组件设于所述冷却箱一侧；本实用新型能够对铆钉等小型金属类工件和钢丝等金属线材同时进行热处理，且能源消耗较低，使用方便，操作简单，增大了装置的使用范围。
- 一种铆钉钢丝热处理装置
- [发明专利]CIS的制作方法-CN202310718068.2在审
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李睿;曹志伟;张召
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华虹半导体（无锡）有限公司
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2023-06-16
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2023-09-29
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H01L27/146
- 本申请公开了一种CIS的制作方法，包括：提供一衬底，衬底中形成有深沟槽，深沟槽将衬底分割为多个柱型结构，柱型结构上形成有硬掩模层，衬底的晶向为[100]，深沟槽的深度和宽度的比值大于4；在深沟槽的表面生长第一外延层；进行烘烤处理对第一外延层的表面形貌进行修复；通过低压选择性外延工艺生长第二外延层，第二外延层填充深沟槽。本申请通过在CIS的制作过程中，在衬底中形成深沟槽后，现在深沟槽表面生长第一外延层，然而通过烘烤处理修复形貌，再通过低压选择性外延工艺生长第二外延层以填充深沟槽，能够降低沟槽中填充的外延层产生缺陷的几率。
- cis制作方法
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