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[发明专利]一种基于多级差分输出的高精度硅基MEMS谐振加速度计-CN202310734210.2在审
发明人：高乃坤;刘福民;高适萱;张乐民;吴浩越;张树伟;杨静 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于多级差分输出的高精度硅基MEMS谐振加速度计，包括上层盖帽层、中层敏感模块、下层衬底层。中层敏感模块包括左右对称分布、相互隔离的两个相同敏感结构，敏感结构包括质量块、杠杆放大结构、热应力释放结构、谐振器，谐振器包括谐振梁与连接在谐振梁上的滑膜梳齿结构，滑膜梳齿结构连接外部驱动电路产生静电力驱动谐振梁振动，并输出检测信号。本发明通过多级差分检测设计，有效降低电路噪声、温度漂移等误差对硅基MEMS谐振加速度计的精度干扰，实现硅基谐振MEMS加速度计在全温环境下可保持较高的加速度测量精度。
一种基于多级输出高精度 mems 谐振加速度计

[实用新型]一种BOG压缩机冬季运行稳定性装置-CN202321132490.1有效
发明人：王宽申;杨港;张树伟;王文康;金垚;徐鹏毅 -专利权人：晋城华港燃气有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： F17C9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种BOG压缩机冬季运行稳定性装置，包括天然气过冷器、天然气液化器、天然气预冷器、高压分离器、混合冷剂压缩机、储罐返回器加热器、空温式汽化器、空冷预热回收装置、常温式BOG四级压缩机与空冷器，所述天然气预冷器一端连接有天然气进气管，所述天然气预冷器另一端连接有天然气出气管，所述天然气出气管先与所述天然气液化器连接。本实用新型通过采用BOG与净化后的天然气换热和空温式汽化器共同换热，BOG气体复温后进行压缩再液化为LNG；常温式汽化器换热效率不足，本公司采用了空冷器余热回收项目，增加风筒吹空温式汽化器来满足化热效率，降低了BOG因换热不足导致放空的情况，减少了资源浪费，达到了节能目的。
一种 bog 压缩机冬季运行稳定性装置

[发明专利]一种用于核酸提取实验的乙醇清除装置及其使用方法-CN201711389445.3有效
发明人：丁霄;王传旭;李朋波;罗晓丽;王娇娟;潘转霞;姜南;张树伟;李换丽;吴翠翠;杨六六;朱永红;曹彩荣;夏芝 -专利权人：山西省农业科学院棉花研究所;运城学院
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C12M1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于核酸提取实验的乙醇清除装置，包括风机主体、试管盒以及能够扣压在试管盒上的盒盖，所述试管盒内装有EP管架，所述EP管架上排布有若干试管孔，所述试管孔中可放置盛有待干燥核酸的EP管，所述的风机主体内设有风扇以及为风扇供电的电源，所述风机主体上设有风机口，所述风机口位于风扇的正前方，所述风机口上安装有风嘴，所述风嘴的另一端设有水平的扁平嘴；所述盒盖的左右两侧分别设有入风口和出风口。本发明改变了以往通过垂直风干燥试管，利用水平风产生的负压效应，实现EP试管中残留乙醇的快速挥发，有效的减少批量核酸提取过程中清除残留乙醇的步骤及时间，同时降低提取样品受污染的概率。
一种用于核酸提取实验乙醇清除装置及其使用方法

[实用新型]一种可调节定位的烟草漂浮育苗床-CN202321210367.7有效
发明人：张玉林;刘新源;王娓娓;韦凤杰;陈胜利;王志军;关卫东;杨建新;张博;张树伟;杨芳;钱来吾;莫少辉 -专利权人：河南省烟草公司三门峡市公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： A01G9/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调节定位的烟草漂浮育苗床，涉及育苗技术领域，包括底座和调节组件，所述底座上方分布有主床体，用于调节定位的所述调节组件设置于底座上端，且调节组件包括螺纹转杆、固定座、万向轮、液压杆、卡槽、限位杆、承接块和育苗盘，所述螺纹转杆下端固定有固定座，所述底座下端靠近中间处安装有万向轮，且底座上端安装有液压杆，所述主床体内部两侧开设有卡槽。该可调节定位的烟草漂浮育苗床，通过调节组件的设置，能够在可调节定位的烟草漂浮育苗床使用时，利用底座上端的调节组件避免现有育苗床整体体积过大造成其移动与高度调节时费时费力的问题，经由底座下端的万向轮使得育苗床整体便于位置移动。
一种调节定位烟草漂浮育苗

[发明专利]一种用于MEMS晶圆级共晶键合封装的硅槽结构及制备方法-CN201911329252.8有效
发明人：崔尉;刘福民;邱飞燕;梁德春;刘宇;张树伟;杨静;张乐民;吴浩越;马骁 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2019-12-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于MEMS晶圆级共晶键合封装的硅槽结构及制备方法，分布于硅盖板片正面键合环内侧及外侧的环状硅槽为防溢出硅槽，其宽度w1与键合环的宽度w2之比为R满足1/20≤R≤1/10；分布于键合环内部的方形硅槽为收纳硅槽，其边长为L，在键合环上横向、纵向等间距排布，间距d和边长L满足20μm≤d＝L≤w2/10；所述硅槽结构在共晶键合过程中被溢出的合金熔液填充，固化后形成楔形键合层结构。本发明采用深反应离子刻蚀技术，直接在硅盖板片正面键合环两侧及内部刻蚀出横截面为等腰倒梯形的硅槽结构，通过这些沟槽结构收纳在共晶键合过程中溢出的合金熔液，并通过合金熔液固化后形成的楔形的键合层结构来提高键合强度和密封效果。
一种用于 mems 晶圆级共晶键合封装结构制备方法

[发明专利]一种全硅结构MEMS微流道散热器及其加工方法-CN202110194398.7有效
发明人：张乐民;刘福民;刘宇;马骁;张树伟;杨静;梁德春 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2021-02-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种全硅结构MEMS微流道散热器及其加工方法，由下至上包括依次键合的第一硅结构层(1)、第二硅结构层(2)和第三硅结构层(3)；在硅结构内部加工有微流孔和微流道，形成微流道通路，液体在微流道内部循环流动，将热量从待散热元件带走。整个微流道散热器均由高热导率的单晶硅材料构成，能够实现良好的散热效果；各层之间无中间层，避免了由于各层材料热膨胀系数不匹配造成的不同温度条件下结构弯曲形变，降低结构内部应力；单晶硅具有很高的杨氏模量，三层结构通过硅‑硅直接键合结合起来，具有很高的键合强度，提高结构可靠性。采用MEMS工艺加工，能够显著降低微流道散热器尺寸，实现批量化加工，降低生产成本。
一种结构 mems 微流道散热器及其加工方法

[发明专利]一种晶片键合过程中对准检测方法-CN202010880769.2有效
发明人：刘福民;刘宇;张乐民;刘国文;马骁;崔尉;梁德春;张树伟;吴浩越;杨静;李兆涵;徐宇新 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片键合过程中对准检测方法，包括：在上晶片非键合面制作上晶片辅助对准标记和上晶片主对准标记；在下晶片键合面制作下晶片辅助对准标记和下晶片主对准标记；利用主对准标记进行上下晶片的对准后上下晶片错开，露出下晶片辅助对准标记，测量露出的下晶片辅助对准标记与上晶片辅助对准标记的横纵向的位置偏差，计算出对准标记偏差，合理控制对准偏差范围。本发明可以加工出对准精度高的敏感芯片，实现非透明晶片键合前对准的定量测试，本发明能确保芯片的质量和成品率。
一种晶片过程对准检测方法

[实用新型]一种药材醇提防爆装置-CN202223566167.3有效
发明人： 张树伟;刘莹;何林 -专利权人：哈尔滨泓清生物科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B01D11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药材醇提防爆装置，包括醇提机和散热器，所述醇提机的表面固定连接有惰性气体箱，所述惰性气体箱的表面设置有进气机构，所述醇提机的表面设置有安装机构，所述进气机构包括偏心转盘和滑动堵块，本实用新型涉及药材醇提技术领域。该药材醇提防爆装置，通过启动第一电机带动偏心转盘转动，偏心转盘通过进气口带动滑动堵块转动，滑动堵块与进气口的内表面不接触时，惰性气体从惰性气体箱通过出气管进入进气箱内，随后再通过进气管进入醇提机内，惰性气体会逐步定量的进入醇提机内，从而可以使得醇提机内空气的含量始终处于很低的状态，不会达到乙醇蒸汽的爆炸极限，避免了药材醇提设备发生意外爆炸。
一种药材提防装置

[实用新型]一种卷烟包装系统中夹取烟道内烟支的长度可调镊子-CN202221591262.6有效
发明人：申沛;胡亚凯;卫剑;林泉;赵林;张树伟;林杰;阎念庆;董泽阳;刘磊;吴淑芳;尤彬;李想;付文政;侯树彬 -专利权人：河南中烟工业有限责任公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： A24C5/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卷烟包装系统中夹取烟道内烟支的长度可调镊子，包括，镊子头、镊子身、前组螺钉、后组螺钉和小轴；镊子头，前后两片，细长有调节孔，可以调整长度来满足84mm和100mm等不同规格的烟支要求，镊子身，前后两片，每片均有五个孔；前组螺钉包括两个螺钉，安装在所述镊子身的前两个孔上，调节镊子的长度；后组螺钉包括两个螺钉，安装在所述镊子身的后两个孔上，紧固两片镊子；小轴安装在后两个后组螺钉之间，依靠螺钉垫片卡住小轴，固定轴向窜动；压簧穿于小轴内，增加两片镊子的张驰力。本申请提出的方案夹取不同规格烟道里的烟支，不仅提高操作工工作效率，还减少操作人员夹取烟道内乱烟的劳动强度。
一种卷烟包装系统中夹取烟道内烟支长度可调镊子

[发明专利]一种用于MEMS晶圆级封装的应力补偿方法-CN201911358919.7有效
发明人：崔尉;刘福民;邱飞燕;梁德春;刘宇;张树伟;杨静;张乐民;吴浩越;马骁 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于MEMS晶圆级封装的应力补偿方法，利用台阶仪测量已完成器件层加工的SOI片的挠曲程度，并根据SOI片挠曲程度在其背面生长相应的应力薄膜，将挠曲程度控制在‑5μm≤h2≤5μm；利用台阶仪测量已完成正面结构加工的衬底层硅片的挠曲程度，并根据衬底层硅片的挠曲程度在其背面生长相应的应力薄膜，将挠曲程度控制在‑5μm≤r2≤5μm；最后将平衡好两侧应力的SOI片和衬底层硅片键合在一起。本发明利用介质或金属薄膜的残余应力，对待键合片进行应力补偿，解决MEMS晶圆级键合封装工艺过程中晶圆挠曲过大导致的键合对准偏差大和键合强度低的问题。
一种用于 mems 晶圆级封装应力补偿方法

[发明专利]一种用于MEMS晶圆级封装的应力补偿方法-CN201911358916.3有效
发明人：崔尉;刘福民;邱飞燕;梁德春;刘宇;张树伟;杨静;张乐民;吴浩越;马骁 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于MEMS晶圆级封装的应力补偿方法，加工封帽层硅片时，在其背面加工出与正面完全镜像对称的二氧化硅图形结构；再将封帽层硅片和器件层硅片通过Si‑SiO2键合在一起形成SOI片，然后完成器件层的加工；加工衬底层硅片时，在其背面加工出与正面完全镜像对称的SiO2/W/SiO2/Au膜层结构；最后将背面镜像膜层结构加工的SOI片与衬底层硅片键合在一起，完成封装。本发明利用镜像对称补偿法，平衡待键合片两侧的薄膜应力，解决MEMS晶圆级键合封装工艺过程中晶圆挠曲过大导致的键合对准偏差大、键合强度低的问题。
一种用于 mems 晶圆级封装应力补偿方法

[实用新型]一种不锈钢制品加工用的冲压模具-CN202320306331.2有效
发明人：潘建波;张树伟 -专利权人：淄博质恒工贸有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B21D22/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及不锈钢加工冲压技术领域，且公开了一种不锈钢制品加工用的冲压模具，包括模具外壳，所述模具外壳的外壁固定装配有单片机控制器，所述模具外壳的内壁固定装配有内部稳定框架，所述内部稳定框架的内壁设有升降限位齿，所述模具外壳的内壁设有模板固定板，所述模具外壳的内壁设有电控冲压柱，所述模具外壳的内壁开设有滑动槽口，该不锈钢制品加工用的冲压模具，通过在设备上设置固定连接杆，使得设备在冲压过程的稳定性得到提高，同引入设备相比，固定连接杆的设置能够缓解冲压模型的冲击力，使得冲压效果变得稳定，能对冲压模型起到保护作用。
一种不锈钢制品工用冲压模具

[实用新型]一种不锈钢制品加工用的焊接装置-CN202320336898.4有效
发明人：潘建波;张树伟 -专利权人：淄博质恒工贸有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B23K37/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及不锈钢焊接技术领域，且公开了一种不锈钢制品加工用的焊接装置，包括工作台，所述工作台的底部设置有支撑柱，所述支撑柱的内壁固定装配有升降装置，所述工作台的顶部固定装配有垫块，所述垫块的顶部固定装配有固定装置，所述工作台的顶部固定装配有固定板，所述固定板的顶部固定装配有圆环，所述圆环的内壁滑动连接有转动环，通过电机的工作，带动第一齿轮的转动，通过第一齿轮的轮齿与齿柱进行啮合，使得第一齿轮在转动的同时推动齿柱进行升降，通过齿柱的顶部固定装配有的工作台，使得能够对该装置进行高度的调节，进而使得该装置能够适用于不同身高的人员进行使用，提高了该装置的实用性。
一种不锈钢制品工用焊接装置

[发明专利]煤粉和乏气混合动力双介质锅炉-CN201710238527.1有效
发明人：孔凡利;王治宝;王明君;张树伟;王志刚 -专利权人：青岛全能节能环保锅炉有限公司
申请日： 2017-04-13 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： F22B31/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种煤粉和乏气混合双动力双介质锅炉，包括燃料系统、稳燃室、燃烧室、燃尽室、上锅筒、下锅筒、导热油循环系统及水循环系统，燃料系统设置在稳燃室前方并为稳燃室供给燃料，燃料系统包括送粉系统和乏气控制系统，上、下锅筒之间设置有炉膛，燃烧室和燃尽室设置在炉膛内，燃烧室分别与稳燃室和燃尽室相通，导热油循环系统布置在燃尽室内，稳燃室为可调式稳燃室，稳燃室包括相互套接的活动稳燃室和固定稳燃室，所述锅炉还包括稳燃室调节装置，活动稳燃室在稳燃室调节装置的带动下沿固定稳燃室前后移动。本发明通过稳燃室可调，提高了燃料的适应性，同时采用双介质独立循环，共享燃烧系统的方式，使锅炉整体结构更加紧凑，减少了占地面积。
混合动力介质锅炉

[发明专利]一种快速鉴定中间偃麦草1Js-CN202310008896.7在审
发明人：张晓军;李冰洁;乔麟轶;贾举庆;郭慧娟;张树伟;常利芳;陈芳;李欣;畅志坚;张鹏 -专利权人：山西农业大学
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C12Q1/6895 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速鉴定中间偃麦草1Js染色体的方法。属于植物分子遗传技术领域。包括提取植株基因组DNA，进行PCR扩增；若扩增得到任一目标片段，则具有中间偃麦草1Js染色体基因。本发明发现的分子标记可用于中间偃麦草或小麦与中间偃麦草远缘杂交过程中中间偃麦草染色体工程系(染色体附加系、代换系、易位系和双二倍体)中1Js染色体或1Js染色体片段的快速检测。本发明对于中间偃麦草遗传育种领域中1Js染色体的鉴别具有重要价值。
一种快速鉴定中间麦草 base sup

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