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[实用新型]一种基板的加热平台结构-CN202122465830.X有效
发明人：黄忠;陈南南;葛京城;沈国芳;朱齐备 -专利权人：星科金朋半导体（江阴）有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H05K3/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基板的加热平台结构，属于基板的加热平台结构技术领域。其加热平台本体（1）呈长方形，所述基板载体单元（3）凸出所述加热平台本体（1），且呈矩阵分布，其基板载体单元（3）包括复合图形凸台、真空槽（38）、真空开口（39），其真空接口（19）设置在所述加热平台本体（1）的侧面，与每一个所述真空开口（39）在所述加热平台本体（1）的内部连通，其隔热顶针Ⅰ（12）设置于所述基板载体单元（3）的第一行和最后一行，其隔热顶针Ⅱ（14）设置在所述加热平台本体（1）的长边的边侧本实用新型均衡了基板载体单元与加热平台长边两侧接触的温度，缓减了基板定位针的热膨胀，解决了散热片偏移的问题。
一种加热平台结构

[实用新型]一种玻璃基板自动检测机-CN202223353456.5有效
发明人：高树辉;梁君龙;王艳辉;孙大德 -专利权人：青岛融合装备科技有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种玻璃基板自动检测机，涉及玻璃基板加工设备技术领域。包括机架，机架上设有驱动件，驱动件连接机架内开设的可移动相机组件，可移动相机组件的下方设有可移动的玻璃基板载台，玻璃基板载台的下方设有传感器组件。本检测机可通过视觉识别技术对玻璃基板进行全程自动检测，从而解决了传统的人工检测方式中，存在着耗费人力成本、工作效率低、检测结果不准确、会对工人视力造成损害的问题。
一种玻璃自动检测

[发明专利]基板处理装置、基板载置机构和基板处理方法-CN201810613271.2有效
发明人：津田荣之辅;村上诚志;釜石贵之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开涉及基板处理装置、基板载置机构和基板处理方法。能够在一个处理容器内对被处理基板以高生产率连续地进行温度不同的多个工序。基板处理装置具有：处理容器；处理气体供给机构，其向处理容器内供给处理气体；基板载置台，其载置被处理基板；制冷剂流路，其设置于基板载置台的主体；制冷剂抽取机构，其从制冷剂流路抽取制冷剂；加热器，其被印刷在静电卡盘的背面；温度控制部，其使制冷剂流通于制冷剂流路中，将被处理基板温度调整为第一温度，利用加热器进行加热并且利用制冷剂抽取机构抽取制冷剂流路的制冷剂，将被处理基板温度调整为比第一温度高的第二温度，连续地进行基于第一温度的处理和基于第二温度的处理
处理装置基板载置机构方法

[发明专利]具有保护覆盖物的基板载体系统-CN201580024181.4有效
发明人：王作乾;J·M·怀特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本文中公开的实施例一般涉及一种适于夹紧基板及可选地掩模的基板载体系统，该基板载体系统具有可移除的保护层的堆叠。在一个实施例中，提供基板载体系统，该基板载体系统包括基板载体主体，该基板载体主体具有设置于该基板载体主体的外部安装表面上的保护层堆叠。该基板载体主体被配置成被传输进出处理腔室。该保护层堆叠具有多个可移除的保护层，该多个可移除的保护层可视需要被移除，以暴露“新的”表面，以用于在其上夹持基板。
具有保护覆盖载体系统

[发明专利]基板处理装置、半导体装置的制造方法及存储介质-CN202011006528.1在审
发明人：大桥直史 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置、半导体装置的制造方法及存储介质，在一边使基板进行公转一边进行处理的装置中能够对基板载置面周围的结构进行清洁。基板处理装置构成为具有：处理室，其对基板进行处理；基板载置板，其具备非基板载置面和多个基板载置面；旋转部，其使所述基板载置板旋转；等离子体生成部，其构成为所述非基板载置面上的等离子体密度比所述基板载置面上的等离子体密度高；处理气体供给部，其向所述处理室供给处理气体；清洁气体供给部，其向所述处理室供给清洁气体；以及加热器，其配置于所述基板载置板的下方。
处理装置半导体制造方法存储介质

[发明专利]成膜装置-CN202210083022.3在审
发明人：谷和宪;福井雄贵 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种在一边输送基板和掩模一边进行成膜的串联型的成膜装置中尽可能地抑制被对准了的基板与掩模的位置偏离的技术。本发明使用如下的成膜装置，所述成膜装置配备有：保持并输送基板的基板载置器、具有基板载置器的夹紧部的载置器保持机构、掩模保持机构、进行基板载置器与掩模的相对位置调整的对准机构、在与基板相交的交叉方向上使基板载置器移动的移动机构、成膜机构，在夹紧部夹紧基板载置器且基板载置器的整体与掩模分离开的状态下，对准机构进行相对位置调整，在相对位置调整之后，在基板载置器被夹紧的状态下，移动机构使基板载置器与掩模接触，在基板载置器与掩模接触之后，夹紧部解除对基板载置器的夹紧。
装置

[发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN201510043626.5有效
发明人：羽根秀臣;梅原隆人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2015-01-28 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理方法和基板处理装置。在该基板处理方法中使用基板处理装置，该基板处理装置包括处理容器和旋转台，该旋转台以能够旋转的方式设于所述处理容器内且具有基板载置部。在该基板处理方法中，将基板载置于所述基板载置部，向所述处理容器内供给处理气体而对所载置的所述基板进行处理。在将所述基板载置于所述基板载置部的状态下向所述处理容器内至少供给水蒸气，并输出所述基板载置部上的所述基板。
基板处理装置基板载置部处理容器基板处理基板旋转台水蒸气处理气体载置输出

[发明专利]一种摄像头自动装配装置-CN201811421285.0在审
发明人：李久林;雷茜;钟汉龙;徐翼;阳小冬;王润 -专利权人：深圳眼千里科技有限公司;江西眼千里智能科技有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种摄像头自动装配装置，包括机体，机体上设有对焦工位、镜头载座以及基板载台；镜头载座驱动机构；基板载台驱动机构；镜头装夹机构，包括基座、镜头固定框、两个镜头夹爪、基座驱动组件以及镜头夹爪驱动组件两个镜头夹爪可在镜头夹爪驱动组件的带动下相互靠近或者相互远离；两个镜头夹爪用于在相互靠近后夹取镜头的底部；对焦机构包括光源板以及光源板驱动组件，光板驱动组件用于带动光源板沿机体的高度方向上下运动；点胶机构，点胶机构设于基板载台的运动轨迹上本发明可完成镜头和基板的自动装配。
驱动组件镜头夹基板载台镜头固定光源板镜头自动装配装置摄像头点胶机构镜头载座驱动机构上下运动光板对焦机构运动轨迹装夹机构自动装配对焦工位后夹基板外部

[发明专利]基板载置台及其制造方法、基板处理装置、流体供给机构-CN200710154402.7有效
发明人：上田雄大;小林义之;大桥薰 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-09-11 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种不仅能够防止在流体通路内残留的喷镀残渣，而且能够防止发生喷镀残渣导致的污染、防止发生流体通路的孔堵塞的基板载置台、基板载置台的制造方法、基板处理装置、流体供给机构。基板载置台(5)通过粘合形成为圆板状的第一板状部件(510)和第二板状部件(520)而构成，其整体形成为板状。在第一板状部件(510)中设置有多个气体喷出孔(511)。
基板载置台及其制造方法处理装置流体供给机构

[实用新型]一种摄像头自动装配装置-CN201821971837.0有效
发明人：李久林;雷茜;钟汉龙;徐翼;王润;阳小冬 -专利权人：深圳眼千里科技有限公司;江西眼千里智能科技有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种摄像头自动装配装置，包括机体，机体上设有对焦工位、镜头载座以及基板载台；镜头载座驱动机构；基板载台驱动机构；镜头装夹机构，包括基座、镜头固定框、两个镜头夹爪、基座驱动组件以及镜头夹爪驱动组件两个镜头夹爪可在镜头夹爪驱动组件的带动下相互靠近或者相互远离；两个镜头夹爪用于在相互靠近后夹取镜头的底部；对焦机构包括光源板以及光源板驱动组件，光板驱动组件用于带动光源板沿机体的高度方向上下运动；点胶机构，点胶机构设于基板载台的运动轨迹上本实用新型可完成镜头和基板的自动装配。
驱动组件镜头夹基板载台镜头固定光源板镜头自动装配装置本实用新型摄像头点胶机构镜头载座驱动机构上下运动光板对焦机构运动轨迹装夹机构自动装配对焦工位后夹基板外部

[发明专利]基板处理装置和方法、半导体器件的制造方法及记录介质-CN202210138220.5在审
发明人：栗林幸永;上田立志;山本克彦 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板处理装置和方法、半导体器件的制造方法及记录介质。提供一种能够对在基板支承部的基板载置面内的外周部分较薄地沉积的膜进行清洗的基板处理装置。基板处理装置具备：对产品基板进行处理的处理室；设于处理室内、且具有供所述产品基板载置的基板载置面的基板支承部；在基板载置面载置有产品基板的状态下向处理室供给处理气体的处理气体供给部；以及在基板载置面载置有虚设基板的状态下供给清洗气体的清洗气体供给部，虚设基板构成为在支承于基板载置面的状态下虚设基板的外周不与基板载置面接触。
处理装置方法半导体器件制造记录介质

[发明专利]数字光刻系统的多基板处理-CN201980035940.5在审
发明人：赖建华;高嘉宏;王修仁;郭士豪;刘以胜;李世贤;陈庆昌;杨子慧 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本文的实施例能够有利地在数字直写式光刻系统中同时处理多个基板。在一个实施例中，一种处理多个基板的方法包括：将多个基板定位在处理系统的基板载体上，将基板载体定位在多个光学模块下面，独立地对多个基板中的每一者进行水平校准，判定多个基板中的每一者的偏移信息，根据多个基板中每一者的偏移信息产生图案化指令，并使用多个光学模块对多个基板中的每一者进行图案化。处理系统包括：基座、设置在基座上的运动台、设置在运动台上的基板载体、设置在基座表面上方并与基座表面分离的桥接器、以及设置在桥接器上的多个光学模块。
数字光刻系统多基板处理

[实用新型]涂胶显影机吸盘治具-CN201921841294.5有效
发明人：陈银培;葛文志;丁宇能;杨巨椽;朱毅;翁钦盛 -专利权人：杭州美迪凯光电科技股份有限公司
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机吸盘治具，包括真空吸盘装置，还包括基板载具、目标载片，所述的基板载具上侧面为承载面、下侧面为吸附面，所述的目标载片设于基板载具承载面上，所述基板载具上设有多个贯穿承载面、下侧面的通孔，所述的真空吸盘装置与基板载具吸附面贴合；所述的基板载具面积大于目标载片面积，所述的通孔分布在目标载片与基板载具的接触面内；所述的基板载具为圆形片，所述的目标载片为方形片；所述的基板载具为直径199.7mm、厚度0.7mm的圆形玻璃片，所述目标载片与基板载具材质相同。
涂胶显影吸盘

[发明专利]基板处理方法和基板处理装置-CN200680009019.6无效
发明人：高槻浩一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-07-28 - 公布日： 2008-03-19 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理方法，在基板处理装置的处理室内，将被处理基板载置在载置台上，一边利用加热单元通过载置台将被处理基板加热至700℃以上的处理温度，一边对被处理基板进行处理，在该基板处理方法中，将被处理基板搬入到处理室中，在将其载置在载置台上的状态下进行第一预加热，直至被处理基板到达规定温度，接着，使载置台的基板支撑销上升，在将被处理基板保持在该基板支撑销上的状态下进行第二预加热，此后，使基板支撑销下降，将被处理基板载置在载置台上
处理方法装置

[发明专利]基板输送装置及基板输送方法-CN201110025022.X有效
发明人：大塚庆崇;宫崎文宏;中满孝志 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-01-21 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供基板输送装置及基板输送方法，在以张的形式1张1张地水平输送被处理基板的基板处理装置中缩短了从基板搬入到输送开始的生产节拍时间并提高了生产率。该基板输送装置具有：悬浮用载物台，其使被处理基板悬浮；一对导轨，其平行配置在悬浮用载物台的左右侧方；多个基板载持件，其能分别沿着一对导轨移动，能从下方吸附保持基板的边缘部；对准部件，其相对于被搬入到悬浮用载物台的基板搬入位置的基板从待机位置到规定位置自由进退，与基板接触而将该基板配置在规定位置；基板支承部件，其在悬浮用载物台的基板搬入位置处从该基板的下方支承被对准部件配置在规定位置的基板；控制部，其控制基板载持件、对准部件及基板支承部件的动作。
输送装置方法

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