“基板载台”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2179824个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]覆晶载板的锡球凸块的回焊与整平方法及其回焊整平设备-CN201210142053.8有效
发明人：费耀祺 -专利权人：鸿骐新技股份有限公司
申请日： 2012-05-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明提供一种覆晶载板的锡球凸块的回焊与整平方法，包括下列步骤：提供一基板载台于一容置腔体内，将具有多个锡球凸块的覆晶载板置于该基板载台上，提供一具平坦底面的压合头座于基板载台上方，提供一盖体盖合该容置腔体以形成一密闭腔室并灌入氮气，然后抽取真空；加热基板载台以使锡球凸块到达熔点，并加热压合头座到接近锡球凸块的熔点；向下移动压合头座使的接触覆晶载板上的锡球凸块达一预定的时间，使些锡球凸块的顶缘呈平面状且呈共平面，降低压合头座的温度
覆晶载板锡球凸块平方及其回焊整平设备

[发明专利]基板载置台的温度控制方法及温度控制系统-CN201010501408.9无效
发明人：佐佐木康晴 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-09-29 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明提供一种基板载置台的温度控制方法及温度控制系统。该基板载置台的温度控制方法及温度控制系统能够迅速地使基板的温度上升，并且能够减少热能损失。
基板载置台温度控制方法控制系统

[发明专利]高精密基板研磨系统-CN202310208966.3在审
发明人：梁起赫;禹相政 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：根据一个实施例的基板研磨装置，可包括：台板，其用于安放研磨垫，并且可旋转；基板载体，其抓握基板，并且可在台板的上侧旋转；红外线传感器，其位于台板的内部，并对基板的温度进行测量；以及控制部，其利用红外线传感器的测量值来判断基板的研磨状态
精密研磨系统

[发明专利]基板载置方法、电子设备的制造方法及基板载置装置-CN202111098152.6有效
发明人：石井博;佐藤智之;铃木健太郎 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供一种基板载置方法、对准方法、成膜方法、电子设备的制造方法及基板载置装置，不仅能够使基板和掩模良好地紧贴，而且能够使基板稳定地移动，并且能够防止载置到掩模上时的基板的位置偏移。具有将基板(1)在用按压工具(8)推压到基板保持体(3)的状态下载置到掩模(2)上的基板载置工序，关于该基板载置工序中的通过按压工具(8)将基板(1)推压到基板保持体(3)，至少在基板(1)和掩模(2)的接触开始时，以按压工具(8)抵接到基板(1)的按压力进行推压，在所述基板载置工序之后，通过按压工具(8)，以比所述接触开始时强的按压力将基板(1)推压到基板保持体(3)。
基板载置方法电子设备制造装置

[发明专利]基板处理装置、半导体器件的制造方法以及记录介质-CN201780093745.9有效
发明人：室林正季;原田幸一郎;井川博登;吉野晃生;中山雅则 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2017-09-13 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/316 文献下载
摘要：在利用了等离子体的基板处理装置中，抑制因构成处理室的处理容器的温度而产生的处理速率的下降，抑制每个被处理基板的处理速率的不均等。提供一种基板处理装置，该基板处理装置具备：形成处理基板的处理室的至少一部分的处理容器；等离子体生成部，其具有以卷绕在处理容器的外周的方式设置的线圈、以及向线圈供给高频电力的高频电源；基板载置台，其在处理室内，与线圈的下端相比设在下方；设于基板载置台的加热器；以及温度传感器，其对处理容器的与线圈的上端相比位于上方的部分的温度进行测定。
处理装置半导体器件制造方法以及记录介质

[实用新型]涂胶显影机基板固定工作片优化结构-CN201921841524.8有效
发明人：丁宇能;葛文志;陈银培;邵铭;杨巨椽;朱毅;翁钦盛 -专利权人：杭州美迪凯光电科技股份有限公司
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机基板固定工作片优化结构，包括固定在涂胶显影机上的基板载具，还包括至少一片工作片，所述的工作片均匀设于基板载具上，所述工作片底面与基板载具表面之间设有贴附层，所述工作片与基板载具通过贴附层固定；所述的基板载具为圆形片，所述的工作片为方形片或圆形片；所述的贴附层采用涂胶工艺稀释剂。
涂胶显影机基板固定工作优化结构

[发明专利]基板载具-CN201510526161.9在审
发明人：吴世民;江信宽 -专利权人：英属开曼群岛商精曜有限公司
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种基板载具，用以承载具有双面镀膜的至少一基板。基板载具包括至少一承载体用以承载基板，其中承载体具有至少一倾斜面，当基板载具承载基板时，基板的至少部分的侧边接触倾斜面，且基板与倾斜面之间具有一为锐角的第一夹角。
基板载具

[发明专利]物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法-CN201710587245.2有效
发明人：青木保夫 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-08-07 - 公布日： 2020-05-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：将载置于基板载台装置(20)上的基板(P1)交换成其他基板(P2)，其包含：使保持有基板(P1)的基板载台装置(20)位于既定的物体交换位置的动作；使基板(P1)悬垂支撑于设在物体交换位置的悬垂支撑装置(50)的动作；使悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)从基板载台装置(20)离开的动作；将基板(P2)插入悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)与基板载台装置(20)之间而将该基板(P2)移交至基板载台装置(20)的动作；以及通过使基板(P1)相对悬垂支撑装置(50)移动以将基板(P1)从物体交换位置搬出的动作。
物体交换方法系统曝光装置平面显示器制造组件

[发明专利]物体交换方法、物体交换系统、曝光装置、平面显示器的制造方法、及组件制造方法-CN201380049087.5有效
发明人：青木保夫 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2013-08-07 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：将载置于基板载台装置(20)上的基板(P1)交换成其他基板(P2)，其包含使保持有基板(P1)的基板载台装置(20)位于既定的物体交换位置的动作；使基板(P1)悬垂支撑于设在物体交换位置的悬垂支撑装置(50)的动作；使悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)从基板载台装置(20)离开的动作；将基板(P2)插入悬垂支撑于悬垂支撑装置(50)的基板(P1)与基板载台装置(20)之间而将该基板(P2)移交至基板载台装置(20)的动作；以及通过使基板(P1)相对悬垂支撑装置(50)移动以将基板(P1)从物体交换位置搬出的动作。
物体交换方法系统曝光装置平面显示器制造组件

[实用新型]一种玻璃基板载台-CN201921693817.6有效
发明人：丁启民 -专利权人：南京邦舜精密机械科技有限公司
申请日： 2019-10-11 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种玻璃基板载台，包括机箱，机箱的顶部设置有顶板，顶板的一侧设置有机械臂固定板，机械臂固定板的顶部设置有机械臂，机械臂的底部设置有加工器具和机械爪，机箱的正面设置有进料口，进料口的一侧设置有传送带控制机箱的正面设置有显示面板和控制面板，显示面板的正面设置有显示屏和工作指示灯，控制面板的正面设置有电源开关和控制开关，控制机箱的一侧设置有转子，转子的一侧设置有电机，电机的一侧设置有电机散热孔，机箱的一侧设置有通气孔，该种玻璃基板载台利用其强大的固定载板、移动载板和起模顶杆，实现了玻璃基板载台快速加工生产玻璃基板的目的。
一种玻璃基板载台

[发明专利]一种可移动式掩模载置台-CN201611056005.1有效
发明人：郑传志;贾富强;张鹏飞;刘甲甲 -专利权人：南京华东电子信息科技股份有限公司
申请日： 2016-11-23 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了可移动式掩模载置台，包括掩模架、掩膜夹具、掩模销、基板载置台、感应掩模板尺寸大小的感应器和报警器，所述的掩模架通过扭力螺丝可移动地固定在掩模板载置台上，感应器设置在掩模架上。
一种移动式掩模载置台

[发明专利]一种Mini/Micro LED芯片气动巨量转移装置-CN202210631736.3在审
发明人：刘强;徐杰;俞建荣;赵甜甜;袁野;李晶;桑建;王子羲 -专利权人：北京石油化工学院;北京海炬电子科技有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种Mini/Micro LED芯片气动巨量转移装置，主要由芯片载台系统、基板载台系统和气动视觉系统组成，芯片载台系统主要包括：大理石底座、支座、外导轨、直线电机、芯片直线移动组件、纵向光栅尺、纵向光栅尺读数头、芯片旋转调节组件和芯片载板；基板载台系统主要包括：下光栅尺、下光栅尺读数头、内导轨、内电机、基板纵向移动组件和基板横向移动组件；气动视觉系统主要包括：支撑梁、上导轨、上直线电机、上横向移动组件本发明采用气动方式进行巨量转移，具有转移效率高、精度高及良率高，且不损伤基板和芯片，不污染工作环境，符合绿色生产安全理念。
一种 mini micro led 芯片气动巨量转移装置

[发明专利]可堆叠基板载送装置-CN201180010288.5无效
发明人：卢茨·莱伯斯托克 -专利权人：动力微系统公司
申请日： 2011-02-17 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：在一个实施例中，本发明公开了一种用于可伸缩储存、传输或处理多个基板的可堆叠基板载送装置。本基板载送装置可以通过连接机构并排地堆叠，形成具有双倍、三倍或多倍容量的一体式载送装置。连接机构包括锁定机构，该锁定用于将基板载送装置固定在一起，通过使两个基板载送装置配合以及两个基板载送装置的附加的旋转或平移动作而接合。代替地，锁定机构可以通过按压两个基板载送装置靠着彼此，使用摩擦以保持载送装置在一起而接合。也可以使用其它的锁定机构，诸如钩或闩锁。
堆叠基板载送装置

[发明专利]基板上下料装置和电化学沉积设备-CN202111260062.2在审
发明人：闫俊伟;袁广才;孙少东;王成飞;董士豪;张国才 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种基板上下料装置和电化学沉积设备，所述基板上下料装置用于在基板载具上装卸基板，所述装置包括：支撑架，用于支撑基板载具的承载板；推动结构，设置在支撑架上，推动结构包括多个推动单元，多个推动单元中的每个用于固定基板载具的盖板，并沿基板载具的厚度方向移动盖板，使盖板与承载板接触或分离，多个推动单元对盖板的推动互不影响。
上下装置电化学沉积设备

[发明专利]基板热处理装置-CN201280066626.1有效
发明人：真下香;柴垣真果 -专利权人：佳能安内华股份有限公司
申请日： 2012-09-24 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： H01L21/26 文献下载
摘要：一种基板热处理装置，其在真空处理室内加热处理基板，具有：C字形的基座，设置有能够载置基板的第一基板载置部和开口部；基板平台，设置有载置基板的第二基板载置部和支承基座的基座支承部；加热构件，在基板平台的上方且在与第二基板载置部相向的位置具有散热面，利用来自散热面的热量加热被载置在第二基板载置部上的基板；移动构件，以使第二基板载置部相对于散热面成为规定的分离位置的方式使基板平台移动；提升部，在基板接受位置与基座的下表面抵接并在从基座支承部分离的状态下支承该基座基板被载置在第二基板载置部，当第二基板载置部相对于散热面位于规定的分离位置时，基座与补足部一起形成环状，并包围基板。
热处理装置