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[发明专利]等离子体腔室的传输线RF施加器-CN201911183526.7有效
发明人： J·库德拉;T·塔纳卡;C·A·索伦森;S·安瓦尔;J·M·怀特;R·I·欣德;S-M·赵;D·D·特鲁翁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：一种传输线RF施加器装置和用于将RF功率耦接至等离子体腔室中的等离子体的方法。装置包括内导体和一个或两个外导体。所述一个或两个外导体的每个外导体的主要部分包括多个孔，所述多个孔在外导体的内表面和外表面之间延伸。
等离子体腔传输线 rf 施加

[发明专利]电连接器-CN201710186187.2有效
发明人： G·P·安德伍德;J·M·怀特;M·T·里德 -专利权人： IFPL集团有限公司
申请日： 2017-02-06 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01R13/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种电连接器(10)，其包括为配对电连接器提供电连接的两个电触头(8)，电触头设置为用于与配对电连接器的配对电触头对接，并且所述电触头设置为用于当附接至连接器时磁性地保持至配对电连接器、以及设置为用于提供与配对电连接器的电连接。
连接器

[发明专利]外科引导装置及其插入系统-CN202110199382.5在审
发明人： W·D·盖斯特;J·M·怀特 -专利权人：完整植入物有限公司
申请日： 2021-02-22 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： A61B17/70 文献下载
摘要：简要地，本发明涉及一种用于通过将引导线插入骨中来形成先导孔的外科工具和方法。更特别地，所述装置包括空心手柄和用于将椎弓根螺钉旋转到骨中的驱动工具。所述手柄的后部部分包括适合于夹持引导线的滑动件组件。所述滑动件组件包括用户可调整止挡件以控制所述引导线的滑动移动。所述滑动件组件的后表面被构造来用锤子或类似装置撞击，其中所述止挡件阻止所述引导线比期望更远地穿透所述骨。若期望缩回所述引导线，则包括螺钉套以允许精确地缩回所述引导线。
外科引导装置及其插入系统

[发明专利]用于封装有机发光二极管的方法-CN201811208804.5有效
发明人： D·哈斯;J·M·怀特;B-S·L·克瓦克;崔寿永;J·J·陈;J·M·迭戈兹-坎波 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-02-03 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：提供用于封装设置于基板上的OLED结构的方法，所述方法使用柔软/聚合物掩模技术。与传统的硬掩模的图案化技术相比，所述柔软/聚合物掩模技术可有效地提供简单且低成本的OLED封装方法。所述柔软/聚合物掩模技术可使用单一聚合物掩模来低成本地完成整个封装工艺，且没有当使用常规金属掩模时所存在的对准问题。当并非使用柔软/聚合物掩模时，封装层可被毯覆沉积而后进行激光烧蚀，使得在封装工艺期间不使用掩模。
用于封装有机发光二极管方法

[发明专利]生产生物柴油、柴油范围的烃和由其获得的产品的方法和装置-CN201980044644.1在审
发明人： J·M·怀特;大卫·A·斯莱德;M·R·哈弗尔利;拉明·阿布哈里;C·J·埃伦 -专利权人：可更新能源集团
申请日： 2019-05-01 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： A23D9/02 文献下载
摘要：由含有不皂化材料的可再生原料(例如脂肪、油和油脂)产生粗生物柴油的方法；通过纯化工艺纯化粗生物柴油；回收纯化的生物柴油馏出物流和挥发性较小的生物柴油残余物流；并从生物柴油残留物中进一步回收有价值的化学品。具体而言，本发明涉及浓缩生物柴油生产的生物柴油残余产物中有价值的化学品，以及随后回收这些有价值的化学品。该方法还可以包括使用加氢脱氧将生物柴油残余物转化为柴油范围的烃，并随后纯化由此产生的烃馏分。
生产生物柴油范围获得产品方法装置

[发明专利]利用海尔贝克阵列对掩模的磁性夹持-CN201580037013.9有效
发明人： T·瓦塞斯;王作乾;J·M·怀特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-05-05 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供了一种用于将掩模夹持至基板的处理系统。所述处理系统包括工艺腔室以及设置在所述工艺腔室中的磁性夹持件。所述磁性夹持件包括夹持表面、一个或多个旋转机构以及多个磁体，所述多个磁体相对于夹持表面在一个或多个海尔贝克阵列中取向。每一个磁体都具有在四个方向中的一个方向上取向的北极。所述一个或多个旋转机构经耦接以改变所述磁体中的至少一个磁体的所述北极的方向。
利用海尔贝克阵列磁性夹持

[发明专利]等离子体腔室的传输线RF施加器-CN201711070889.0有效
发明人： J·库德拉;T·塔纳卡;C·A·索伦森;S·安瓦尔;J·M·怀特;R·I·欣德;S-M·赵;D·D·特鲁翁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种传输线RF施加器装置和用于将RF功率耦接至等离子体腔室中的等离子体的方法。装置包括内导体和一个或两个外导体。所述一个或两个外导体的每个外导体的主要部分包括多个孔，所述多个孔在外导体的内表面和外表面之间延伸。
等离子体腔传输线 rf 施加

[发明专利]等离子体腔室的传输线RF施加器-CN201711072744.4有效
发明人： J·库德拉;T·塔纳卡;C·A·索伦森;S·安瓦尔;J·M·怀特;R·I·欣德;S-M·赵;D·D·特鲁翁 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：一种传输线RF施加器装置和用于将RF功率耦接至等离子体腔室中的等离子体的方法。装置包括内导体和一个或两个外导体。所述一个或两个外导体的每个外导体的主要部分包括多个孔，所述多个孔在外导体的内表面和外表面之间延伸。
等离子体腔传输线 rf 施加

[发明专利]具有一体式静电夹盘的基板载体-CN201480051682.7有效
发明人： J·M·怀特;Z·王 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-09-18 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：一种适用于在处理系统中使用的基板载体包括电极组件和支撑底座。电极组件配置成生成静电夹持力以将基板固定至基板载体。支撑底座具有形成在其中的加热/冷却槽。电极组件和支撑底座系形成单一主体，所述单一主体配置成在处理系统内传输。快断器耦接至主体，并且配置成当主体从热调节介质的源解除耦接时来将热调节介质截留在加热/冷却槽中。
具有体式静电载体

[发明专利]基板载体系统及使用它的方法-CN201580017984.7有效
发明人：王作乾;J·M·怀特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-03-20 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：提供一种基板载体系统。该基板载体系统包括基板载体主体、电极组件、支撑基底及控制器。该基板载体主体具有基板支撑表面，且电极组件设置于该基板载体主体中。该电极组件包括多个横向间隔开的电极组。每个电极组包括与第二电极交错的第一电极。该支撑基底支撑该基板载体主体。该控制器被配置成：从该多个电极组中选择电极组的第一群和电极组的第二群；以第一夹持模式操作电极组的该第一群；同时以第二夹持模式操作电极组的该第二群；以及选择性地将至少一个电极组从该第一群切换至该第二群。
载体系统使用方法

[发明专利]具有保护覆盖物的基板载体系统-CN201580024181.4有效
发明人：王作乾;J·M·怀特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本文中公开的实施例一般涉及一种适于夹紧基板及可选地掩模的基板载体系统，该基板载体系统具有可移除的保护层的堆叠。在一个实施例中，提供基板载体系统，该基板载体系统包括基板载体主体，该基板载体主体具有设置于该基板载体主体的外部安装表面上的保护层堆叠。该基板载体主体被配置成被传输进出处理腔室。该保护层堆叠具有多个可移除的保护层，该多个可移除的保护层可视需要被移除，以暴露“新的”表面，以用于在其上夹持基板。
具有保护覆盖载体系统

[发明专利]允许低压工具替换的原子层沉积处理腔室-CN201580005071.3有效
发明人：栗田真一;J·库德拉;J·M·怀特;D·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-01-20 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本公开涉及用于器件制造的原子层沉积(ALD)处理腔室的方法和设备，以及用于替换所述设备的气体分布板和掩模的方法。所述ALD处理腔室具有狭缝阀，配置成允许气体分布板与掩模的移除与替换。所述ALD处理腔室还可具有致动器和基板支撑组件，所述致动器可操作以往返于工艺位置移动所述气体分布板，所述基板支撑组件可操作以往返于工艺位置移动所述掩模。
允许低压工具替换原子沉积处理

[发明专利]具有一体式静电夹盘的基板载体-CN201480051500.6有效
发明人： J·M·怀特;Z·王 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-09-18 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：一种适用于在处理系统中使用的基板载体包括电极组件和支撑底座。电极组件配置成生成静电夹持力以将基板固定至基板载体。支撑底座具有形成在其中的加热/冷却槽。电极组件和支撑底座形成单一主体，所述单一主体配置成在处理系统内传输。快断器耦接至主体，并且配置成当主体从热调节介质的源解除耦接时来将热调节介质陷捕在加热/冷却槽中。
具有体式静电载体

[发明专利]允许低压力工具替换的薄膜封装处理系统和工艺配件-CN201580005179.2有效
发明人：栗田真一;J·库德拉;J·M·怀特;D·哈斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-01-20 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本公开涉及用于薄膜封装(TFE)的方法和设备。提供一种用于TFE的工艺配件。所述工艺配件是包括窗口、平行于窗口的掩模和框架的组件。所述工艺配件进一步包括用于使工艺气体流进所述窗口与所述掩模之间的容积的入口通道、用于将流出物气体泵送离开所述窗口与所述掩模之间的容积的出口通道，以及用于禁止工艺气体与流出物气体流动到不期望的位置的密封件。提供一种执行TFE的方法，所述方法包括将基板放置在上述工艺配件的掩模下方、使工艺气体流入所述工艺配件内，以及借助处理腔室内的能量源将工艺气体中的一些气体激活成反应物种。
工艺配件掩模工艺气体薄膜封装流出物方法和设备工艺气体流出口通道处理系统反应物种基板放置气体泵送气体激活气体流动入口通道处理腔低压力密封件能量源平行替换室内期望

[发明专利]具有电极处RF匹配的大面积等离子体处理腔室-CN201080051480.4有效
发明人： C·索伦森;J·M·怀特;J·库德拉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2010-11-17 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：提供一种具有电极处RF匹配的等离子体处理系统以及利用该系统来处理基板的方法。一实施例中，等离子体处理系统包括腔室主体、基板支撑件、电极、盖组件与RF调谐元件。基板支撑件置于界定于腔室主体中的处理空间中。电极置于基板支撑件上方与盖组件的盖件下方。RF调谐元件置于盖件与电极之间且耦接至电极。
具有电极 rf 匹配大面积等离子体处理

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