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[发明专利]缺陷修复装置、缺陷修复方法、程序及计算机可读记录介质-CN200780023473.1无效
发明人：中岛吉纪;的场宏次;田村寿宏 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2007-04-18 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种可有效地修复缺陷的缺陷修复装置(1)，该缺陷修复装置(1)具备：固定所传送基板的基板载置台(3)；从垂直于由基板载置台(3)固定的基板的方向来看、沿与基板的传送方向不同的方向配置并对基板上散在的缺陷喷射液滴的多个液滴喷射单元(11)；安装多个液滴喷射单元(11)的喷头架单元(7)；以及使喷头架单元(7)沿着基板的传送方向相对等速移动的台架滑动机构(4)，各个液滴喷射单元(11)根据表示基板上散在的多个缺陷的位置的数据，在喷头架单元(7)沿基板的传送方向移动期间，沿与传送方向不同的方向相互独立移动。
缺陷修复装置方法程序计算机可读记录介质

[发明专利]基板台、包括该基板台的溅射装置以及成膜方法-CN200980102039.1有效
发明人：菊地幸男;沈国华 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-01-15 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种基板台，被配置在真空容器内并具有载置基板的基板载置面，包括对所述基板施加磁场的第一磁场施加单元，所述第一磁场施加单元内部的磁化方向与所述基板的厚度方向一致。
基板台包括溅射装置以及方法

[发明专利]打开装置-CN201980043525.4在审
发明人： T·朔贝尔;B·拉赫巴赫;C·沃汉卡;Y·芬纳;G·多维德;J·菲德斯 -专利权人：村田机械株式会社
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种打开装置，其容纳并打开在竖直方向上堆叠的基板载体的基板载体堆叠体，该打开装置包括运动机构，在打开操作中，该运动机构使所有基板载体或基板载体子组沿着竖直轴线相对于彼此移动，以呈未堆叠状态，并定位在打开装置内限定的竖直打开位置，且在未堆叠状态下竖直相邻的基板载体之间具有竖直距离。在关闭操作中，打开装置还使处于未堆叠状态的基板载体相对于彼此沿竖直轴线相对移动，以恢复堆叠状态。
打开装置

[发明专利]成膜装置-CN201680082592.3有效
发明人：织田容征;平松孝浩 -专利权人：东芝三菱电机产业系统株式会社
申请日： 2016-04-26 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供将装置成本抑制为最低限，且有效地抑制在成膜对象的基板产生翘曲、破裂的现象且能够发挥高处理能力的成膜装置。并且，本发明具有基板堆叠工作台(3A以及3B)，其分别载置基板(10)，并具有对载置的基板进行吸附的吸附机构(31)以及对载置的基板进行加热的加热机构(32)。利用基板移载机构(8)对基板堆叠工作台(3A以及3B)执行以速度(V0)依次穿过薄膜形成喷嘴(1)的喷射区域(R1)内的搬运动作。上述搬运动作包括巡回搬运处理，该巡回搬运处理将基板堆叠工作台(3A以及3B)中的、作为所载置的全部基板(10)穿过了喷射区域(R1)的一方基板载置工作台(3)，以巡回速度向另一方基板载置工作台(3)的后方巡回配置
装置

[发明专利]涂敷装置-CN200510003475.7有效
发明人：高濑真治;山口和伸;楫间淳生;谷本恒夫;山本夕记 -专利权人：东京応化工业株式会社;龙云株式会社
申请日： 2005-11-29 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种在空间上是有利的，可连续地将涂敷液涂敷在玻璃基板上的涂敷装置。在基台(1)上设置有一对平行导轨(2、2)，在该一对平行导轨(2、2)之间的中央配置有基板载置工作台(3)，第1及第2门型移动机构(4、5)以平面上观察与上所述导轨正交的基板载置工作台的宽度方向中心线为基准
装置

[发明专利]具有控制基板载置部件的冰箱以及控制基板载置部件-CN201811030405.4在审
发明人：关根隆人;冈田福太郎 -专利权人：日立空调·家用电器株式会社
申请日： 2018-09-05 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： F25D29/00 文献下载
摘要：本发明提供能够抑制向冰箱的误组装的控制基板载置部件以及具有该控制基板载置部件的冰箱。一种控制基板载置部件，其能够载置控制基板，控制基板载置部件具有：互相接近的两个第一侧孔及第二侧孔；以及作为构造物的误组装通知部。
控制基板载置部件冰箱侧孔组装构造物通知部载置

[实用新型]一种基板上下料装置及电沉积设备-CN202021649851.6有效
发明人：闫俊伟;袁广才;孙少东;王成飞;董士豪;齐琪;张国才;曹占锋 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本公开提供一种基板上下料装置及电沉积设备，该基板上下料装置用于在基板载具上装卸待处理基板，待处理基板包括待工艺处理面及背面，待处理基板承载于基板载具时，背面面向基板载具的承载面固定；基板上下料装置包括：基板承载部，包括面向基板载具的承载面设置的基板承载面，基板承载面上设有非接触式吸附部件，用于吸附待处理基板的待工艺处理面，以固定待处理基板；支架，基板承载部设置在支架上，并在支架上沿第一方向往复运动，以靠近或远离基板载具，第一方向垂直于基板承载面。本公开提供的基板上下料装置及电沉积设备能够实现在基板载具上自动装卸待处理基板，且操作方便，不会对待工艺处理面膜层造成损伤，可提升产能。
一种上下装置沉积设备

[实用新型]一种复合式塑封装置-CN202223357284.9有效
发明人：张志华;林建涛;尹志强 -专利权人：东莞忆联信息系统有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B29C33/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复合式塑封装置，包括第一模具、第二模具、基板以及固定组件；第一模具包括成型腔，成型腔为开口腔，第二模具包括基板载板，第一模具与第二模具对接，成型腔的开口与基板载板对接，成型腔与基板载板围合形成塑封空间，成型腔用于塑封料填充成型，基板载板用于承托基板；固定组件包括压板，基板以及压板设置于塑封空间，塑封料与基板的上表面部分接触，压板与基板载板相连接，压板的下表面与基板的上表面其余部分接触，压板将基板压合于基板载板的上表面本案公开的塑封装置通过在设置固定组件将腔体内的基板压合固定，防止基板在塑封料的粘接带动作用下发生翘曲或位移，解决塑封产品因粘连变形损坏的问题。
一种复合塑封装置

[发明专利]基板搬出装置-CN201811430289.5在审
发明人：西尾仁孝;高松生芳;上野勉 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C03B33/03 文献下载
摘要：提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。基板搬出装置(1)具有：基板载置部(2)，其载置有在规定方向上被分割的基板；驱动部(400)，其使基板载置部(2)在水平位置与从水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部(300)，其按照每个分割单元搬出基板另外，基板搬出装置(1)的特征在于，其具有控制部(40)，控制部(40)在通过搬出部(300)搬出基板(F)的全部分割单元后，通过驱动部(400)使基板载置部在倾斜位置倾斜，使基板(F)的端材(R)从基板载置部
基板基板载置部搬出装置分割单元倾斜位置搬出部搬出端材驱动落下去除载置分割移动

[发明专利]溅镀机-CN201210229052.7无效
发明人：黄宇庆 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2012-07-02 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种溅镀机，该溅镀机适于承载一玻璃基板以对玻璃基板进行溅镀制程。此溅镀机包括一溅镀腔室、一阴极、一基板载台以及多个固定结构。溅镀腔室具有一开口。基板载台包括一底座以及一承载盘。底座覆盖溅镀腔室的开口。承载盘位于底座与阴极之间。承载盘具有一粗糙面，此粗糙面面向阴极，并且粗糙面的中心线平均粗糙度介于4微米至8微米之间。固定结构自粗糙面突出，用以将玻璃基板固定于粗糙面与阴极之间。
溅镀机

[发明专利]基板处理装置、半导体器件的制造方法及计算机可读的记录介质-CN202111079267.0在审
发明人：大桥直史;天野富大;高野智 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供基板处理装置、半导体器件的制造方法及计算机可读的记录介质，为一种抑制基板处理工序中处理室内的气体向移载室内流入、移载室内的气体向处理室内流入的技术。具有：基板载置部，其具有载置基板的基板载置面；处理容器，其形成收纳基板载置部、且对载置于基板载置面的基板进行处理的处理室；气体供给部，其向处理室供给处理气体；第1壁部，其配置在基板载置部的外周侧；第2壁部，其与第1壁部相比配置在基板载置部的更外周侧的位置；排气流路，其形成在第1壁部与第2壁部之间，用于排出处理室内的气体；和屏蔽板，其构成为配置在基板载置部的下方，且至少延伸至第2壁部的下端的下方侧。
处理装置半导体器件制造方法计算机可读记录介质

[发明专利]基板的异常载置状态的检测方法、基板处理方法、计算机可读取的存储介质以及基板处理装置-CN200980112315.2有效
发明人：茅野孝;五味晓志;宫下晃一;长泽稔;江田淑惠 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2009-09-25 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：基板(W)的异常载置状态的检测方法，用于对在设有加热器(6a、6b)的基板载置台(3)上载置的基板(W)加热的同时进行加热时，检测该基板(W)的载置状态的异常。上述基板(W)的异常载置状态的检测方法，包括：在处理一张基板(W)的期间，根据向上述加热器(6a、6b)供给的电力输出的信息或上述基板载置台(3)的计测温度的信息，检测上述电力输出或上述计测温度的最大值及最小值或上述电力输出或上述计测温度的累计值的工序；和根据检测出的上述最大值及上述最小值或检测出的上述累计值判定上述基板的异常载置状态的工序。
异常状态检测方法处理计算机读取存储介质以及装置

[实用新型]基板传送装置-CN202022841195.6有效
发明人：王成飞;闫俊伟;袁广才;孙少东;张国才;董士豪;董鹏程 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板传送装置，包括水平设置的横梁，以及纵向设置于所述横梁的两端的支撑梁，所述横梁上悬挂有基板载具，所述基板载具位于两个所述支撑梁之间，且所述基板载具与两个所述支撑梁所在的平面平行，所述基板载具包括沿水平方向相对设置的两个侧壁，每个所述支撑梁上设置有辅助夹持结构，所述辅助夹持结构用于在所述基板传送装置运动过程中夹持所述基板载具的所述侧壁上。
传送装置

[发明专利]各向异性导电带的贴装装置以及电气设备的制造方法-CN200710136687.1有效
发明人：植松义尊;武者整 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2007-07-20 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在沿垂直于层叠带(24)的输送方向的方向移动自如的Y轴载台(28)上，设置具有切断器(30)的切断器组件(29)和保持基板(35)的基板载台(34)，切断器组件(29)和基板载台(34)在垂直于层叠带(24)的输送方向的方向上隔开间隔，而且配置成，切断器(30)的刃部在层叠带(24)的输送方向上的位置、与基板(35)中待贴装各向异性导电带的区域在层叠带(24)的输送方向上的上游侧端部相一致。
各向异性导电装置以及电气设备制造方法

[发明专利]半导体器件的制造方法、基板处理装置以及记录介质-CN202110614176.6在审
发明人：镰仓司 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种在配置多个基板载置面的类型的装置中能够应对每个基板载置面的环境的变化的技术。为了解决上述课题，提供一种基板处理装置，其具备：处理基板的处理容器；向所述处理容器供给气体的气体供给部；在所述处理容器内配置有多个的基板载置面；具有与所述基板载置面对应的多个分配管的气体供给部；检测所述分配管的气体供给量或者与所述基板载置面对应的部件的信息的检测部；基于检测出的所述信息判断状态等级的判断部；根据所述状态等级选择作为所述基板的移动目的地的所述基板载置面的选择部；以及控制各构成的控制部。
半导体器件制造方法处理装置以及记录介质