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[发明专利]三维形貌检测装置-CN200810180153.3有效
发明人：王伟诚;郭世炫;陈金亮 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2008-12-01 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种三维形貌检测装置，其包含至少二光学检测装置及一倾斜角度调整机构。该倾斜角度调整机构将至少二光学检测装置架设其上，以调整该光学检测装置的倾斜角度。当至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。将该至少二光学检测装置撷取影像数据进行影像重建后，即可得到待测物的三维形貌。
三维形貌检测装置

[发明专利]一种融合声学与光学方法的水下高精度测量和缺陷检测方法-CN202111006002.8有效
发明人：邵新星;谷柳凝;侯士通;吴刚;何小元 -专利权人：东南大学
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供了一种融合声学与光学方法的水下高精度测量和缺陷检测方法，可得到水下结构的多尺度声光融合三维形貌点云，以更好地检测水下结构的损伤、缺陷等信息。该方法主要包括如下步骤：(1)在水下测量平台上安装导航设备、光学三维形貌测量装置、三维声呐测量装置。(2)利用光学三维形貌测量装置得到被测面整体光学三维形貌点云数据。(3)利用三维声呐获取水下被测面整体声学三维形貌点云数据。(4)将被测面整体的声学、光学三维形貌点云数据进行融合，实现水下结构三维形貌的高精度测量。(5)基于声学、光学融合三维形貌点云数据，利用深度学习算法实现水下缺陷自动定位。
一种融合声学光学方法水下高精度测量缺陷检测

[发明专利]一种印刷线路板的检测方法及检测装置-CN201710184347.X在审
发明人：张青川;张弦;苏勇;徐小海 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2017-03-24 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明公开了一种印刷线路板的检测方法及检测装置，包括基于三维数字图像相关法获取印刷线路板的三维形貌参数；根据所述三维形貌参数对所述印刷线路板进行缺陷检测。相对现有的AOI检测方法，本发明提供的技术方案可以精确的测量出印刷线路板的三维形貌，可以得到直观的三维云图及准确的三维形貌数据，进而解决了高度方向缺陷检测的问题；以及，相对现有的AXI检测方法，本发明提供的技术方案提高了检测速度，可满足印刷线路板的在线实时检测。
一种印刷线路板检测方法装置

[发明专利]一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置-CN202211454260.7有效
发明人：张效栋;朱琳琳;程威盛;刘现磊 -专利权人：三代光学科技(天津)有限公司;天津大学
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆检测领域，尤其涉及一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置，所述一种晶圆表面三维形貌高速测量方法包括：利用光学测量模块对应的光幕线投射至待测晶圆后，采集待测晶圆的表面反射光条数据解算得到与当前光幕线对应的XZ坐标值，利用所述XZ坐标值作为二维测量数据；采集待测晶圆不同回转角度的二维测量数据后得到当前回转半径的待测晶圆初始三维形貌信息，利用所述待测晶圆初始三维形貌信息基于圆柱坐标系转换后，进行拼接处理得到待测晶圆表面三维形貌信息，有效解决晶圆表面三维形貌高精度完整扫描测量难题，软硬件方面自动化集成度高，可实现离线晶圆表面三维形貌批量测量，也可以集成到产线实现在线晶圆表面三维形貌高速检测。
一种表面三维形貌高速测量方法装置

[发明专利]一种三维形貌测量仪-CN201910301563.7有效
发明人：尹建华;张跃飞;屠金磊;马晋遥;唐亮;王晋;石文彬 -专利权人：山东中科普锐检测技术有限公司
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维形貌测量仪，包括光学平台和设置于光学平台上的XY直线运动装置和设置有固定板的Z轴升降装置，XY直线运动装置用于带动样品放置单元在XY平面内做直线运动，Z轴升降装置用于带动三维形貌检测装置上下运动；样品放置单元包括由下至上依次设置的水平调整台、X/Y轴压电陶瓷和样品台；三维形貌检测装置包括与固定板连接的位置检测单元、激光发生单元和探测单元，激光发生单元发出的激光聚焦在探测单元中探测元件的背面，并从探测元件的背面反射到位置检测单元上；或者，三维形貌检测装置包括设置在固定板上的触针固定板和设置于触针固定板上的触针测量仪。本发明三维形貌测量仪结构简单，成本低，测量精度高。
固定板三维形貌检测装置三维形貌测量触针激光发生单元位置检测单元样品放置单元直线运动装置光学平台探测单元探测元件背面测量精度高固定板连接水平调整台激光聚焦上下运动压电陶瓷依次设置测量仪样品台反射

[发明专利]一种半导体凸点快速三维形貌扫描测试系统-CN201910771242.3在审
发明人：王成迁 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： G01B7/28 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体凸点快速三维形貌扫描测试系统，属于集成电路封装检测技术领域。所述半导体凸点快速三维形貌扫描测试系统包括施力装置和压电感应装置；所述施力装置用于吸住待测封装体并对其施加压力；所述压电感应装置位于所述封装体底部并与其接触，用于检测所述封装体的微凸点。本发明结构简单，可以实时给出微凸点三维形貌以及共面性相关数据，速度快并且精度高，适合半导体集成电路凸点三维形貌和共面性检测使用。
凸点三维形貌扫描测试系统封装体半导体压电感应装置三维形貌施力装置微凸点半导体集成电路集成电路封装检测技术领域共面性检测施加压力共面性吸住检测

[实用新型]一种用于半导体凸点三维形貌扫描的测试装置-CN201921356414.2有效
发明人：王成迁 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十八研究所
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01B7/28 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于半导体凸点三维形貌扫描的测试装置，属于集成电路封装检测技术领域。所述用于半导体凸点三维形貌扫描的测试装置包括施力装置和压电感应装置；所述施力装置用于吸住待测封装体并对其施加压力；所述压电感应装置位于所述封装体底部并与其接触，用于检测所述封装体的微凸点。本实用新型结构简单，可以实时给出微凸点三维形貌以及共面性相关数据，速度快并且精度高，适合半导体集成电路凸点三维形貌和共面性检测使用。
一种用于半导体三维形貌扫描测试装置

[发明专利]基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪-CN201610807821.5在审
发明人：徐观;袁静;苏建;陈熔;张立斌;潘洪达;刘玉梅;戴建国;单红梅;林慧英;李晓韬;吴广为;郑安琪;张馨元 -专利权人：吉林大学
申请日： 2016-09-07 - 公布日： 2016-12-14 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪，旨在解决采用三维直角坐标实现汽车形貌无运动约束检测问题。一种基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪，其特征在于，所述的基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪由长杆(2)、发光二极管(3)、标定立方体(4)、激光投线仪(5)、弹簧(6)、钢球(7)与摄像机系统提供了一种结构简单、操作简便、易于安装、成本较低、性能可靠的基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪。
基于三维直角坐标汽车形貌运动约束检测

[实用新型]基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪-CN201621041780.5有效
发明人：徐观;袁静;苏建;陈熔;张立斌;潘洪达;刘玉梅;戴建国;单红梅;林慧英;李晓韬;吴广为;郑安琪;张馨元 -专利权人：吉林大学
申请日： 2016-09-07 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪，旨在解决采用三维直角坐标实现汽车形貌无运动约束检测问题。一种基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪，其特征在于，所述的基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪由长杆(2)、发光二极管(3)、标定立方体(4)、激光投线仪(5)、弹簧(6)、钢球(7)与摄像机系统提供了一种结构简单、操作简便、易于安装、成本较低、性能可靠的基于三维直角坐标的汽车形貌无运动约束检测仪。
基于三维直角坐标汽车形貌运动约束检测

[发明专利]水声材料三维几何形貌检测方法及系统-CN202010601977.4有效
发明人：彭锋;尹铫;李超;杨婉雨;张秀娟;杨军;程晓斌;伍世桥 -专利权人：中国科学院声学研究所
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种水下变温变压模拟环境下水声材料三维几何形貌的检测方法和系统，基于CT扫描和重构技术，对置于一个变温变压容器内的水声材料样品进行CT断层扫描检测，然后对样品的CT断层扫描图像进行三维几何重构，即可准确得到相应工况下水声材料样品的三维几何形貌。基于本发明的检测方法还实现了一种水声材料静态体积压缩模量的检测方法，可准确测量材料在相应工况下的静态体积模量。本发明提出的检测方法实现了水声材料在水下变温变压模拟环境下的表观外形三维几何形貌、内部空腔三维几何形貌、内部微结构/掺杂材料三维几何形貌的直接测量，能为水声材料设计和性能评价提供具有十分重要的参考依据。
材料三维几何形貌检测方法系统

[发明专利]测量列车车轮表面三维形貌的方法及装置-CN201611208026.0在审
发明人：张渝;谭优;杨凯;彭建平;陈瑞 -专利权人：北京主导时代科技有限公司
申请日： 2016-12-23 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本申请公开一种测量列车车轮表面三维形貌的方法，包括获取标定板表面图像信息；依据所述标定板表面图像信息计算相位‑高度映射关系参数；获取被测车轮表面图像信息；根据所述被测车轮表面图像信息计算所述被测车轮表面各位置的实际相位差分布；依据所述被测车轮的实际相位差分布以及所述相位‑高度映射关系参数计算所述被测车轮表面各位置的实际高度分布；依据所述实际高度分布获得所述被测车轮的表面三维形貌。本申请还公开了一种测量列车车轮表面三维形貌的装置，测量列车车轮三维形貌的方法以及装置能够准确测量列车车轮三维形貌，通过列车车轮三维形貌检测其外形参数及表面缺陷。
测量列车车轮表面三维形貌方法装置

[发明专利]光学三维测量系统-CN202010255457.2在审
发明人：方仲平;吴友仁 -专利权人：元素光电智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了光学三维测量系统，专门用于高速在线自动检测半导体晶片和晶片封装连线的检查，本系统三维测量系统仅仅需要采集一幅图，就可以得到整个物体表面的三维形貌，因而，测量速度极快，特别适合于在线高速三维检测该测量系统也适用于检测其他各种物体精密零件的三维表面形貌，特别是其他三维测量系统所不能检测的不连续表面。
光学三维测量系统

[实用新型]光学三维测量系统-CN202020467621.1有效
发明人：方仲平;吴友仁 -专利权人：元素光电智能科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本实用新型公开了光学三维测量系统，专门用于高速在线自动检测半导体晶片和晶片封装连线的检查，本系统三维测量系统仅仅需要采集一幅图，就可以得到整个物体表面的三维形貌，因而，测量速度极快，特别适合于在线高速三维检测该测量系统也适用于检测其他各种物体精密零件的三维表面形貌，特别是其他三维测量系统所不能检测的不连续表面。
光学三维测量系统

[发明专利]一种路面三维检测方法-CN202110009509.2在审
发明人：刘洪辉;张洪伟;刘振正;赵鑫;刘伟;路斌;惠冰 -专利权人：长安大学;内蒙古自治区交通建设工程质量监督局
申请日： 2021-01-05 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种路面三维检测方法，其步骤包括获取路面的视频图像信息；获取路面的横向轮廓数据信息；根据获取的视频图像信息和横向轮廓数据信息，形成路面检测区域位置的横向轮廓的三维信息；根据提取的连续的三维信息形成整个的路面检测区域的三维纹理形貌，建立路面的三维成像模型。其通过自动获取路面的路面图像和横向轮廓数据计算出路面光条位置的三维信息，进而构建路面的连续三维纹理形貌，三维检测结构完整准确，检测效率高，准确得到路面的三维特征参数。
一种路面三维检测方法

[发明专利]基于单元切割和重构的裂纹尖端塑性区形貌金相检测方法-CN201811526321.X有效
发明人：杜伟;娄琦;李群;王鹏;池强;仝珂;李鹤林 -专利权人：中国石油天然气集团有限公司;中国石油天然气集团公司管材研究所
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于单元切割和重构的裂纹尖端塑性区形貌金相检测方法，对金属材料裂尖选区进行三维切割，分别将每个切割单元制备成金相观察样品，利用显微镜分析每个切割单元的组织形态，确定单个金相样品的塑性区边界，获得不同切割面的二维塑性区边界和形貌，最终进行三维重构获得裂尖塑性区完整形貌。本发明通过三维切割将复杂的三维空间简化为多个细分切割单元，利用常规的金相检测技术观察每个切割单元变形组织与未变形组织的界线，进而依次确定单个样品和切割面的塑性区边界，并通过三维重构获得裂尖塑性区的完整形貌弥补了现有技术只适用于材料表面塑性区检测的局限性，可填补材料裂尖塑性区三维形貌试验检测技术的空白。
基于单元切割裂纹尖端塑性形貌金相检测方法

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