专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种晶圆表面缺陷智能检测方法、装置-CN202310008991.7在审
  • 张效栋;朱琳琳;程威盛;刘现磊 - 天津大学
  • 2023-01-04 - 2023-05-30 - G01N21/95
  • 本发明公开了一种晶圆表面缺陷智能检测方法、装置,属于晶圆缺陷检测技术领域,检测方法包括:将晶圆片和晶圆视觉拍照模组分别安装在相应载体上;控制晶圆片或晶圆视觉拍照模组移动至第一检测起始相对位置;利用晶圆视觉拍照模组在检测一模式下对晶圆表面图像进行采集,包括在检测一模式的预设检测路径下逐路径点进行拍照;控制晶圆片或晶圆视觉拍照模组移动至第二检测起始相对位置;利用晶圆视觉拍照模组在检测二模式下对晶圆表面图像进行采集,包括在检测二模式的预设检测路径下逐路径点进行拍照;对检测一模式和检测二模式下得到的拍摄图像进行处理,生成检测结果。本发明通过高自由度的打光方式能够对晶圆表面多种缺陷完成准确高效的检测。
  • 一种表面缺陷智能检测方法装置
  • [发明专利]一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置-CN202211454260.7有效
  • 张效栋;朱琳琳;程威盛;刘现磊 - 三代光学科技(天津)有限公司;天津大学
  • 2022-11-21 - 2023-04-25 - G01B11/24
  • 本发明涉及晶圆检测领域,尤其涉及一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置,所述一种晶圆表面三维形貌高速测量方法包括:利用光学测量模块对应的光幕线投射至待测晶圆后,采集待测晶圆的表面反射光条数据解算得到与当前光幕线对应的XZ坐标值,利用所述XZ坐标值作为二维测量数据;采集待测晶圆不同回转角度的二维测量数据后得到当前回转半径的待测晶圆初始三维形貌信息,利用所述待测晶圆初始三维形貌信息基于圆柱坐标系转换后,进行拼接处理得到待测晶圆表面三维形貌信息,有效解决晶圆表面三维形貌高精度完整扫描测量难题,软硬件方面自动化集成度高,可实现离线晶圆表面三维形貌批量测量,也可以集成到产线实现在线晶圆表面三维形貌高速检测。
  • 一种表面三维形貌高速测量方法装置
  • [发明专利]一种超精密飞切刀具回转半径与回转角度误差修正方法及系统-CN202211026926.9在审
  • 刘现磊;张效栋;李泽骁 - 天津大学
  • 2022-12-08 - 2023-03-07 - B23Q15/04
  • 本发明涉及超精密加工领域,尤其涉及一种超精密飞切刀具回转半径与回转角度误差修正方法及系统,所述一种超精密飞切刀具回转半径与回转角度误差修正方法包括:利用超精密飞切刀具进行试切处理得到超精密飞切刀具试切数据;利用所述超精密飞切刀具试切数据对超精密飞切刀具回转半径与回转角度进行误差修正处理,获得刀具回转半径和角度,实现刀具高精度对正效果。目前没有方法进行超精密飞切刀具参数对正,本发明中所述的方案,采用试切的方式,通过测量获得试切件在刀具三个切削角度下的切削高度差,通过数学计算确定刀具的回转半径及角度偏差,该方案只需在刀具装上后,通过试切确定出相对高度位置偏差即可,可实现较好的实际加工效果。
  • 一种精密刀具回转半径回转角度误差修正方法系统
  • [发明专利]一种仿生复眼成像系统的光阑阵列加工方法-CN201510219730.5有效
  • 张效栋;卢永斌;房丰洲;刘现磊 - 天津大学
  • 2015-04-30 - 2015-08-12 - G02B3/00
  • 本发明提供一种仿生复眼成像系统的光阑阵列加工方法,包括:(1)根据平面微透镜阵列单元的大小,确定平面微孔光阑阵列中光阑单元的尺寸,并根据需要确定阵列边缘倾斜角度;(2)选定制作平面微孔光阑阵列母版的工件,保证刀具前刀面垂直工件表面,刀具在加工中进行高速旋转,在旋转到最低端时对表面进行切削,同时刀具切削路径沿着直线运动,从而在被加工材料表面切削微沟槽阵列;(3)将工件旋转90°,进行飞刀车削,重复步骤(2)进行微沟槽阵列加工,最终形成凸型微四棱锥阵列;(4)将得到的四棱锥阵列进行电铸,翻印得到电铸材料的平面微孔光阑阵列结构。本发明可实现光阑阵列和透镜阵列的自动对正,且有效解决了透镜阵列和光阑阵列装调困难的问题。
  • 一种仿生复眼成像系统光阑阵列加工方法

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