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- [发明专利]超结MOSFET的制作方法-CN201510024143.0在审
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马万里
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北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
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2015-01-16
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2016-08-10
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H01L21/336
- 本发明实施例提供一种超结MOSFET的制作方法。该方法包括:在N型衬底的N型外延层上表面依次生长栅氧化层、多晶硅层、氧化层和氮化硅层;并进行光刻、刻蚀处理形成窗口;沿着窗口向N型外延层注入P型离子形成碗口状的P-区;从露出的N型外延层的上表面向下穿过P-区刻蚀出沟槽;在沟槽中生长P型外延层;通过光刻处理在P型外延层中形成N+区;生长介质层,并对介质层进行光刻、刻蚀处理;生长金属层,并对金属层进行光刻、刻蚀处理,以完成超结MOSFET的制作。本发明实施例制作超结MOSFET需要四次光刻处理,相对于制作超结MOSFET需要五次光刻,减少了光刻处理次数,节省了工艺制作成本。
- mosfet制作方法
- [实用新型]一种单面电极多晶硅薄膜太阳能电池-CN201120327244.2有效
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刘莹
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刘莹
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2011-08-26
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2012-05-30
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H01L31/0216
- 本实用新型公开了一种单面电极多晶硅薄膜太阳能电池,其结构为:以超白玻璃为衬底,玻璃板上设一层起阻挡和钝化作用的薄膜,薄膜上层设一层多晶硅薄膜,在薄膜的表面进行栅状掺杂或者梳状掺杂形成栅状或者梳状PN结,最上层按PN结形状设成栅状或者梳状引出电极。其制备步骤为:清洁玻璃衬底,依次在玻璃板上用真空镀膜方式镀阻挡和钝化层薄膜,以液相外延或者真空镀膜的方式镀制多晶硅薄膜,然后通过热扩散、离子注入、激光掺杂等方式在多晶硅薄膜上制备栅状或者梳状PN结,最后印刷引出电极由于PN结呈栅状或者梳状排布,使有效PN结长度增加,提高了转化效率。同时,多晶硅层容易做得很薄,容易实现大规模生产。
- 一种单面电极多晶薄膜太阳能电池
- [发明专利]单电子多值存储器-CN02124386.7无效
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吴南健
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中国科学院半导体研究所
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2002-06-21
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2003-12-31
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H01L27/105
- 本发明一种单电子多值存储器件,包括:具有面密度为N0的多个超小纳米浮栅;n个小控制栅极,该n个小控制栅极制作在浮栅上;在浮栅下面有MOS管的沟道和衬底;在浮栅和栅极之间有控制栅绝缘膜或控制栅绝缘膜电容Cctl;在浮栅和沟道之间有隧穿膜或隧穿结Ci;在沟道两极分别有源极和漏极;电子可以通过隧穿膜在超小纳米浮栅和沟道之间隧穿,也可以在相邻的超小纳米浮栅之间相互隧穿;n个小控制栅极上加n位二进制的输入信号,实现2n
- 电子存储器
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