[发明专利]研磨系统在审
| 申请号： | 202180030565.2 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN115443206A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 高桥笃;前泽明弘;月形扶美子;沟口启介 | 申请（专利权）人： | 柯尼卡美能达株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/013;B24B49/08;H01L21/304;B23Q17/00;B23Q17/09 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 韩锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够简单且精度良好地对被研磨物的研磨量进行测量的研磨系统。本发明的研磨系统是使用研磨剂浆料对被研磨物进行研磨的研磨系统，其特征在于，具有研磨量计算工序部，该研磨量计算工序部对来源于完成加工浆料中被研磨物的、元素周期表第一主族或第二主族的金属元素的游离金属离子的量进行测定，根据所述游离金属离子的量来计算所述被研磨物的研磨量。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 系统 | ||
【主权项】：
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