[发明专利]用于使用远程等离子体化学气相沉积(RP-CVD)和溅射沉积来生长发光器件中的层的方法有效

专利信息
申请号: 201780044821.7 申请日: 2017-05-19
公开(公告)号: CN109716541B 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: I.维尔德森;P.德布;E.C.尼尔森;J.科巴亚施 申请(专利权)人: 亮锐控股有限公司
主分类号: H01L33/06 分类号: H01L33/06;H01L21/02;H01L33/00;H01L33/32
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 陈俊;陈岚
地址: 荷兰*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本文描述的是用于使用远程等离子体化学气相沉积(RP‑CVD)和溅射沉积来生长发光器件的层的方法。方法包括在生长衬底上生长发光器件结构,并且使用RP‑CVD和溅射沉积中的至少一种在发光器件结构上生长隧道结。隧道结包括与p型区直接接触的p++层,其中通过使用RP‑CVD和溅射沉积中的至少一种来生长p++层。用于生长器件的另一方法包括使用RP‑CVD和溅射沉积中的至少一种在生长衬底上方生长p型区,并且在该p型区上方生长其他层。用于生长器件的另一方法包括使用RP‑CVD和溅射沉积中的至少一种在p型区上方生长发光区和n型区。
搜索关键词: 用于 使用 远程 等离子体 化学 沉积 rp cvd 溅射 生长 发光 器件 中的 方法
【主权项】:
1. 一种用于生长发光器件的方法,所述方法包括:在生长衬底上生长发光器件结构,所述发光器件结构包括堆叠在一起的n型区、发光区以及p型区;并且通过使用远程等离子体化学气相沉积(RP‑CVD)和溅射沉积中的至少一种来在所述发光器件结构上生长隧道结。
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