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- [发明专利]一种LED芯片转移方法-CN202111046421.4有效
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薛水源;庄文荣;孙明;付小朝
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东莞市中麒光电技术有限公司
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2021-09-07
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2023-01-03
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H01L33/00
- 本发明公开一种LED芯片转移方法,包括步骤:S1,提供一面制备有LED芯片的生长衬底、目标基板及激光扩散结构;S2,将激光扩散结构置于生长衬底背离LED芯片的一侧,将目标基板朝向LED芯片放置;S3,自激光扩散结构背离生长衬底的一侧照射激光,借由激光将LED芯片从生长衬底上剥离,使LED芯片转移至目标基板。本发明在生长衬底背离LED芯片的一侧设置激光扩散结构,激光穿过激光扩散结构时,能量被激光扩散结构吸收、分散,使激光实际到达生长衬底与LED芯片的连接界面的能量更加均匀、分散,避免LED芯片受热不均匀,出现局部已经分离,但部分还连接,或者LED芯片局部过度受热,可以实现不损坏LED芯片的情况下,采用足够能量的激光将LED芯片与生长衬底充分剥离。
- 一种led芯片转移方法
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