[发明专利]电介质界面中具有电荷俘获的紧凑型非易失性存储器器件有效

专利信息
申请号: 201711106086.6 申请日: 2017-11-10
公开(公告)号: CN108110009B 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: F·拉罗萨;S·尼埃尔;A·雷尼耶 申请(专利权)人: 意法半导体(鲁塞)公司
主分类号: H01L27/105 分类号: H01L27/105;G11C11/401
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 王茂华;董典红
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请涉及电介质界面中具有电荷俘获的紧凑型非易失性存储器器件。每个存储器单元是在电介质界面中具有电荷俘获的类型,并且包括可由埋置在衬底中的垂直选择晶体管选择并且包括埋置的选择栅极的状态晶体管。存储器单元的列包括双生存储器单元对。双生存储器单元对中的两个选择晶体管具有共同的选择栅极,并且双生存储器单元对中的两个状态晶体管具有共同的控制栅极。对于每一对双生存储器单元,该器件还包括电介质区域,电介质区域位于控制栅极和衬底之间并且与共同的选择栅极重叠,以便在选择栅极的任一侧上形成分别专用于两个双生存储器单元的两个电荷俘获电介质界面。
搜索关键词: 电介质 界面 具有 电荷 俘获 紧凑型 非易失性存储器 器件
【主权项】:
1.一种存储器器件,包括:存储器层面,所述存储器层面包括非易失性存储器单元的行和列,所述存储器层面被设置在半导体衬底中;其中,每个存储器单元包括用于电荷俘获的电介质界面和状态晶体管,所述状态晶体管由埋置在所述衬底中的垂直选择晶体管可选择并且包括埋置的选择栅极;其中,所述存储器单元的列包括双生存储器单元对,每一对包括第一存储器单元和第二存储器单元;其中,所述每一对的所述第一存储器单元和所述第二存储器单元的所述选择晶体管具有共同的选择栅极;其中,所述每一对的所述第一存储器单元和所述第二存储器单元的所述状态晶体管具有共同的控制栅极;其中,对于每一对双生存储器单元,电介质区域位于所述共同的控制栅极和所述衬底之间并且与所述共同的选择栅极重叠,以便在所述选择栅极的任一侧上形成两个电荷俘获电介质界面,所述两个电荷俘获电介质界面分别专用于所述第一存储器单元和所述第二存储器单元;其中,存储器单元的每一列包括两个位线;其中,同一列的两个相邻的双生存储器单元不被链接到同一位线;其中,同一列的两个相邻的非双生存储器单元被链接到同一位线;以及其中,所述栅极驱动线被链接到同一行的存储器单元的状态晶体管的控制栅极。
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