[发明专利]蓝宝石LED灯丝基板的生产方法在审

专利信息
申请号: 201510354411.5 申请日: 2015-06-25
公开(公告)号: CN105140362A 公开(公告)日: 2015-12-09
发明(设计)人: 苏凤坚;刘俊;郝正平 申请(专利权)人: 江苏苏创光学器材有限公司
主分类号: H01L33/16 分类号: H01L33/16;H01L21/02
代理公司: 南京同泽专利事务所(特殊普通合伙) 32245 代理人: 石敏
地址: 225775 江苏省泰州市兴化市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,具体步骤包括晶体掏棒、晶体切割、研磨、倒角、退火、双面抛光、激光取片、刷银等工序;本发明的蓝宝石LED灯丝基板的生产方法成片质量高,废品率低,生产效率高。
搜索关键词: 蓝宝石 led 灯丝 生产 方法
【主权项】:
一种蓝宝石LED灯丝基板的生产方法,其特征在于,包括以下具体步骤:步骤一、晶体掏棒;取A向、M向或C向的蓝宝石晶体,然后使用掏棒机进行掏棒,从而得到晶棒;步骤二、晶体切割;采用金刚砂线切割设备对晶棒进行切割,从而得到晶片;步骤三、研磨;采用研磨机对晶片进行研磨;研磨时,加入研磨液,研磨盘对晶片加压至0.02~0.022Mpa,研磨盘的转速为1000~1200rpm/min;研磨完成后用无水乙醇清洗;所述研磨液组分包括:0.5~2%的颗粒大小为10~20μm的立方氮化硼粉末,14~16%的烷基酚聚氧乙烯醚,4~6%的甘油,9~11%的聚丙二醇400,其余为去离子水;步骤四、倒角;采用数控机床的金刚石砂轮对晶片的边角进行倒角处理,;步骤五、退火;将晶片放入退火炉内,以180~220℃/h的速度进行升温将温度升至1600℃,升温时在300℃、800℃、1600℃分别保温2~6h,然后以200℃的温度进行降温,降温时在1000℃、500℃分别保温2~3h冷却至室温取出;步骤六、双面化学抛光;先用无水乙醇对晶片进行清洗,然后将清洗后的晶片放入双面抛光机中固定;抛光时,加入抛光液,抛光盘对晶片加压至0.12~0.15 Mpa,抛光盘的转速为1000~1500rpm/min、将抛光好的晶片用无水乙醇清洗后,在室温下进行自然冷却;所述抛光液组分包括:0.5~2%的颗粒大小为1~6μm的立方氮化硼粉末,14~16%的烷基酚聚氧乙烯醚,4~6%的甘油,9~11%的聚丙二醇400,0.5~2%的纳米二氧化硅,使得抛光液PH值为11.0~13.0的碱性溶液,其余为去离子水;抛光过程中不断补充碱性溶液以保持抛光液的PH值;步骤七、激光取片;将抛光后的晶片放入激光切割机中并通入保护气体,将晶片按需求切割成相应大小。
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