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[发明专利]用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法-CN202010396221.0在审
发明人：蔡齐航;谢亚珍;余维松 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法，包括：相对设置且供夹住平面样品的第一固定板和第二固定板，且该第一固定板和第二固定板可拆卸地连接，该第一固定板的一侧间隔开设有若干条形孔；对第一固定板进行喷金，以透过条形孔于平面样品的表面形成定位标记线。本发明有效地解决了缺陷定位困难的问题，能够提升缺陷的定位精度，大大减少误认或盲切的状况发生，保证后续的检测精度，且本装置结构简单，便于实现。
用于平面样品形成定位标记辅助装置及其使用方法

[实用新型]测试板固定架-CN201921314435.8有效
发明人：於晟;曹俊 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种测试板固定架，包括：长方体框架，所述长方体框架包括相对设置的两条上框边、位于所述上框边下方的两条下框边，所述两条上框边的端部与所述两条下框边的端部之间连接有立柱；所述两条上框边上开设有位置对应的上凹槽，所述上凹槽的顶、底两端贯通，所述两条下框边的对应所述上凹槽的位置开设有下凹槽，测试板竖向插置于所述两条上框边之间，且所述测试板的上部板边卡设于对应的所述上凹槽内，所述测试板的下部板边卡设于所述下凹槽内。本实用新型固定架省去了每次放置一个测试板需要拧一次铜螺柱的步骤，更加高效便捷；也避免了拧铜螺柱对测试板的损伤。
测试固定

[实用新型]一种TEM平面样品的定位裂片装置-CN201920904324.6有效
发明人：蔡齐航;谢亚珍;郭语柔 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种TEM平面样品的定位裂片装置，包括：承载平台；设于所述承载平台上的裂片针，沿待裂片材料的待裂片位置设置于所述待裂片材料的底部位置，所述待裂片材料上设有与所述待裂片位置在同一直线上的裂缝，且所述裂缝指向所述待裂片位置，通过所述裂缝快速定位所述裂片针的位置和方向，在裂片过程中，用手按压所述待裂片位置的两侧，所述裂缝自然沿着所述待裂片位置继续分裂。本实用新型结构简单，操作方便，能够快速且精准的定位裂片，且保证待裂片位置处的裂缝光滑平直，裂片质量好、效率高。
一种 tem 平面样品定位裂片装置

[发明专利]基于TEM衍射理论的平面样品的缺陷拍摄方法-CN201910375830.5在审
发明人：蔡齐航;谢亚珍;康冀恺;刘怡良;余维松;许雅雯 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： G01N23/20058 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于TEM衍射理论的平面样品的缺陷拍摄方法包括以下步骤：步骤1：在TEM衍射条件下，倾转试片使双束菊池线(1)对分别通过直射点(2)和衍射点(3)的中心，偏离因子s等于0，此时TEM影像图中样品的缺陷模糊；步骤2：继续倾转试片，使双束菊池线(1)对向衍射点(3)的方向移动，使双束菊池线(1)从直射点(2)和衍射点(3)的中心偏离，偏离因子s大于0，此时TEM影像图中样品的缺陷清晰；步骤3：在步骤2的衍射条件下，找到缺陷位置并拍摄缺陷的明场像图片。本发明利用偏离因子s稍大于零的条件下明场像具有最大影像强度的原理，对光电材料平面结构进行缺陷分析，可在TEM中直观且清晰的看到缺陷的详细形貌。
衍射平面样品衍射条件偏离直射明场像影像图倾转试片拍摄形貌方向移动光电材料平面结构缺陷分析缺陷位置中心偏离清晰对向影像直观模糊图片

[发明专利]TEM蓝宝石衬底LED试样晶格方向的确认方法-CN201810307635.4有效
发明人：蔡齐航;庄翌圣;巫永仁 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2018-04-08 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： H01L33/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种TEM蓝宝石衬底LED试样晶格方向的确认方法，其特征在于，包括步骤：将LED试样放置于DB‑FIB机台上，获取所述LED试样中蓝宝石衬底的俯视图，所述俯视图中密布有图形化蓝宝石结构；以相邻三个图形化蓝宝石结构的连线作为六边形的一条边，于所述俯视图上连线形成一六边形；将所述六边形中相间位的两个角进行连线，令得到的连线方向作为所述LED试样的待切片的晶格方向。本发明仅在DB‑FIB下就可以直接于影像拍摄模式下，观察LED基板的俯视图就可以直接判断晶格方向，不需透过后续TEM反复切片确认，在整个制样的过程中大幅提升其效率也减低切错晶格方向的基板。
晶格方向俯视图连线六边形蓝宝石衬底图形化蓝宝石切片影像拍摄基板条边制样密布观察

[实用新型]测试板固定板架-CN201821028941.6有效
发明人：葛金发;林于琦;张飞;梅茂强 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供的测试板固定板架，涉及固定板架技术领域。该测试板固定板架包括支柱、第一基板和第二基板，第一基板和第二基板相对设置，支柱的一端与第一基板固定连接，支柱的另一端和第二基板可拆卸地连接，第二基板能够沿支柱移动。第一基板上开设有第一插槽，第二基板上开设有第二插槽，第二插槽的位置与第一插槽的位置相对应，第一插槽和第二插槽用于放置测试板。该测试板固定板架结构简单，将测试板采用竖放的方式，便于安装和固定，且容置的测试板数量较多，实用性强。
测试板插槽第二基板固定板架第一基板本实用新型便于安装相对设置地连接可拆卸容置竖放移动

[发明专利]拉伸试验治具和拉伸试验系统-CN201810762056.9在审
发明人：葛金发;林于琦;张飞 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2018-07-12 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本发明提供的拉伸试验治具和拉伸试验系统，涉及拉伸强度检测技术领域。该拉伸试验治具包括万向接头、第一拉伸端、第二拉伸端和固定座。万向接头与第一拉伸端连接，固定座与第二拉伸端连接，封装体位于第一拉伸端和第二拉伸端之间。第一拉伸端包括第一表面，第二拉伸端包括第二表面，第一表面与第二表面相对设置，封装体的封装盖板与芯片分别与第一表面、第二表面贴合固定。万向接头与施力平台连接，施力平台施加拉力，拉力经万向接头、第一拉伸端传递至封装体，使封装盖板与芯片分离，以检测封装盖板与芯片的结合强度。该拉伸试验治具结构简单，施加的拉力始终垂直于封装体，使封装体受力均匀、合理，测试结果精确可靠。
拉伸端拉伸试验封装体万向接头治具第二表面第一表面封装盖板施力平台固定座施加芯片强度检测受力均匀贴合固定相对设置芯片分离拉伸垂直传递检测

[实用新型]闩锁测试平移装置-CN201820494420.3有效
发明人：魏垂亚 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2018-04-09 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型闩锁测试平移装置，应用于设有芯片的闩锁测试机台，所述闩锁测试平移装置包括电池组、开关元件、用于监控所述芯片的电源管脚电流的电流监控器和用于监控所述芯片的电源管脚电压的电压监控器，所述闩锁测试平移装置与所述芯片构成一测试回路。通过闩锁测试机台进行脉冲控制触发，即令电流源触发被测管脚，从而模拟芯片正常工作时的闩锁测试；可经过电流监控器和电压监控器判断是否闩锁现象发生；闩锁现象发生，并且电池组不停供电，所以可以将闩锁现象保持住；将芯片从测试平台拆下即可移动，便于进行失效分析。
闩锁测试平移装置芯片闩锁现象电池组机台电流监控器电压监控器电源管脚触发本实用新型测试回路测试平台开关元件脉冲控制模拟芯片失效分析电流源监控测管拆下供电移动应用

[实用新型]扫描式电子显微镜样品夹具-CN201720194594.3有效
发明人：施杰;刘国庆 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2017-03-02 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，包括夹具主体和至少一个第一固定件，夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，样品凹槽的开口朝上设置，样品凹槽的底部用于固定在扫描式电子显微镜的样品基座上，第一固定件横向穿设样品凹槽的侧壁并相对侧壁横向可移动及可固定设置用于将样品抵靠固定在第一固定件和侧壁之间或在多个第一固定件之间。本实用新型的扫描式电子显微镜样品夹具能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低，适于大规模推广应用。
扫描电子显微镜样品夹具

[实用新型]静电放电机台温控装置-CN201720139847.7有效
发明人：宋建波 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2017-02-16 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种静电放电机台温控装置，包括控制部件、加热部件、制冷部件、温度检测部件和罩体，罩体的底部具有开口，温度检测部件设置在罩体的内部，加热部件和制冷部件均连接罩体用于分别加热和冷却罩体的内部，控制部件分别信号连接加热部件、制冷部件和温度检测部件。较佳地，控制部件是温控开关。加热部件包括热风枪和热风管。制冷部件包括冷风抢和冷风管。温度检测部件是温度传感器。罩体是热屏蔽罩体。本实用新型能够模拟测试样品正常工作时的温度状况，能够结合静电放电机台模拟测试测试样品正常工作时的抗静电能力，且测试简单快速，成本低，测试结果准确稳定，设计巧妙，结构简洁，制造简单，成本低，适于大规模推广应用。
静电放电机台温控装置

[实用新型]开盖式晶圆级封装芯片老化测试插座-CN201720164317.8有效
发明人：庄翌圣;葛金发 -专利权人： 宜特（上海）检测技术有限公司
申请日： 2017-02-23 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型提供一种开盖式晶圆级封装芯片老化测试插座，其中上盖的下表面上设置有至少一个保护支撑部件，保护支撑部件的下表面与上盖的下表面平行，高度H1减去散热器的高度H2用于等于待测芯片的高度H3，和散热器间隔设置且两者之间的空间用于容纳芯片固定座的侧壁，下表面的靠近上盖的一端的端部在上盖的下表面上的射影和上盖的一端之间的第一距离L1小于散热器的下表面的靠近上盖的一端的端部在上盖的下表面上的射影和上盖的一端之间的第二距离L2。本实用新型的开盖式晶圆级封装芯片老化测试插座能够在开关动作时其散热器不与待测芯片产生直接接触，避免因插座构造造成待测芯片受损，保证测试结果的准确性和可信度，适于大规模推广应用。
开盖式晶圆级封装芯片老化测试插座

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