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- [实用新型]一种大尺寸晶圆包装用套装-CN202320355815.6有效
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袁黔云
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深圳市迈捷微科技有限公司
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2023-03-01
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2023-09-05
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H01L21/673
- 本实用新型提供一种大尺寸晶圆包装用套装。所述大尺寸晶圆包装用套装包括上壳和下壳，所述上壳与所述下壳相卡装，所述上壳和所述下壳均正八边形设置，所述上壳和所述下壳之间对称设有两个隔板，所述上壳包括第一外壳体，所述第一外壳体内固定安装有两个定位护板，所述第一外壳体上对称开设有两个第一安装槽，所述第一安装槽的内壁上开设有第一定位槽，所述隔板位于所述第一定位槽内，所述下壳包括第二外壳体，所述第二外壳体内固定安装有圆形护板，所述圆形护板与两个所述定位护板相适配。本实用新型提供的大尺寸晶圆包装用套装具有使用方便、利用扩晶环能够放置尺寸较小的晶圆，同时能够方便晶圆放入和拿取的优点。
- 一种尺寸包装套装
- [实用新型]半导体封装用料盒-CN202320525945.X有效
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赵攀登;赵云峻;张鸿;孙雪朋
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上海泰睿思微电子有限公司
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2023-03-17
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2023-09-05
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H01L21/673
- 本实用新型涉及一种半导体封装用料盒，用于装载引线框架，料盒包括：料盒本体，包括相对设置的顶板、底板以及连接在顶板和底板两侧且相对设置的一对侧板，一对侧板的内侧设有相对应的复数个安装槽；插设于安装槽内的承托板，设有与引线框架相适配的嵌槽，承托板对应一侧板的侧部设有定位孔；穿设在侧板上并插设于对应的定位孔内的定位销。本实用新型的料盒通过设置承托板来承托引线框架，能够对引线框架起到良好的支撑作用，避免引线框架发生变形，使得上下设置的引线框架间不会发生接触，避免了引线框架相叠现象的发生。进一步地，承托板通过定位销与料盒本体限位固定，使得承托板不会在料盒周转的过程中滑出，提高了承托板的结构稳定性。
- 半导体封装用料
- [实用新型]一种太阳能电池片承载花篮-CN202320213415.1有效
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戎华
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江苏牧心胜科技有限公司
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2023-02-15
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2023-09-01
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种太阳能电池片承载花篮，涉及太阳能电池片加工设备领域，其技术方案要点是：包括上下相对设置的上面板和下面板以及左右相对设置的左面板和右面板，左面板和右面板的相对位置分别纵横均布设置有若干个柔性滚轮，位于同一水平面上的若干个柔性滚轮的外圆切面之间形成有承载面，上面板和下面板之间还分别设置有前挡柱和后挡柱，前挡柱与上面板和下面板的前侧可拆卸连接，后挡柱与上面板和下面板的后侧固定连接。本实用新型工作时，柔性滚轮与太阳能电池片柔性接触，并且通过柔性滚轮的滚动即可实现太阳能电池片的承载收纳，大大减小了花篮对太阳能电池片的摩擦损坏，有利于提高太阳能电池片的良品率。
- 一种太阳能电池承载花篮
- [实用新型]一种便于降低碎片率的石英舟-CN202320317718.8有效
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蔡贵臻;杨阳;陈如龙
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江苏润阳悦达光伏科技有限公司
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2023-02-27
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2023-09-01
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种便于降低碎片率的石英舟，包括底板、连接条、限位机构和支撑脚，底板的上端左右对称的固定连接有挡板；所述连接条前后对称的镶嵌连接在挡板的内上端，且连接条的内端呈等间距的开设有第一安装槽，同时电池片卡合连接在第一安装槽的内部；所述限位机构设置在挡板的上侧，且限位机构包括限位条、限位杆、连接座、连接块和弹簧，其中限位条转动连接在左侧挡板的右上端；所述支撑脚左右对称的镶嵌连接在底板的前后两端，且支撑脚卡合连接在正剖切纵截面呈“凹”字形结构的防护套内。该便于降低碎片率的石英舟，便于降低碎片率，而且容易更换电池片，同时方便减少石英舟底端的磨损。
- 一种便于降低碎片石英
- [实用新型]晶圆载片装置-CN202320344436.7有效
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靳莹;谢超;孙博;朱大正
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北京燕东微电子科技有限公司
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2023-02-28
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2023-09-01
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H01L21/673
- 本实用新型提供一种晶圆载片装置，涉及半导体加工技术领域，解决加工设备的传感器难以识别超薄晶圆的问题。该晶圆载片装置包括：平行于晶圆容置平面的两个底板、垂直于晶圆容置平面的两个挡板以及多个安装件，其中，两个底板和两个挡板构成晶圆载片装置的壳体，并在壳体上形成有便于晶圆取放的开口；多个安装件相互平行地设置在两个挡板之间，以形成用于容置晶圆的限片槽；安装件包括限片齿和舌板，限片齿设置在挡板的内壁上，舌板连接在相对的两个限片齿中间并向开口方向延伸预设长度；在舌板上设有检测槽口，该检测槽口颜舌板延伸方向贯穿整个舌板以使得传感器信号得以通过。
- 晶圆载片装置
- [实用新型]一种通用型的晶圆基板载具-CN202321028693.6有效
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刘建蔚
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昆山兴宇宏机械科技有限公司
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2023-05-04
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2023-09-01
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种通用型的晶圆基板载具，包括上盖总成，在所述上盖总成的底部安装有底座总成，所述上盖总成的内部还安装有载具体，所述底座总成的顶端面上设置有一体式的定位板，所述定位板与所述载具体的底部卡合限位，所述底座总成的底部还设置有底板，所述底板上设置有防护机构，该防护机构包括：分隔组件，安装在所述底板顶部的各个边缘处，该分隔组件与所述底座总成呈贴合状或者间距设置；通过设计的防护机构，通过四周的磁性斥力保证载具的位置不会出现变化，即使在受到振动时，也能够实现缓冲防护，避免内部放置的晶圆因较大振动而产生损坏，同时整个防护机构结构简单，方便生产加工，具有良好的实用性。
- 一种通用型晶圆基板载具
- [实用新型]一种多槽位的清洗花篮-CN202320452032.X有效
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袁黔云
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深圳市迈捷微科技有限公司
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2023-03-10
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2023-09-01
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H01L21/673
- 本实用新型提供一种多槽位的清洗花篮。所述多槽位的清洗花篮包括支撑板，所述支撑板上开设有多个放置槽，所述支撑板的开设有多个通孔，所述通孔与所述放置槽相连通，所述支撑板的顶部四角均固定安装有支撑柱，所述支撑柱上开设有一侧为开口的通槽，所述支撑板为W型板，所述放置槽开设在W型板的两个凹槽处，所述支撑板和所述支撑柱均为铁氟龙材料制作而成，所述支撑板的底部开设有多个槽孔，多个所述槽孔呈线性分布。本实用新型提供的多槽位的清洗花篮具有使用方便、强度较高、更加耐用、便于注塑成型或机加工的优点。
- 一种多槽位清洗花篮
- [发明专利]一种降低硅片损伤的硅舟-CN202211432870.7有效
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范明明;祝建敏;李长苏
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杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
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2022-11-16
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2023-08-29
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H01L21/673
- 本发明涉及硅舟领域，特别地，涉及一种降低硅片损伤的硅舟，包括平行且对向设置的法兰和天板，所述法兰和天板之间设有沟棒，所述沟棒的内侧设有用于承托硅片的沟齿；所述沟棒至少设有三根，包括两根前沟棒和一根后沟棒，所述前沟棒的截面形状为"7"字形，所述前沟棒上的沟齿作为"7"字形的上半部分，所述前沟棒本体作为"7"字形的下半部分；三根所述沟棒上的相应沟齿在同一平面形成硅片容置槽，两根前沟棒本体之间的最短连线长度大于硅片的直径，两根前沟棒的沟齿之间的最短连线长度小于硅片的直径;本发明目的是克服现有技术的不足而提供一种降低硅片损伤的硅舟，可缩小硅舟的开口处两沟棒对硅片的支撑点之间的间距，进而减小硅片外圈在高温下的坍塌形变量。
- 一种降低硅片损伤
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