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- [发明专利]一种晶舟盒暂存装置及半导体设备-CN202310325613.1有效
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安礼余;肖山竹
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宇弘研科技(苏州)有限公司
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2023-03-30
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2023-10-27
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H01L21/673
- 本申请提供一种晶舟盒暂存装置及半导体设备,涉及半导体技术领域。一种晶舟盒暂存装置包含盒体,所述承载板固接于所述底盒以及所述上盒,所述压板分别滑动于所述底盒和所述上盒,所述连接杆固接于所述压板,所述连接杆滑动贯穿所述承载板,所述升降板固接于所述连接杆,所述第一弹簧套设于所述连接杆,所述顶板限位滑动于所述承载板,晶圆放置于顶板上,上盒和底盒卡合,压板分别受到承载板的挤压,带动压板上各自对应的升降板发生同步位移,使得晶圆、顶板和升降板之间形成负压,继而完成对每个晶圆的吸附,使晶圆可以稳定的吸附在顶板上,避免了晶圆和顶板之间存在错位以及在转运过程中出现晶圆和顶板之间存在晃动,继而导致晶圆受损的现象。
- 一种晶舟盒暂存装置半导体设备
- [发明专利]基板收纳容器-CN201780089276.3有效
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佐藤恭兵
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未来儿股份有限公司
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2017-04-05
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2023-10-27
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H01L21/673
- 本发明具有:下侧基板引导倾斜面(733),与下侧倾斜面(731)的下端部连接,相比于下侧倾斜面(731)的倾斜,以与上下方向(D2)所成的角度更小的方式倾斜,上下方向(D2)与多个基板排列的排列的方向一致;以及上侧基板引导倾斜面(734),与上侧倾斜面(732)的上端部连接,相比于上侧倾斜面(732)的倾斜,以与上下方向(D2)所成的角度更小的方式倾斜。在容器主体开口部被盖体封闭时的槽(703)延伸的方向上,随着接近容器主体开口部的中央,下侧基板引导倾斜面(733)的上下方向(D2)上的长度变长。
- 收纳容器
- [发明专利]基板收纳容器-CN201780089334.2有效
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佐藤恭兵
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未来儿股份有限公司
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2017-04-06
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2023-10-27
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H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器,其具备:容器主体、盖体(3)和盖体侧基板支撑部(7),该盖体侧基板支撑部(7)在容器主体开口部被盖体(3)闭塞时,配置在与基板收纳空间对置的盖体(3)的部分,能够支撑多个基板的边缘部,盖体侧基板支撑部(7)具备:盖体侧基板承受部,其在支撑基板时承受基板的边缘部;框部(71),其是由盖体(3)的内面侧保持的框部(71)并具有朝向盖体(3)的内面侧的第一面(711)以及第一面(711)的相反面即第二面(712),盖体(3)具备框部保持部(35),其以插入状态保持框部(71)并具有与第一面(711)面对面的第三面(353)以及与第二面(712)面对面的第四面(354),进而,盖体侧基板支撑部(7)在框部(71)的第一面(711)侧具备向第三面(353)侧突出的第一凸部(76),并且在框部(71)的第二面(712)侧具备在框部(71)的插入状态下与框部保持部(35)卡合的卡合部(75)。
- 收纳容器
- [实用新型]一种扩散及LPCVD石英舟-CN202321663643.5有效
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沈健锋;赵福祥
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韩华新能源(启东)有限公司
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2023-06-27
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2023-10-27
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H01L21/673
- 本实用新型涉及一种扩散及LPCVD石英舟,包括两个方形固定板以及多个横杆、多个卡杆,横杆与卡杆平行设置,横杆与卡杆沿各自轴向开设有多个用于卡接硅片的卡槽,在工作状态下,石英舟的横杆、卡杆均沿水平方向延伸,横杆的卡槽与卡杆的卡槽在同一竖直方向一一对应;固定板具有相对设置的第一边与第二边、位于第一边与第二边之间的第三边,对应固定板的第一边、第二边分别设置有一个横杆,横杆的相对两侧分别设置有卡杆;对应固定板的第三边设置有两个横杆,两个横杆之间设置有卡杆。本实用新型提供的石英舟,横杆卡槽和卡杆卡槽中的两个硅片可紧密贴合,减少甚至避免晶硅电池的绕镀和绕扩,省掉后续化学清洗的工艺步骤,节省生产成本。
- 一种扩散lpcvd石英
- [发明专利]晶圆盒承载设备及复合式载座-CN202210368684.5在审
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古伊钧
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华景电通股份有限公司
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2022-04-08
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2023-10-24
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H01L21/673
- 本发明公开一种晶圆盒承载设备及复合式载座,所述晶圆盒承载设备包含有一承载盘、及设置于所述承载盘的两个进气气嘴与两个排气气嘴。每个所述进气气嘴形成有一共享进气通道。每个所述排气气嘴为形成有彼此间隔配置的一第一排气通道与一第二排气通道。两个所述进气气嘴的所述共享进气通道搭配于两个所述排气气嘴的所述第一排气通道,而共同用来连通于一第一晶圆盒。两个所述进气气嘴的所述共享进气通道搭配于两个所述排气气嘴的所述第二排气通道,而共同用来连通于一第二晶圆盒。据此,所述晶圆盒承载设备在具有限定尺寸的所述承载盘上,可以选择性地对所述第一晶圆盒或所述第二晶圆盒进行充气作业与抽气作业。
- 晶圆盒承载设备复合式载座
- [发明专利]晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体-CN202210965244.8在审
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金相振
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3S韩国株式会社
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2022-08-12
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2023-10-24
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H01L21/673
- 本发明涉及一种晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体。根据本发明的一实施例的晶圆收纳容器与用于该晶圆收纳容器的盖的组装体,包括:收纳容器,在内部形成有能够收容一个以上的晶圆的空间;紧固部,形成于所述收纳容器的下部外侧,形成有能够紧固盖的紧固空间;以及盖,形成有在一侧形成为一字型并在端部包括有第一突出部的卡止部,并且构成为所述卡止部紧固于所述紧固部的结构;其中,所述紧固部包括:内壁,与所述盖的外周表面紧贴;以及紧固孔,形成于所述紧固部的一侧,构成为孔形状,以供所述卡止部紧固;其中,所述盖包括:固定壁,形成于与所述卡止部相面对的另一侧,紧贴于所述内壁,使得所述盖固定于所以述紧固部。
- 收纳容器用于组装
- [发明专利]基板收纳容器-CN201880004500.9有效
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松鸟千明
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未来儿股份有限公司
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2018-06-12
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2023-10-24
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H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器,其中,插销机构包括:卡合用插销(32);卡合用插销升降凸轮(35),通过向卡合用插销(32)进退的方向进退,使卡合用插销(32)相对于卡合凹部进退,在卡合凹部内使卡合用插销(32)接近或远离容器主体的另一端部;以及转动凸轮(31),卡合用插销升降凸轮(35)具有卡合用插销连接部(357),所述卡合用插销连接部(357)通过向卡合用插销(32)接近卡合凹部的方向移动,使卡合用插销(32)与卡合凹部卡合,此后使卡合用插销(32)接近容器主体的另一端部。
- 收纳容器
- [实用新型]快恢复整流管成型设备-CN202320929245.7有效
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姬建琴
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新乡市科牛电焊机有限公司
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2023-09-26
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2023-10-24
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H01L21/673
- 本实用新型公开了快恢复整流管成型设备,涉及半导体相关技术领域。本实用新型包括机体,其中机体四根滑柱的上端固定连接有封装组件,机体四根滑柱的周侧滑动连接有成型组件;成型组件包括成型模板,成型模板与封装组件相向的一面均匀开设有定位槽,定位槽的内部滑动连接有成型管,成型管上端的管面上开设有密接槽,成型管下端的管面上且远离轴芯的一侧固定连接有弹簧杆,并通过弹簧杆定位在定位槽的内部,成型管与弹簧杆同一管面的内侧边固定连接有底部侧封管;封装组件包括封装板,封装杆固定连接在封装板与料筒相对的一面,封装杆的轴芯位置开设有引脚孔。本实用新型通过机体,解决了快恢复整流管成型设备封装成型效率低和配置成本高的问题。
- 恢复整流管成型设备
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