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- [发明专利]一种可承载硅片的硅片花篮-CN201910606466.9有效
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孟祥熙;潘维
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常州时创能源股份有限公司
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2019-07-05
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2023-08-18
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H01L21/673
- 本发明公开了一种可承载硅片的硅片花篮,包括侧围和底架,侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成;该对侧架之间还设有分隔杆,分隔杆与该对端板垂直,该对端板分别设有用于引导分隔杆端部滑动的导向槽,分隔杆的两端与该对端板上的导向槽分别可拆卸连接。分隔杆可拆卸;当分隔杆拆下,硅片花篮可插放一排竖置硅片;当分隔杆装上,可分隔硅片花篮的内部空间,进而可插放两排竖置硅片,该两排硅片可上下设置或者左右设置。为了便于调整分隔杆在硅片花篮内部空间中的安装位置,在一对端板上设置导向槽,分隔杆的两端可沿导向槽滑动,可沿左右方向和/或竖向调整分隔杆的安装位置,以适应不同尺寸的硅片。
- 一种承载硅片花篮
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