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- [实用新型]分立器件晶圆多规格上料托盘-CN202221690985.1有效
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王延川
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华珂智成(武汉)科技有限公司
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2022-06-29
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2023-07-21
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H01L21/673
- 本实用新型提供了分立器件晶圆多规格上料托盘，包括底板，底板上设置有多个晶圆托架和多个间隔定位柱，晶圆托架的内侧设置有用于适配多种规格晶圆的多级承接槽，多个上料托盘通过间隔定位柱实现堆垛；晶圆托架包括一体成型的中心固定座和多个卡位瓣，多个卡位瓣设置于中心固定座的外侧，多级承接槽设置于多个卡位瓣的内侧。本实用新型通过在底板上设置多个晶圆托架和间隔定位柱，利用晶圆托架上的多级承接槽适应不同晶圆的尺寸，利用间隔定位柱实现多个托盘的堆垛，使托盘能够同时承托多个不同规格的晶圆，提升了托盘的通用性，且容易堆垛，便于定位，更符合实际的加工场景，提高了加工效率，减少了车间托盘所需数量和管理费用。
- 分立器件晶圆多规格托盘
- [发明专利]检查装置及检查方法-CN202180073886.0在审
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唐木阳一;市川进之介
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信越半导体株式会社
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2021-10-06
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2023-07-18
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H01L21/673
- 本发明提供一种检查装置，其对构成为包含透光性的透明部且收纳晶圆的收纳容器进行检查，其特征在于，包含：平坦型照明部，其配置为向所述收纳容器的包含所述透明部的至少一部分的被检查部照射光；以及相机，其配置为将所述收纳容器的所述被检查部夹在中间而与所述平坦型照明部对置，并构成为拍摄所述被检查部从而检测所述收纳容器的所述被检查部的异物和/或缺陷。由此，能够提供一种检查装置以及检查方法，其能够比人员进行的目视检查更可靠地检查出在晶圆的收纳容器内部是否存在异物或缺陷。
- 检查装置方法
- [实用新型]一种用于热沉材料的清洗工装-CN202320340897.7有效
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姜齐鸣;姚欢;周俊
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长沙升华微电子材料有限公司
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2023-02-28
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2023-07-18
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H01L21/673
- 本实用新型提供了一种用于热沉材料的清洗工装，产品放置槽成型在清洗放置座的上表面，产品放置槽相对的两个内侧壁均形成有多个隔断条卡槽，隔断条卡槽用于定位隔断条的两端，隔断条将产品放置槽分隔为多个放置区域，隔断条的安装位置能够调整，隔断条的两侧侧壁上均开设有产品定位槽，用于定位热沉材料产品的两端。本实用新型通过清洗放置座中产品放置槽的设置，以及隔断条的调整定位，可以适应大小不一的热沉材料产品，保证热沉材料产品清洗时不会碰撞划伤，同时便于热沉材料产品的取放，实用价值高，适用性强，可以多次循环使用；另外本方案依靠对产品的悬空支撑以及锥面支撑，利于产品的清洗及排水烘干。
- 一种用于材料清洗工装
- [实用新型]硅片堆叠料盒和下料系统-CN202223523291.1有效
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祁俊东;孔军军
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天合光能科技（盐城）有限公司
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2022-12-28
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2023-07-18
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H01L21/673
- 本申请提供一种硅片堆叠料盒和硅片下料系统，该硅片堆叠料盒包括：底板；硅片托盘，沿底板的厚度方向设置于底板的上方；多个挡条，沿厚度方向延伸且分布安装在底板上并围绕硅片托盘，每个挡条包括皮带及沿厚度方向相对设置的第一导向轮和第二导向轮，皮带包绕在第一导向轮和第二导向轮上；多个连接件，多个连接件分别将对应的挡条的皮带与硅片托盘连接，其中，当硅片托盘沿厚度方向上下移动时，带动皮带同步滚动。本申请的堆叠料盒通过连接件将硅片托盘与皮带连接在一起，当硅片托盘上下移动时，硅片托盘将带动位于承载部内的硅片一起移动，同时硅片托盘也会带动皮带一起滚动。硅片与皮带之间不发生相对移动，从而避免硅片边缘因摩擦而破碎。
- 硅片堆叠系统
- [实用新型]晶圆清洗花篮-CN202320298204.2有效
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闫青芝;杜科君;连坤;王金翠;胡卉;胡文
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济南晶正电子科技有限公司
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2023-02-23
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2023-07-14
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H01L21/673
- 本申请实施例提供了一种晶圆清洗花篮，包括花篮主体、压条安装件和压条，其中，花篮主体设置有放置晶圆的容置空间，晶圆依次排列在容置空间中。压条安装件设置在沿晶圆的排列方向延伸的花篮主体的侧部上，压条设置在压条安装件上并且沿晶圆的排布方向延伸，以阻挡位于容置空间中的晶圆上浮。由于压条安装件设置在沿晶圆排列方向延伸的侧部，放置在容置空间中的晶圆的工艺面与该压条安装件的方向垂直，所以工作人员自容置空间中取放晶圆的过程中，晶圆无需经过压条安装件的位置，从而确保压条安装件不会接触晶圆工艺面，避免了压条安装件划伤晶圆工艺面问题的发生。
- 清洗花篮
- [实用新型]一种分体舟托设备-CN202223295534.0有效
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朱太荣;张武;林佳继;刘群
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拉普拉斯新能源科技股份有限公司
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2022-12-07
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2023-07-14
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H01L21/673
- 本实用新型涉及半导体制造领域，具体提供了一种分体舟托设备，包括：两个相对设置的端板、两组侧板组，两组侧板组设置在两个端板之间相对两侧，所述侧板组包括若干依次可拆卸连接的侧板，所述端板可拆卸的设置在侧板组的两端。所述端板和侧板的材质均为碳化硅。侧板之间可拆卸连接，以及端板与侧板可拆卸连接，从而使得本实用新型的侧板及端板可拆卸更换，可根据需要更换某个侧板或端板，而不需要整体更换，节约设备的损坏成本，降低了物件消耗的成本。通过将原载具舟托改为碳化硅舟托，由于碳化硅材质刚性比石英材质刚性强度更高，可承载的硅片质量更大，可提高一定的产量。
- 一种分体设备
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