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[发明专利]一种载具及光伏组件生产测试系统-CN202310389616.1在审
发明人：勾学江;方振雷;张昆;吴旭东;左松彬 -专利权人：北京金茂绿建科技有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供了一种载具及光伏组件生产测试装置，涉及光伏组件加工技术领域。包括框体、接线端子、连接器及导线；框体的底部设置有凹槽，用于容纳光伏组件；框体的侧壁背离凹槽一侧设置有接线端子，用于与测试仪器电连接；框体的底部靠近所述凹槽处设置有连接器，连接器通过导线与接线端子电连接，连接器用于与光伏组件的接线盒电连接。本申请所提供的载具，框体可对于光伏组件形成保护支撑作用，避免了人工搬运对于组件造成的损坏；同时，通过接线端子、导线及连接器的电流导通结构，将光伏组件与测试仪器电连接，对于光伏组件进行电性能测试，更加便捷地上电，提升了光伏组件电性能测试效率。
一种组件生产测试系统

[发明专利]具有集成的温度测量电气装置的衬底保持器-CN201910705838.3有效
发明人：埃里克·佩普;达雷尔·欧利希;经常友 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2016-08-15 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及具有集成的温度测量电气装置的衬底保持器。衬底保持器包括基板、设置在所述基板上面的结合层、以及设置在所述结合层上面的陶瓷层。所述陶瓷层具有包括被配置来支撑衬底的区域的顶表面。若干温度测量电气装置被附着到所述陶瓷层。导电迹线被嵌在所述陶瓷层内且被设置并布线为与所述若干温度测量电气装置的一或多个电触头电气连接。电线被设置为电接触所述导电迹线。所述电线从陶瓷层延伸穿过结合层并穿过基板到控制电路。
具有集成温度测量电气装置衬底保持

[发明专利]一种用于承载硅片的硅片花篮-CN201910605660.5有效
发明人：孟祥熙;潘维 -专利权人：常州时创能源股份有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于承载硅片的硅片花篮，其内部空间用于插放竖置硅片，包括主架体，主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合；所述侧围中设有分隔杆，分隔杆与端板垂直，且分隔杆与侧围可拆卸连接。本发明给现有硅片花篮配置了可拆卸的分隔杆；当分隔杆拆下，硅片花篮可插放一排竖置硅片；当分隔杆装上，可分隔硅片花篮的内部空间，进而可插放两排竖置硅片，该两排硅片可上下设置或者左右设置。
一种用于承载硅片花篮

[实用新型]一种防止滑落电池片料盒-CN202320337866.6有效
发明人：朱韵历 -专利权人：天合光能（宿迁）光电有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防止滑落电池片料盒，涉及电池片料盒技术领域，包括主体，所述主体的前端设置有底座，所述主体的上端内层安装有滑槽，所述底座的下端设置有螺母，所述底座的上端安装有调节机构。本实用新型通过连接螺杆通过螺母安装在底座的滑槽内，在使用时，固定件通过滑动到螺槽处，并转动收紧，从而将其上端的万向球头体进行固定，因抵挡件的弧面与万向球头体相贴合，进而无法移动，使得上端的电池片料盒呈现平稳的状态，稍微转动固定件，进而料盒可以以抵挡件下的万向球头体为中心进行旋转，以达到调整角度的作用，且连接螺杆底端的滑槽，可使料盒进行方向的调节，进而在放片的过程中不容易产生电池片撞击现象。
一种防止滑落电池片料盒

[实用新型]防粘连石英舟结构-CN202320709430.5有效
发明人：郭其峰;唐忠明;林明都;叶江伟;郭富强 -专利权人：湖州硅石新能源科技有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供了防粘连石英舟结构，包括石英舟主体，石英舟主体内设置有隔离机构；隔离机构包括设置在石英舟主体内的支撑部，支撑部上设置有若干个可移动拆卸的隔离部。本申请通过设置的隔离机构，隔离机构中的支撑部能够对隔离部进行支撑，通过隔离部能够将硅片隔离开，从而避免硅片之间相互粘连，进行减少因硅片粘连而导致加工质量下降的情况，从而提高加工质量；通过设置的隔离机构，隔离机构中的隔离部能够在支撑部上移动，从而能够根据硅片的情况调整隔离部的位置，满足不同硅片的使用需求，且隔离部能够进行拆装，从而能够根据硅片的数量增减隔离部的数量，提高了该石英舟的实用性。
粘连石英结构

[实用新型]一种硅片生产用的篮筐装置-CN202320788437.0有效
发明人：严政先;段立群;孙希凯;韩木迪;东士博;宋春明;谭永麟;孙晨光;王彦君 -专利权人：天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片生产用的篮筐装置，包括托篮架、压篮装置和挡条，所述托篮架为顶端开口的镂空架体，用于放置片篮；所述压篮装置与所述托篮架可拆卸连接，用以对片篮进行高度方向的限位；所述挡条设置在所述托篮架底与所述压篮装置之间，用以对片篮进行长度或宽度方向的限位。本实用新型中的所述托篮架可以盛装多种尺寸的片篮，一筐多用，企业不必生产并仓储不同尺寸的篮筐，节省生产成本；通过不同安装位点及尺寸的所述挡条和所述压篮装置对不同尺寸的片篮进行限位，防止在硅片抛光、清洗和甩干等过程中，片篮产生晃动或者掉落，稳固效果好且适用范围广。
一种硅片生产篮筐装置

[实用新型]一种适用于不同尺寸的热处理石英舟-CN202320954222.1有效
发明人：张翠芸;师伟;曹榛 -专利权人：西安中晶半导体材料有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及石英舟加工技术领域，尤其涉及一种适用于不同尺寸的热处理石英舟。其技术方案包括：固定杆、支撑架和第一支撑杆，固定杆的外侧固定安装有支撑架，固定杆顶部的支撑架之间分别固定连接有第一支撑杆与第二支撑杆。本实用新型通过设置有第一挡柱、第二挡柱、第三挡柱与第四挡柱之间的相互配合，通过将硅片插入第一挡柱、第二挡柱、第三挡柱与第四挡柱形成的两组固定槽内，可以方便在热处理加工时对不同尺寸的硅片进行承载，通过设置有第一支撑杆、第二支撑杆与限位槽之间的相互配合，可以使第一挡柱、第二挡柱、第三挡柱与第四挡柱内侧的限位槽形成圆弧状，可以对硅片进行限位操作，避免发生晃动的情况。
一种适用于不同尺寸热处理石英

[发明专利]一种密闭式晶圆盒装载口及其气体置换方法-CN202310587533.3在审
发明人：余涛;张明辉;张晗 -专利权人：乐孜芯创半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种密闭式晶圆盒装载口及其气体置换方法，所述装载口用于安装在半导体制程设备前端模块的前方，所述装载口包括：承载台，用于承载晶圆盒；传动机构，连接于所述承载台，用于带动所述承载台上下运动；阻挡单元，设置在所述装载口的基板传输接口处，用于控制所述装载口与所述半导体制程设备前端模块的气体流通；进气单元，一端连接于气源，另一端通入所述装载口的密封腔中；排气单元，连通于所述密封腔，用于将所述密封腔中的气体排出；控制单元，用于控制所述阻挡单元、所述进气单元和所述排气单元的工作状态。本发明至少能够解决晶圆在工艺前被氧化的问题。
一种密闭式盒装及其气体置换方法

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN202180079981.1在审
发明人：墨周武 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明具备：平板状的支撑托盘，其支撑水平姿势的基板的下表面；容器本体，其设置有可收容支撑基板的支撑托盘的处理空间，并在侧方设置有与处理空间连通且用以使支撑托盘通过的开口；盖部，其被设置为可一面保持支撑托盘一面将开口封闭；及铅垂移动机构，其通过使盖部相对于容器本体朝铅垂方向相对地移动，而调整被支撑于支撑托盘的基板在铅垂方向上相对于处理空间的相对位置。
处理装置方法

[发明专利]防护膜组件框架把持装置-CN202180077475.9在审
发明人：米泽良 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2021-11-11 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种防护膜组件把持装置，即使防护膜组件框架变形也能够准确地进行防护膜组件框架的把持。具有：框体(10)，其为将多个棒状构件组合成大致矩形形状的框状的构件；多个防护膜组件把持构件(21)，其设置在框体(10)；以及驱动部，其设置在每个防护膜组件把持构件(21)，在将防护膜组件把持构件插入槽的第一位置与不将防护膜组件把持构件插入槽的第二位置之间使防护膜组件把持构件移动。防护膜组件把持构件(21)具有在防护膜组件把持构件(21)处于第一位置时一部分被插入槽的板状或棒状的顶端部。顶端部具有在防护膜组件把持构件(21)处于第一位置时被插入槽、在与作为防护膜组件把持构件的移动方向的第一方向大致正交的第二方向延伸设置的顶端面。在顶端部设置有表示距顶端面的距离的标记。
防护组件框架把持装置

[发明专利]一种用于晶圆加工的玻璃载板-CN202010148395.5有效
发明人：严立巍;李景贤;陈政勋 -专利权人：绍兴同芯成集成电路有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于晶圆加工的玻璃载板，属于晶圆加工领域。一种用于晶圆加工的玻璃载板，所述玻璃载板一端面上形成环形保护玻璃，其中，玻璃载板的最薄处厚度为20～200微米。本申请的玻璃载板具有薄化区域，在方便载取晶圆的同时，更利于光学定位，并且在薄化区域开设窗口后，可进行晶圆的双面加工。
一种用于加工玻璃

[实用新型]一种兼容多尺寸晶圆加工的花篮-CN202320210854.7有效
发明人：袁黔云 -专利权人：广东迈捷微新材料有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种兼容多尺寸晶圆加工的花篮。所述一种兼容多尺寸晶圆加工的花篮包括第一支架，所述第一支架内安装有第二支架，所述第二支架与所述第一支架为可拆卸设置所述第一支架包括两个第一竖板，两个所述第一竖板之间固定安装有第一横板和第二横板，两个所述第一竖板相互靠近的一侧均固定安装多个呈线性分布的第一定位条，所述第一竖板的顶部开设有定位槽所述第二支架包括两个第二竖板，两个所述第二竖板之间固定安装有第三横板和第四横板，两个所述第二竖板相互靠近的一侧均固定安装有多个呈线性分布的第二定位条。本实用新型提供的一种兼容多尺寸晶圆加工的花篮具有使用方便、操作简单，能够方便6寸晶圆和4寸晶圆进行快速切换的优点。
一种兼容尺寸加工花篮

[实用新型]晶圆盒结构、晶圆装载结构及单片式湿法设备-CN202223502432.1有效
发明人：张雨稼 -专利权人：杭州富芯半导体有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆清洗技术领域，尤其涉及一种晶圆盒结构、晶圆装载结构及单片式湿法设备，该晶圆盒结构包括盒体和气体填充组件；盒体包括主体和盖体，主体包括中空内腔和开口，中空内腔设有晶圆放置框，以及主体的侧壁上设有与所述中空内腔连通的进气口和排气口，晶圆放置框位于进气口和排气口之间，并且进气口和排气口之间形成气流通道；气体填充组件包括气源、充气装置和抽气装置，气源与充气装置的入口连接，充气装置的出口与进气口连接，抽气装置的入口与排气口连接。本申请有效减少了盒内晶圆与空气间的反应，以及可避免外界杂质进入盒体内，进而提高产品的良率；以及达到简化充气操作流程，提高生产效率的目的。
晶圆盒结构装载单片湿法设备

[实用新型]一种半导体封装载具-CN202320936575.9有效
发明人：王志强;王志辉 -专利权人：深圳市和芯电子有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体封装载具，涉及半导体加工用具技术领域，包括载板，所述载板的顶面开设有装载槽，所述装载槽的内壁开设有伸缩槽，所述伸缩槽的内壁活动连接有夹杆，所述伸缩槽的内部设置有第一弹簧，所述第一弹簧的一端与伸缩槽的内壁固定连接，所述第一弹簧的另一端与夹杆的一端固定连接。本实用新型通过将基板放入装载槽内对夹杆进行压动，利用装载槽内的四角对基板的四角进行压触夹持，利用夹杆一端连接的第一弹簧的使基板在装载槽内自动校准在中心位置，从而使得本实用新型在进行多组基板装载时，保持基板的位置一致，进而便于后续封装加工时其他部件更加准确的放置连接，保证了封装加工质量。
一种半导体装载

[发明专利]支撑装置及收纳装置-CN202310685483.2在审
发明人：刘春峰;刘国华;黄秋凯 -专利权人：荣耀电子材料（重庆）有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供了一种支撑装置及收纳装置，涉及半导体运输包装技术领域，包括：第一支撑部，第一支撑部用于为片体提供支撑；第一固定机构和第二固定机构，第一固定机构和第二固定机构连接于第一支撑部的彼此相对的两侧；第一固定机构的与第一支撑部的连接位置中包括和第二固定机构的与第一支撑部的连接位置不同的位置。根据本申请提供的支撑装置，在第一支撑部支撑片体时，第一固定机构能够以不同于第二固定机构的方式来分散由第一支撑部传递而来的力。支撑装置反而因为不对称的设置而使得第一支撑部上的受力更为分散，这进而使得第一支撑部的形变量减小。根据本申请提供的支撑装置，能够确保稳定地支撑全部晶片，避免晶片出现晃动而导致晶片受损。
支撑装置收纳