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[发明专利]一种适用于8寸晶圆的晶圆盒(SMIF)装载装置-CN202310785393.0在审
发明人：刘劲松;刘泽洋;许慧玲 -专利权人：江苏弘琪工业自动化有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于8寸晶圆的晶圆盒(SMIF)装载装置，包括安装板，所述安装板的正面安装有承载板。本发明通过安装有承载板，工作人员可以将八寸的晶圆放置到对应大小的晶圆盒的内侧储存，然后再通过防护块移动晶圆盒，使晶圆盒带动其内侧放置的八寸晶圆一同移动放置到装载板的顶部，使插头插入环槽的内侧，随后工作人员需要在装载板的支撑下控制旋转气缸带动转盘转动一定角度，使转盘带动插头沿着环槽转动，直至插头插入插孔的内侧，使插头可以利用与插孔的嵌合作用定位晶圆盒在装载板顶部，使防护块可以利用自身弧度缓冲偏移外力，进而提高晶圆盒对八寸晶圆的防护作用，进而该装置可以适用于八寸晶圆的支撑放置和保护。
一种适用于寸晶圆晶圆盒 smif 装载装置

[发明专利]承载盒-CN202310467831.9在审
发明人：潘华强;周翀翊;陈思 -专利权人：西安紫光展锐科技有限公司
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供一种承载盒，涉及承载装置技术领域，用于解决防止承载盒内的封装单元变形的技术问题，该承载盒包括盒体和支撑件，盒体包括容纳腔，且盒体的内壁上间隔设置有多个承载部，每个承载部用于承载封装单元的边缘；支撑件设置在任意相邻的承载部之间；支撑件包括支撑部，支撑部选择性地与封装单元接触，以支撑封装单元。本申请提供的承载盒，能够防止封装单元继续变形或者防止封装单元断裂，提高了封装单元的良率。
承载

[发明专利]舟结构及片材运输装置-CN202310805459.8在审
发明人：朱太荣;肖阳;万林;林佳继;张武 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种舟结构及片材运输装置，该舟结构包括本体和把手部，把手部连接于本体相对设置的侧壁上。把手部用于与运输舟结构的支撑件和/或者搬运舟结构的托杆配合，把手部上设有配合面，舟结构与支撑件或者托杆配合时，配合面能够起到导向及限位作用。该舟结构能够直接安放到支撑件或者托杆上，且在安装过程中能够自动校正位置，确保舟结构能够稳定地安放在支撑件或者托杆中心，降低了对支撑件和托杆的强度要求，有利于降低制造成本。
结构运输装置

[发明专利]一种盒盖及具有其的晶圆盒-CN202311093018.6在审
发明人：王征 -专利权人：芯岛新材料（浙江）有限公司
申请日： 2023-08-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及半导体晶圆存放技术领域，具体涉及一种盒盖及具有其的晶圆盒。所述盒盖具有设于其内部的容纳空间，所述容纳空间内设有锁舌、驱动件、上导向壁、下导向壁，锁舌为一体式设计；锁舌两侧设有第一引导壁和第二引导壁，上导向壁、下导向壁与第一引导壁、第二引导壁相对应，使得锁舌在伸缩的整个运动过程中均受到导向壁的导向，避免了在左右方向上大幅度的晃动；且锁舌在缩回状态下，两侧引导壁的最高点不低于上导向壁的最低点，使得锁舌在整个运动过程中均不会脱离上导向壁，保证锁舌伸缩动作的顺畅。
一种盒盖具有晶圆盒

[发明专利]一种集成电路封测用自动识别料盒-CN201810342201.8有效
发明人：徐金红;崔胜男;徐海龙;胡冬梓;汪海峰 -专利权人：无锡市瑞达电子科技有限公司
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成电路封测用自动识别料盒，由顶板、底板、前侧板及后侧板构成；顶板安装有三个识别孔和三块遮光板；识别孔分别开设在顶板不同位置，遮光板分别安装在识别孔下方；顶板的中部安装有识别码；底板上开设有两个定位孔；前侧板、后侧板上加工有四个机械手插入孔；料盒的左、右两侧开口处安装有挡杆、弹簧钩座、调节垫片以及拉伸弹簧；挡杆的上端连接调节垫片，挡杆的下端横向弯折后连接在底板上；调节垫片连接在顶板上；弹簧钩座安装在顶板下方，勾住拉伸弹簧的一端，拉伸弹簧的另一端与挡杆固定。可以适用于机器人自动生产的要求，具有识别功能以引导机器人的操作进行抓取搬运，并且可以机器人操作自动进行打开和关闭。
一种集成电路封测用自动识别

[实用新型]石英环保护装置-CN202321002834.7有效
发明人：钟华 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请提供一种石英环保护装置，包括第一支撑柱、第二支撑柱、第三支撑柱以及用聚四氟乙烯制成的隔板，第一支撑柱、第二支撑柱以及第三支撑柱间隔设置，隔板设置于第一支撑柱、第二支撑柱以及第三支撑柱围设的区域内，且隔板与第一支撑柱、第二支撑柱以及第三支撑柱连接，石英环放置于隔板上，隔板包括间隔设置的下隔板、第一隔板、第二隔板以及上隔板，以降低石英环在搬运时出现损坏的风险。
石英环保装置

[实用新型]舟结构-CN202223416301.1有效
发明人：朱太荣;肖阳;张武;林佳继;刘群 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舟结构，舟结构包括端板、槽棒和把手，端板为间隔设置的两个，槽棒为多个，每个槽棒的两端分别连接于两个端板，每个槽棒均设有用于卡接片材的凹槽，槽棒设有配合结构。把手可调整地配合在配合结构内。由于把手可调整地配合在配合结构内，在实际使用过程中可以根据实际需要将把手卡接于配合结构的不同位置，使得舟结构具有较好的兼容性，扩大了舟结构的适用范围。
结构

[实用新型]石英舟和扩散炉-CN202321334202.0有效
发明人：刘成法;赵瑞;吴晓鹏;张雅倩;张帅;陆玉刚 -专利权人：天合光能（宿迁）光电有限公司;天合光能股份有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请涉及一种石英舟和扩散炉。石英舟包括舟托和多个连接于舟托的舟体。舟体包括机架、舟耳以及设置于机架上的多个用于支撑硅片的支撑部。由于舟耳是连接在舟托上的，因此舟耳与支撑部的间距决定了硅片在舟托上的分布位置。对于两个相邻的舟体来说，由于舟耳和某一支撑部之间的第二间距不同，且相邻舟体的第二间距的差值不是相邻支撑部之间的第一间距的整数倍，即相邻的舟体上的硅片不会处于同一高度，使得相邻舟体上承载的硅片在舟托上能够依次错开。因此前一个硅片对炉体内的气流有一定的阻挡作用，使得气体流动至下一个硅片表面的流动阻力增加，从而延长反应时间，使得气体在硅片表面的反应更为充分，获得更好的扩散效果。
石英扩散

[发明专利]一种晶圆盒-CN202311092778.5在审
发明人：王征 -专利权人：芯岛新材料（浙江）有限公司
申请日： 2023-08-29 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种晶圆盒。晶圆盒的盒体和盖体互相扣合，其收纳篮内设有若干个并列设置的第一限位槽，第一限位槽包括自下而上延伸的左段弧形槽和右段弧形槽，弧形槽下部区域至少一部分的槽底两侧的宽度相对于其他位置处槽底两侧的宽度，分别具有不同程度的收窄。因此，当晶圆片插入至第一限位槽的下部时，会有一个明显地夹紧过程，这种先松后紧的插入方式，既可以方便引导晶圆片的初始插入，防止误插，又可以在最后阶段夹紧晶圆片，提高稳定性。其次，该处具有不同程度的收窄可以使得其对晶圆片下部边缘的夹持力度不同，其可以应对并抵御不同级别的晃动，从而进一步提高晶圆片在盒内的收纳稳定性。
一种晶圆盒

[实用新型]一种单晶硅perc电池片的周转盒-CN202321353615.3有效
发明人：沈晓;金龙;冯春亮;周兵;金刘;袁善祥;陆波;姬良莉 -专利权人：江苏格林保尔光伏有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅perc电池片的周转盒，包括铝合金外壳，所述铝合金外壳的一侧固定设置有第一卡槽，所述铝合金外壳的表面固定安装有第一卡块，所述铝合金外壳的另一侧固定安装有第二卡块，所述铝合金外壳的顶部活动安装有周转盖，所述周转盖顶部的两侧皆固定安装有连接块，所述铝合金外壳的底部贯穿设置有第二卡槽，所述铝合金外壳的一端固定设置有第三卡槽。本实用新型通过在铝合金外壳的一侧固定设置有第一卡槽，能够利用第一卡槽与第二卡块配合使用，接着利用第一卡块与第二卡块配合使用，然后利用连接块与第二卡槽配合使用，可以对铝合金外壳进行全方位拼接，减少占用空间，增加单晶硅perc电池片周转量。
一种单晶硅 perc 电池周转

[实用新型]拆装装置及石墨舟-CN202321242162.7有效
发明人：张文松 -专利权人：三一硅能（株洲）有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及石墨舟技术领域，提供一种拆装装置及石墨舟。拆装装置包括主杆和托架；托架为多个，多个托架沿主杆的轴向分布；托架与陶瓷环的个数相等，且托架与陶瓷环一一对应，用于承托陶瓷环。在实际使用中，当需要对陶瓷环进行拆卸时，先将各个托架依次伸入相邻两个舟叶之间的缝隙，并使各个托架分别托住相应的陶瓷环，再将陶瓷杆从各个陶瓷环中整体抽出，最后将拆装装置向上提起，即将各个陶瓷环取出，进而完成对多个陶瓷环的拆卸；当需要对陶瓷环进行装配时，先将各个陶瓷环依次放置在托架上，再将各个托架依次伸入相邻两个舟叶之间的缝隙，最后，将陶瓷杆依次穿过各个陶瓷环，以完成对多个陶瓷环的装配，提高陶瓷环的拆装效率。
拆装装置石墨

[实用新型]一种大容量快速可调节兼容花篮-CN202320677384.5有效
发明人：靳立辉;杨骅;王欢;靳晓伟;姚长娟;王拓;赵晓光 -专利权人：天津环博科技有限责任公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种大容量快速可调节兼容花篮，包括两个端板和连接于两个端板之间的齿杆，其所述齿杆包括第一齿杆和第二齿杆，所述第一齿杆设置在所述端板的两侧，所述第二齿杆设置在所述第一齿杆之间，形成至少两个硅片容纳腔，所述容纳腔可同时装载一种硅片或多种硅片。本实用新型的有益效果是花篮可同时装载多种规格的硅片，提高了花篮的装载容量，降低了生产成本，提高了生产效率，满足了生产多样化的需求。
一种容量快速调节兼容花篮

[发明专利]容器中冲净流速的远程优化-CN202180092700.6在审
发明人： M·A·富勒;N·伯吉特;K·A·雷诺兹;C·J·哈尔;M·C·扎布卡 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：优化衬底容器中的冲净流参数包含：使冲净工作流体流入所述衬底容器的内部中，从所述衬底容器的所述内部排放所述冲净工作流体，及在预定时段内变动所述冲净工作流体的冲净流参数，在所述预定时段期间检测所述衬底容器的所述内部中的至少一个环境状况，基于所述预定时段期间的所述经变动冲净流参数及所述至少一个经检测环境状况确定经优化冲净流参数，及根据所述经优化冲净流参数调整所述流入及所述排放。所述衬底容器可包含例如前开式晶片传送盒或光罩盒。
容器中冲净流速远程优化

[发明专利]一种芯片生产用料盒、使用其的上料设备-CN202310726958.8有效
发明人：方家恩 -专利权人：苏州锐杰微科技集团有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明属于电子元件技术领域，具体涉及一种芯片生产用料盒、使用其的上料设备，包括：盒体，所述盒体长度方向上两个端面敞口设置，所述盒体内壁上设置有若干对通槽，所述通槽的长度方向沿所述盒体的长度方向设置；所述盒体上设置有一对阻挡装置，所述阻挡装置与所述盒体转动连接，所述阻挡装置适于转动至对应的盒体长度方向的敞口处，以对通槽中芯片基板进行阻挡；实现了将芯片基板放置在盒体内后，将芯片基板与通槽顶紧，避免芯片基板从盒体内掉出，并且将盒体两个敞口阻挡，阻止芯片基板从盒体内掉出，避免芯片基板的损坏。
一种芯片生产用料使用设备

[发明专利]一种集成电路封测用自动识别圆片盒-CN201810336364.5有效
发明人：章舍舍;崔胜男;黄微;徐金红 -专利权人：无锡市瑞达电子科技有限公司
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成电路封测用自动识别圆片盒，所述圆片盒由顶板、底板、左右侧板及后盖板构成立方体结构，左右侧板上加工有圆片槽，圆片盒的前面是开放的，左侧板和右侧板内壁上加工有圆片槽，底板下方加工有三个V型定位机构；所述圆片盒的底板和侧板上安装有推杆式自动落锁结构；所述圆片盒的左右侧板和后盖板上分别安装有三个有槽卡式档条；所述圆片盒的顶板上安装有自动识别矩阵。本发明能够避免人工手动对晶圆洁净度的影响，同时降低圆片盒中相邻两片晶圆能够在操作过程中碰擦到的可能，减少报废率，同时实现由机械手臂来完成搬运上料等一系列的动作，减少人力，提高工作效率，提高自动化程度，从而从根本上提高企业的效益。
一种集成电路封测用自动识别圆片盒