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[发明专利]晶舟及晶舟用板件-CN202280008356.2在审
发明人：申暻燮 -专利权人：韩华思路信株式会社
申请日： 2022-01-05 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：根据本公开的技术思想的一方面，公开了一种晶舟，包括：至少一个板件，装载多个晶圆；及多个销对，在至少一个板件沿着第一方向排列，并且分别支撑多个晶圆中的相对应的晶圆。
晶舟用板件

[发明专利]晶舟、拆装工具以及晶圆加工设备-CN202011090389.5在审
发明人：金东盱;李亭亭;项金娟;蒋浩杰;丁云凌;熊文娟 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： C30B31/14 文献下载
摘要：本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种晶舟、拆装工具以及晶圆加工设备，该晶舟包括第一固定板、第二固定板和多个立柱，每一立柱的两端分别与第一固定板和第二固定板连接，每一立柱上均设置有支撑部，支撑部用于支撑晶圆，第一固定板与每一立柱之间和第二固定板与每一立柱之间均通过连接件连接；其中，连接件上均设置有凸起，凸起设置成与拆装工具配合以拆装晶舟。根据发明实施例的晶舟，进行扩散工艺的过程中，扩散所使用的颗粒粉末或沉积物沉积在连接件的凸起的表面不会影响晶舟的拆装过程，拆卸后进行清洗以提高晶舟的重复利用率，降低生产成本。
晶舟拆装工具以及加工设备

[发明专利]晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉-CN202011228207.6在审
发明人：高鹏飞 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C30B31/14 文献下载
摘要：该发明公开了一种晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉，晶舟结构包括支撑架，支撑架包括上支撑件和下支撑件，上支撑件与下支撑件之间设有多个支撑杆，支撑杆的两端分别与上支撑件和下支撑件相连，多个支撑杆沿上支撑件的周向间隔开设置且在其中两个相邻支撑杆之间形成有适于晶圆通过的开口；晶圆支撑部，晶圆支撑部设在支撑杆上以承载晶圆，晶圆支撑部包括支撑板和至少一个晶圆插板，支撑板和至少一个晶圆插板承载同一晶圆，支撑板与支撑杆相连且与上支撑件和下支撑件的中心位置处相对应，晶圆插板设在支撑杆的内侧以支撑晶圆的边缘根据本发明实施例的晶舟结构，能够减小晶圆在制造中由于受到应力作用而发生破裂的风险，提高产品良率。
结构具有组件扩散

[实用新型]具有局部加热功能的炉管-CN201821987961.6有效
发明人：王厚有;孟宪宇;吴宗祐;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种具有局部加热功能的炉管，适用于晶圆的炉管工艺，所述炉管在反应管的一端设置有晶舟门平台，设置在所述晶舟门平台上的晶舟包括平行于所述反应管的若干晶舟柱，在每个所述晶舟柱外侧设置有加热件，每个所述加热件紧靠于对应的晶舟柱本申请通过设置若干晶舟柱，在每根晶舟柱上配备一个加热件，补偿晶圆的局部温度，以对晶圆上靠近晶舟柱的沉积膜偏薄处进行加热，提升靠近晶舟柱附近的反应气体的沉积速率，从而提升膜厚的均匀性。
晶舟炉管加热件晶圆局部加热反应管本实用新型反应气体外侧设置一端设置沉积膜均匀性沉积紧靠膜厚加热平行配备申请

[发明专利]推移式芯片转换器-CN202111585504.0在审
发明人：张亦锋;谢兴云;史同干 -专利权人：上海利扬创芯片测试有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：公开了推移式芯片转换器，装置中，支承板具有水平表面，第二晶舟容纳层叠的多个芯片，第一晶舟和第二晶舟对置地支承于所述水平表面；第一阻挡部设在所述水平表面，其在第一方向上抵接所述第一晶舟，第二阻挡部设在所述水平表面，其在不同于第一方向的第二方向上至少抵接所述第一晶舟和第二晶舟中的一个；推移装置可移动地设于所述支承板，所述推移装置包括，推板沿第二晶舟至第一晶舟方向相对于所述水平表面可移动，导杆位于所述支承板下方，所述导杆经由连接件连接所述推板
推移芯片转换器

[实用新型]一种可提高转移灵活性的晶舟转换器-CN200820055269.X有效
发明人：赵俊深;吕秋玲;杨洪春 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2008-01-31 - 公布日： 2008-12-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种可提高转移灵活性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟。现有技术的顶推件为一体件，其仅能将初始晶舟中所有的晶圆同时转移到目的晶舟，无法进行选择性的转移。本实用新型具有底座和顶推机构，该底座上具有容纳该顶推机构的导轨和用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置，该顶推机构具有设置在导轨中的从动件、垂直设置在该从动件上的连接件以及垂直设置在该连接件上的顶推件，该顶推件对应晶舟的每一晶圆槽设置一顶推单元，该些顶推单元轴接在该连接件上且其对应是否用于顶推晶圆而具有顶推位和闲置位。采用本实用新型可提高晶舟转换器转移晶圆的灵活性和效率。
一种提高转移灵活性转换器

[实用新型]一种防止晶舟位置偏移的定位装置-CN201920205392.3有效
发明人：林金炜;许哲维 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： B25B11/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种防止晶舟位置偏移的定位装置，在定位板上安装第一棱角定位块、第二棱角定位块、第一U型复位块和第二U型复位块，通过第一棱角定位块和第二棱角定位块对晶舟的前端的两个棱角进行定位，再使用固定扣固定晶舟棱角处的凸起与第一棱角定位块上，使得晶舟无法向上翘起；并且使用固定件对晶舟另一棱角处的槽孔进行固定，使得晶舟无法左右移动。而为晶舟后端的两个背板上安装有第一U型复位块和第二U型复位块，当晶舟被机械手臂放入晶圆发生前后移动时，通过第一U型复位块和第二U型复位块内的复位弹簧，使得晶舟回位保持在原先的位置，避免机械手臂下次再放入晶圆时，由于晶舟的偏移导致晶圆破损，提高晶舟的工作效率。
晶舟复位块棱角定位块晶圆机械手臂棱角处放入本实用新型定位装置复位弹簧工作效率前后移动位置偏移向上翘起左右移动定位板固定件固定扣再使用偏移背板槽孔凸起破损

[实用新型]一种晶圆在晶舟间的传片装置-CN202222993815.7有效
发明人：黄仁贵 -专利权人：成都海威华芯科技有限公司
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆在晶舟间的传片装置，属于晶圆传片技术领域，包括能够相对水平位移的第一载体和第二载体，第一载体上设有第一晶舟，第二载体上设有第二晶舟；第一载体或第二载体上设有具有水平位移功能的顶推件，用于顶推晶舟内晶圆。本实用新型通过两个载体带动两个晶舟进行水平位移，使两个晶舟靠近，再通过推动件将一个晶舟内晶圆推动至另一个晶舟，实现晶圆传片，以此避免晶圆滑片，提高了晶圆传片的安全性。
一种晶舟间装置

[发明专利]批式沉积工具及压缩晶舟-CN200680030747.5有效
发明人： J·约德伏斯基;R·C·库克;N·梅里 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2006-08-17 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： C23F1/00 文献下载
摘要：在一实施例中，一压缩晶舟是配置用以降低一批式处理室中的泵气容积(pumping volume)。该压缩晶舟包含一固定式晶舟与一活动式晶舟，其各自可独立地装载或卸载基材。该活动式晶舟与该固定式晶舟可相互交错穿插，得以减缩该些基材之间的距离。在另一实施例中，一具有活动式基材固持件的晶舟是配置用来在不显著增加抽气容积的情况下提供多个基座。该活动式基材固持件可于远离该具有多个基座的晶舟处装载或卸载。该活动式基材固持件衔接至该晶舟，使得固持件上的基材与所述基座互相交错穿插。
沉积工具压缩

[发明专利]晶舟形变量监控装置及方法-CN202310685665.X在审
发明人：贺鑫;李亮亮;李坚毅 -专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01B11/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶舟形变量监控装置及方法，属于半导体制造技术领域。晶舟形变量监控装置，包括：设置在晶舟外侧的支撑架；至少一个监测单元，每一所述监测单元包括：设置在所述晶舟侧面的接触杆，所述接触杆与所述晶舟的支柱垂直，所述接触杆的一端固定在所述支撑架上，所述接触杆的另一端设置有用于与所述晶舟的支柱接触的感应件，所述感应件与所述支柱接触的面为光滑的球面，在所述晶舟发生形变时，所述晶舟的支柱变形推动所述球面导致所述接触杆发生位移；检测结构，用于检测所述接触杆的位移量。本发明的技术方案能够对晶舟的形变进行监控，使操作人员能够及时获知晶舟发生的形变，防止造成晶圆损失，提高晶圆的产率。
形变监控装置方法

[实用新型]一种防止晶圆反吸和斜插的装置-CN201922062866.6有效
发明人：黄光伟;李立中;吴淑芳;陈智广;马跃辉;庄永淳;吴靖;林伟铭 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-11-22 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列；所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。装置各处宽度、高度都略大于晶舟尺寸，从而避免了晶舟和装置之间应力的产生，也方便放置晶舟。同时通过固定U‑bar朝向，避免了U‑bar和H‑bar放反导致吸到晶圆正面，使晶圆划伤。
一种防止晶圆反吸装置

[发明专利]晶圆舟操作装置、立式分批炉和方法-CN202010398045.4在审
发明人： C·G·M·德里德 -专利权人： ASMIP控股有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：晶圆舟操作装置，其配置成定位在立式分批炉的处理室下方。晶圆舟操作装置包括：主壳体，其具有限定并界定晶圆舟操作空间的壁；以及舟运输器，其包括用于支承晶圆舟并配置成将晶圆舟运输至晶圆舟操作空间内的冷却位置的晶圆舟支承件。壁邻近冷却位置的一部分是具有至少0.60的热辐射表面吸收率的壁部分，以便借助热辐射吸收从冷却位置中的晶圆舟吸取热量。
晶圆舟操作装置立式分批方法

[发明专利]硅片PECVD镀非晶硅用石墨舟的清洗方法-CN202010448482.2在审
发明人：张梦葛;张胜军;沈梦超;绪欣;吴智涵;顾振华;黄海冰 -专利权人：常州时创能源股份有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： B08B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片PECVD镀非晶硅用石墨舟的清洗方法，包括碱洗步骤：通过碱液清除石墨舟上的非晶硅。本发明采用碱液清洗硅片PECVD镀非晶硅用石墨舟，能清除石墨舟上沉积的非晶硅，避免石墨舟上沉积的非晶硅影响硅片PECVD镀非晶硅膜的效果，避免出现镀膜不均，硅片及舟壁表面爆膜、脱膜，镀膜速率下降，甚至出现无法继续镀膜的情形
硅片 pecvd 镀非晶硅用石墨清洗方法

[实用新型]半导体热处理设备及其晶舟-CN202021760084.6有效
发明人：申震;邵湛惟;宋晓彬 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开一种半导体热处理设备及其晶舟，晶舟包括多个舟片，多个所述舟片间隔设置并通过多个连接件互相连接，所述多个连接件中的一个或多个连接件的一侧设置有第一加强件，所述第一加强件用于连接所述多个舟片，相邻的两个所述舟片之间设置有隔离件，所述隔离件套置在所述第一加强件和与所述第一加强件对应的连接件上。采用上述技术方案可以解决目前加长后的晶舟的强度较差的问题。
半导体热处理设备及其

[发明专利]基板处理装置-CN201480008450.3有效
发明人：梁日光;宋炳奎;金劲勋;金龙基;申良湜 -专利权人：株式会社EUGENE科技
申请日： 2014-02-17 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：根据本发明的一个实施例，一种基板处理装置包括设置有堆叠空间和处理空间的腔室，在堆叠空间中基板被堆叠，在处理空间中执行对基板的处理；晶舟，其包括沿上下方向布置的至少一个直立的晶舟框架，晶舟会升降而移动至堆叠空间和处理空间中；多个承载座，其布置在所述晶舟框架上并沿着晶舟框架的纵向方向彼此间隔开，其中随着晶舟移动至处理空间中被依次加载至基板的顶面上；以及至少一个保持件，所述保持件包括与所述晶舟框架平行布置的竖直杆以及从所述竖直杆的内表面伸出以支撑所述基板的基板支撑末端，当所述晶舟移动至所述处理空间中时，所述竖直杆沿着所述晶舟框架的纵向方向相对移动。
处理装置

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