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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种淡硼预扩散工艺石英舟-CN202320437368.9有效
发明人：刘燕;钟立志;王倚天;李红歌 -专利权人：北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种淡硼预扩散工艺石英舟，所述石英舟呈半圆柱体，圆柱体的内壁开有槽，槽内放有用于进行淡硼预扩散工艺的硅片和硼源片，且放置的硅片和硼源片均与水平面成5°的仰角。本实用新型石英舟旁边摆放隔热挡片，解决了以往淡硼预扩散工艺过程中固体硼源片易变形、硼预扩散过程中硅片与硼源片间距不一致导致硼预扩散后硅片方阻均匀性和批次间一致性较差的问题。
一种淡硼预扩散工艺石英

[实用新型]载具-CN202320526757.9有效
发明人：郝宇超 -专利权人：通威太阳能（安徽）有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种载具，使用过程中，通过一个第二插槽与一个第一插槽在垂直于第二承载件的长度方向上对应连通形成一个放置空间，从而可以将电池片插入放置空间内。并且，将电池片插入放置空间的过程中，由于第一转动件能够相对第一承载件绕第一转动件的中心轴线转动，并且，第二转动件能够相对第二承载件绕第二转动件的中心轴线转动，从而能够将与电池片的接触由滑动摩擦变为滚动摩擦，避免因摩擦过大而刮伤电池片，保证电池片的品质。

[实用新型]一种双半片电镀花篮夹具-CN202320826800.3有效
发明人：张三洋;陶俊;邵玉林 -专利权人：无锡琨圣智能装备股份有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双半片电镀花篮夹具，其包括左固定板和右固定板，所述左固定板的左侧表面固定连接有锁紧件，所述锁紧件的表面固定连接有定位板，所述锁紧件的左端贯穿左固定板固定连接有弹簧，所述弹簧的右端固定连接有活动轴，所述活动轴的右端贯穿右固定板。通过上述结构，可以有效地同时装载多个硅片，使得多个硅片进行同时加工，有利于提高硅片加工的产量，通过推动活动轴使得夹持弹片分开，进而可直接通过皮带或者吸盘将硅片放进去进行定位夹紧，可以有效地提高硅片的装卸自动化程度，通过设置每四组对一个硅片进行夹紧，可以有效地减少与硅片之间的夹点，有利于减少装卸时校对的时间，进而提高装卸的效率。
一种双半片电镀花篮夹具

[实用新型]一种石墨舟片及石墨舟-CN202320365949.6有效
发明人：李倩;吝占胜;李志彬;王静;张东升;李青娟;刘新玉;魏双双;张红妹;何广川;于波;张树骞 -专利权人：英利能源发展（保定）有限公司;英利能源发展有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种石墨舟片及石墨舟，属于太阳能电池技术领域，包括舟片本体和开设于舟片本体上的承载孔位，承载孔位内设有中心舟片和用于连接中心舟片和舟片本体的连接件，连接件、中心舟片及舟片本体为相同材质制件；硅片安装于舟片本体上，且与承载孔位相对应，硅片与中心舟片相接触。本实用新型提供的石墨舟片，通过在承载孔位增加中心舟片，增加了传输到硅片中心位置的电流量，降低了因为电流不均匀而对硅片成膜均匀性的影响，从而提高了硅片的镀膜均匀性。
一种石墨

[发明专利]晶圆盒闩锁机构及晶圆盒-CN202310491924.5在审
发明人：禹在昌;张亮 -专利权人：北京鑫跃微半导体技术有限公司;芜湖鑫跃微半导体有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒，涉及晶圆盒技术领域，晶圆盒闩锁机构设置于门体内用以将门体锁固于盒体，晶圆盒闩锁机构包括转动件、连接件及闩锁件，转动件铰接于门体；连接件的第一端铰接于转动件，转动件的铰接处与连接件的第一端的铰接处间隔设置；闩锁件滑动设置于门体，连接件的第二端铰接于闩锁件，连接件的第二端的铰接处与转动件的铰接处及连接件的第一端的铰接处均间隔设置。本实施例中的转动件通过连接件与闩锁件连接，连接件与转动件及闩锁件均铰接，而转动摩擦相比于滑动摩擦所产生的粉尘更少，从而尽可能的避免造成晶圆受到污染。
晶圆盒闩锁机构晶圆盒

[发明专利]容器收纳设备-CN201710805509.7有效
发明人：安部健史;吉本忠浩 -专利权人：株式会社大福
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种容器收纳设备。前述容器收纳设备具备收纳架、气体供给装置、搬运装置、控制部，前述收纳架具有多个收纳部作为收纳部组，前述气体供给装置对于各收纳部，经由分岔型的供给配管，供给净化气体，前述搬运装置对于收纳部搬运容器，前述控制部控制搬运装置的动作。在对于收纳部组所包括的收纳部最先收纳容器时，控制部控制搬运装置的动作，使得对于被从供给配管的端部区域供给净化气体的收纳部搬运容器。
容器收纳设备

[实用新型]一种硅片花篮-CN202320239908.2有效
发明人：吴建亮;张俭波;杨超;张闻斌;张忠卫 -专利权人：江苏国晟世安新能源有限公司
申请日： 2023-02-17 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片花篮，包括端板、连接板和花篮杆，至少一个花篮杆转动设置在两个端板之间，两个端板和两个端板之间的花篮杆组成一个花篮单元；连接板为两个并分别连接在相邻两个花篮单元的端板上，相邻两个花篮单元和连接板之间形成放置硅片空间；每个花篮杆上设置有至少两列固定齿，相邻两列固定齿的齿槽宽度不同；相邻花篮单元中花篮杆上至少有两列固定齿相互对应。花篮杆上多列固定齿之间的齿槽宽度不同，花篮杆转动连接在所述端板上，存放比较厚的硅片时，将花篮杆旋转到固定齿齿宽度较小的一列，需要存放较薄的硅片时，将花篮杆旋转到固定齿齿宽度较大一列，适应不同厚度硅片的存放需求，不用额外重新购入新的花篮。
一种硅片花篮

[实用新型]一种把手结构及晶圆盒-CN202321039248.X有效
发明人：禹在昌;张亮 -专利权人：北京鑫跃微半导体技术有限公司;芜湖鑫跃微半导体有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请公开了一种把手结构及晶圆盒，把手结构应用于晶圆盒，把手结构包括第一把手，第一把手包括第一握持部，第一握持部具有第一表面，第一表面用于在用户抓握第一握持部时与用户的手掌心和大拇指触接，第一表面设置有凹槽，凹槽用于在用户抓握第一握持部时供用户的大拇指放置。本申请实施例通过单独设置用于放置用户的大拇指的凹槽，使得用户的大拇指可以施力为晶圆盒的搬运提供支撑，且能够通过大拇指施力来调整晶圆盒的搬运重心，从而使用户手腕的负担最小化，通过安装本申请实施例中的把手结构，能够便于用户施力搬运晶圆盒，提高了晶圆盒搬运的可作业性，且减少用户在搬运晶圆盒时发生晶圆盒滑落的情况。
一种把手结构晶圆盒

[实用新型]一种信息组件及晶圆盒-CN202321037693.2有效
发明人：禹在昌;张亮 -专利权人：北京鑫跃微半导体技术有限公司;芜湖鑫跃微半导体有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请公开了一种信息组件及晶圆盒，信息组件应用于晶圆盒，晶圆盒包括盒体，信息组件包括：主体以及限位结构，主体用于存储晶圆信息，主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端，第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接；主体上设置有位于第一端以及第二端之间的限位结构，限位结构用于与盒体连接。本申请实施例通过增加信息组件的主体与盒体之间的连接部位，以加强信息组件与盒体之间的连接，使得信息组件与盒体之间的固定更牢固，从而增加信息组件的稳定性，防止信息组件在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件之间发生信息互换错误的问题。
一种信息组件晶圆盒

[实用新型]一种快速扣合的芯片料盒-CN202320818780.5有效
发明人：卢国强;郑灿升;管宏明;韩飞;欧斌;王勇 -专利权人：深圳市优界科技有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种快速扣合的芯片料盒，包括料盒支板、料盒挡板、支撑滑条及开合组件，其料盒支板包括两块，两块料盒支板平行间隔设置，两者之间形成料盒空间，料盒空间内叠放有料盘；支撑滑条包括两块，两块支撑滑条分别水平设置在两块料盒支板内侧壁的下部，并水平向料盒空间内延伸，以便承载支撑料盒空间内的料盘；料盒挡板设置在料盒空间的一端处，以便从料盒空间的一端处阻挡料盒空间内放置的料盘；开合组件设置在料盒支板的另一端处，开合组件打开或关闭料盒空间的另一端，进行料盘取放。本实用新型实现了料盘集中存储，并通过扣合式结构实现了快速便捷开合，有效提升料盘自动取放效率。
一种快速芯片

[发明专利]半导体工艺制程设备及气体置换方法-CN202310578011.7在审
发明人：刘强;杨平 -专利权人：上海稷以科技有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提出了一种半导体工艺制程设备及气体置换方法，该设备包括：晶圆传输区域，其外壁的前端面开设一用于连通晶圆盒的第一窗口，气体交换区域，用于防止晶圆盒内非工艺气体进入晶圆传输区域，并置换出晶圆盒内的非工艺气体，其固定于晶圆传输区域的内壁上；气体交换区域横跨第一窗口，围成气体交换区域的外壁上，开设第二窗口，第二窗口位于第一窗口的后侧；气体交换区域的外壁上开设用于气体排气口、用于通入惰性气体的气体进气口；前封板和后封板，前封板用于密封第一窗口，后封板用于密封第二窗口，均位于气体交换区域内；气缸一、气缸二和气缸三。本发明可防止晶圆盒内非工艺气体进入晶圆传输区域，并能置换晶圆盒内的非工艺气体。
半导体工艺设备气体置换方法

[发明专利]一种用于装配水平立式舟的大容量可组装的装载舟托-CN202310540063.5在审
发明人：吴静立 -专利权人：辽宁拓邦鸿基半导体材料有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及石英舟装载舟托技术领域，具体为一种用于装配水平立式舟的大容量可组装的装载舟托，包括两个挡板件，两个挡板件的两侧均固定有侧板件，四个侧板件之间可拆卸连接，所述侧板件的两端均开设有侧开口，所述侧板件上等间距开设有多个安装口，同一个侧板件上的多个安装口均位于该侧板件上的两个侧开口之间。本发明通过固定连接件、连接架的作用，能实现根据需要快速调节整体长度，便于根据需要控制舟托设备的容量，提升容量上限，同时还能有效保证整体的稳定性，并且通过相应部件的配合，实现整体的联动作业，便于快速对水平立式舟进行固定，保证其运作的稳定性。
一种用于装配水平立式容量组装装载

[发明专利]芯片盒-CN202310791476.0在审
发明人：邬友权;长野博幸;洪巧水 -专利权人：荣耀电子材料（重庆）有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种芯片盒；芯片盒包括第一盖体、第二盖体和锁定组件，第二盖体与第一盖体可拆卸地相互堆叠，且第二盖体和第一盖体两者之间用于存放芯片；锁定组件可拆卸地同时套接于第一盖体和第二盖体。本发明的芯片盒能用于存放芯片，且其能确保收纳芯片的稳定性，改善芯片因晃动、滑落而损坏的问题。
芯片

[发明专利]一种晶圆片承载架及烤箱-CN202310203432.1在审
发明人：罗佐军;吴琼;胡远岗 -专利权人：常州常耀半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆片承载架，包括主框架和多个支撑片，多个支撑片沿纵向层叠设于主框架上，晶圆片承载架还包括辅助框架，支撑片包括两个相对设置且与主框架滑动连接的嵌入部及设于两个嵌入部之间且用于支撑晶圆片中部的支撑部，嵌入部和支撑部之间设有缺槽，辅助框架包括两个相对设置的插板，插板与主框架滑动连接，插板位于缺槽内，两个插板相对的侧壁上对应支撑片设有支撑凸台，支撑凸台的上表面与对应的支撑片的上表面共面。本发明的晶圆片承载架，在实现通用性的同时，也能够对晶圆片进行有效支撑。本发明还公开了一种带有该晶圆片承载架的烤箱。
一种晶圆片承载烤箱

[发明专利]真空处理系统、支撑结构和用于运输基板的方法-CN202180076621.6在审
发明人：托马斯·格比利;沃尔夫冈·布什贝克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于处理基板的真空处理系统(100)，所述真空处理系统包括：第一真空腔室(105)，所述第一真空腔室具有第一气体压力；第二真空腔室(106)，所述第二真空腔室具有第二气体压力；以及气体分隔单元(120)，所述气体分隔单元在所述第一真空腔室(105)与所述第二真空腔室(106)之间。所述气体分隔单元提供在所述第一真空腔室与所述第二真空腔室之间的连接。所述气体分隔单元(120)被适配成与一个或多个支撑结构(110)相互作用，以便最小化从所述第一真空腔室(105)到所述第二真空腔室(106)和/或从所述第二真空腔室到所述第一真空腔室的气体流动。
真空处理系统支撑结构用于运输方法

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