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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种芯片生产加工用多型腔托盘及芯片生产加工方法-CN202310288728.8在审
  • 李纳新 - 无锡市林楷精密工业有限公司
  • 2023-03-22 - 2023-06-13 - H01L21/673
  • 本发明涉及电子芯片技术领域，具体涉及一种芯片生产加工用多型腔托盘及芯片生产加工方法；托盘包括若干个阵列式设置的加工区，加工区内包括用于固定芯片的型腔，型腔包括位于上半部的上腔体以及位于下半部的下腔体，上腔体的截面呈倒梯形，下腔体的截面呈矩形；托盘在采用刀具对固定在型腔内的芯片铣削加工完成后通过压力机对托盘进行挤压；在本方案中，采用截面呈倒梯形的上腔体结构设计，来使得芯片在铣削过后具有一定的倾斜角度，以便于拿取，同时在铣削步骤结束后，采用压力机挤压的方式，利用材料本身的特性将其他切削出来的材料挤压进去，进而降低了在后续铣削过程中刀具的磨损情况，保障了芯片的尺寸精度。
  • 一种芯片生产工用多型腔托盘加工方法
  • [实用新型]一种新型半导体托盘托举装置-CN202223459442.1有效
  • 张志勇;赵珉;张仁勇;高胜清;苑浩;陈卫东;康振 - 华恒半导体设备（苏州）有限公司
  • 2022-12-22 - 2023-06-13 - H01L21/673
  • 本实用新型公开了一种新型半导体托盘托举装置，包括底板、驱动组件、升降组件和托盘组件，所述底板的底部垂直固定有四个支脚，所述底板上安装有驱动组件，驱动组件上连接有升降组件，升降组件上连接有托盘组件；本实用新型通过在托盘上设置有多个放置槽，芯片放置在放置槽内，使得芯片稳定的上下移动，不会出现散料的现象，提高了芯片托举的可靠性；本实用新型在升降板上安装有位移传感器，芯片的上升和下降过程中，位移传感器检测位移距离，通过位移距离与原始距离对比，即可得到芯片托举高度，可以检测芯片上升和下降是否到位，从而提高了托举精度，降低了工作强度。
  • 一种新型半导体托盘托举装置
  • [实用新型]一种晶圆热处理用石英舟-CN202223521377.0有效
  • 王华阳;赵福庆;袁春阳 - 苏州鑫泓电子科技有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-06-13 - H01L21/673
  • 本实用新型提供一种晶圆热处理用石英舟，涉及石英舟技术领域，解决现有的一部分石英舟上稳定性差，在热处理的过程中，容易产生晃动，使得晶圆受热不均匀或相互碰撞产生划痕的问题，包括主体；所述主体的内部开设有圆形槽，且主体的内部还设有限位槽；所述主体的内部呈等距平行状固定连接有内螺纹筒，且主体的内部安装有托盘，并且主体内滑动连接有石英座；所述石英座的两侧分别开设有安装孔，且安装孔内滑动连接有支撑杆；本实用新型在晶圆放入石英座后通过摇把的旋转，使支撑杆上的调整杆进行上下位移，将调整杆底部的压实杆贴合在晶圆的顶部，防止晶圆在制造的过程中向上位移，更好地将晶圆固定到石英座内。
  • 一种热处理石英
  • [发明专利]一种简易式的开合自动化晶圆传送盒装置-CN202211093625.8在审
  • 刘德令;涂颂昊;刘潇林 - 中环领先半导体材料有限公司
  • 2022-09-08 - 2023-06-09 - H01L21/673
  • 本发明公开了一种简易式的开合自动化晶圆传送盒装置，包括盒体，所述盒体的顶部设置有盒盖，所述盒体和盒盖的外沿表面皆环绕设置有固定孔，所述盒体和盒盖靠近中间的位置处皆设置有通孔，所述盒盖的中心位置处设置有开合装置，所述固定孔的数量为四个，且开合装置的形状为具有弧度的半椭圆型，所述通孔的数量为三个，且通孔的围合形状呈现为三角形。该一种简易式的开合自动化晶圆传送盒装置，能够有效缩短了人员开关自动化晶圆传送盒作业时间，并且有效的保护了自动化晶圆传送盒底座不会出现被划伤的问题，同时侧面降低了成本且设计材料符合产品生产需求，属于简易安装不需要能源的硬件设施，更加符合节能环保的主题。
  • 一种简易自动化传送盒装
  • [实用新型]一种太阳能电池片用硅片存放装置-CN202223394315.8有效
  • 王庆钱;雷杰;邹汨婷;刘志霞 - 江西钛创新能源科技有限公司
  • 2022-12-16 - 2023-06-09 - H01L21/673
  • 本实用新型涉及太阳能电池片技术领域，公开了一种太阳能电池片用硅片存放装置，包括支腿和底板，所述底板顶部四角设有立柱，所述立柱顶部设有顶板，所述立柱之间设有层板，所述层板顶部设有滑轨，所述滑轨顶部设有存放抽屉，所述层板底部和顶板底部设有防尘布罩，所述防尘布罩底部四周设有导磁环，本实用新型将硅片放置在隔板之间，通过隔板对硅片进行固定，防止硅片直接相互碰撞造成损伤，通过多个隔板和存放抽屉组成的存放单元，实现多个硅片的存放，存放容量高，关闭电磁铁，此时导磁环在重力作用下，下降至存放抽屉顶部，放置灰尘和水汽进入到抽屉中，提高对硅片进行防尘防潮的保护效果。
  • 一种太阳能电池硅片存放装置
  • [实用新型]强化视窗口的基板容器-CN202223576239.2有效
  • 赵荣昌 - 中勤实业股份有限公司
  • 2022-12-30 - 2023-06-09 - H01L21/673
  • 一种强化视窗口的基板容器，包括容器本体、以及支撑结构；容器本体具有底部、相对于底部的顶部、以及包围于底部与顶部之间的两个侧壁，且于容器本体的前端处形成开口，并具有后盖而封闭开口的后端处，支撑结构则设于后盖上；其中，后盖上开设有屡空部，并于屡空部上形成有骨肋，所述骨肋呈竖立状且一体连接于后盖，以供支撑结构由容器本体的外部组设于所述骨肋上。以借由骨肋与支撑结构以有助于维持容器本体的结构强度。
  • 强化视窗容器
  • [实用新型]一种太阳能电池片生产用支架-CN202223393714.2有效
  • 周炜;王庆钱;董洋;邹汨婷 - 江西钛创新能源科技有限公司
  • 2022-12-16 - 2023-06-09 - H01L21/673
  • 本实用新型涉及电池片支架技术领域，公开了一种太阳能电池片生产用支架，包括转轴和托板架，所述转轴外侧设有转套，所述转套有若干个，其中一个所述转套外壁一侧设有防护盖板，其余的所述转套外壁设有托板架，所述托板架呈层状排布，所述托板架顶部三边设有缓冲边框，本实用新型将电池片在支架上放置完成后，通过上一层的托板架盖遮下一层的托板架，通过防护盖板遮盖顶部的托板架，从而对电池片进行放置的同时，实现对电池片的防护，方便电池片生产过程中的取放的同时，避免了在支架放置过程中对电池片造成损伤。
  • 一种太阳能电池生产支架
  • [实用新型]一种可自动升降的半导体晶圆存放装置-CN202223507882.X有效
  • 洪永斌;保贵;魏娇娇;黄勇富 - 四川营之星电子科技有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-06-09 - H01L21/673
  • 本实用新型涉及半导体制作领域，具体一种可自动升降的半导体晶圆存放装置，包括外壳体和导电容置腔、壳体板、升降板、底座和升降导轨，以及升降支撑滑轨，外壳体的前侧板和后侧板为活动式转动板，在外壳体的底部与壳体板之间通过可拆式插接结构安装在一起，壳体板固定在升降板上，在升降板的前后侧通过升降导轨固定在底座上方，升降支撑滑轨平行于升降导轨，固定在升降板与底座之间。在升降的过程中，最高一层的半导体晶圆始终处于机械手抓取的高度位置，在不改变程序的情况下，机械手能够准确的抓取不同存放高度的半导体晶圆。在遇到自动化的装配线时，自动升降高度来配合机械手的抓取位置，无法实现了自动化快速装配的功能。
  • 一种自动升降半导体存放装置
  • [发明专利]一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法-CN202310190425.2在审
  • 邱军平 - 常州科讯精密机械有限公司
  • 2023-03-02 - 2023-06-06 - H01L21/673
  • 本发明涉及硅片花篮领域，具体涉及一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法。本发明提供了一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法，包括：花篮本体；两锁定机构，锁定机构一端与花篮本体转动连接；以及花篮本体上具有上片工位和定位工位；其中上片时，锁定机构转动至上片工位，花篮本体的开口侧打开，硅片依次叠放在花篮本体内；锁定时，锁定机构转动至定位工位，锁定机构关闭花篮本体的开口侧。硅片上片后，连接件带动锁定杆转动至硅片的一侧，从而阻挡硅片向外滑落。连接件转动至定位工位后，滑动块能够沿滑动槽滑动至将锁定钩卡紧。通过扭簧能够拉动锁定钩向上片工位方向转动，以使锁定钩保持与滑动块卡接的状态。
  • 一种具有锁定结构稳定性硅片花篮及其方法
  • [发明专利]容器容纳设备-CN201710806832.6有效
  • 安部健史;吉本忠浩 - 株式会社大福
  • 2017-09-08 - 2023-06-06 - H01L21/673
  • 本发明提供一种容器容纳设备，其在容纳容器（W）的多个容纳部的每一个中，向容器（W）的内部供给净化气体，所述容器容纳设备具备：排放部（2），排放净化气体；气体供给装置（3），控制净化气体的供给流量；主配管（4），供从气体供给装置（3）输出的净化气体流通；分支配管（5），从主配管（4）分支，与各排放部（2）连接；排放部（2）不论在容纳部中是否容纳有容器（W），都排放净化气体；气体供给装置（3）控制净化气体的供给流量，以使得容纳在容纳部中的容器（W）的总数越少则净化气体的供给流量越多。
  • 容器容纳设备
  • [实用新型]光伏电池成膜设备-CN202320121199.8有效
  • 李权;钟双全;张开旺;卢俊雄;陈皓 - 隆基绿能科技股份有限公司
  • 2023-01-29 - 2023-06-06 - H01L21/673
  • 本申请公开了一种光伏电池成膜设备，包括成膜载板，成膜载板包括：载板本体，以及设置于载板本体的多个用于承载硅片的承载单元；每个承载单元包括：第一承载台、第二承载台和限位柱；第一承载台设置于载板本体，第一承载台的中间设有凹槽，第一承载台用于与硅片的边缘接触以承载硅片；第二承载台环绕设于第一承载台远离凹槽的一侧，沿凹槽的槽底到槽口的方向，第二承载台高出第一承载台预定高度；第二承载台上远离载板本体的一端间隔设有多个限位柱。通过第二承载台对硅片的边缘形成遮挡，可以有效避免硅片边缘绕度问题，通过间隔设置的限位柱，既能实现对硅片的限位作用，又便于硅片正面边缘部位均匀成膜，能够提高硅片正面成膜的均匀性。
  • 电池设备
  • [实用新型]晶圆载具以及具有其的物料装置-CN202223523434.9有效
  • 施心星 - 苏州镭明激光科技有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-06-06 - H01L21/673
  • 本实用新型公开一种晶圆载具以及具有其的物料装置，晶圆载具包括座体及载物件，座体设有两个开口及连通两个所述开口的腔道；载物件收容在所述腔道内，且用以承载自一所述开口送入的待测晶圆，所述载物件相对所述座体可活动设置，以具有带动所述待测晶圆自另一所述开口活动移出的移出行程，以供检测机构对所述待测晶圆进行检测。本实用新型使得每一待测晶圆均可沿统一的线性往复移动路径进行移动，有助于提高批量待测晶圆检测的准确性和一致性；使得载物件只接触待测晶圆的边缘，从而有效防止直线往复移动过程中座体等其他构件与待测晶圆过多接触，造成晶圆污染，提高检测可靠性。
  • 晶圆载具以及具有物料装置
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