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- [实用新型]承载舟-CN202321358992.6有效
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祁文杰;毛文龙;范伟;梁笑;林佳继
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拉普拉斯新能源科技股份有限公司
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2023-05-31
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2023-10-20
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种承载舟。该承载舟包括上下相对设置的上连接框和下连接框，且上连接框和下连接框均由杆状连接件形成，上连接框和下连接框之间连接有平行间隔设置的承载杆，若干承载杆与上连接框和下连接框限定出用于放置硅片的放置空间，且承载杆设置用于固定硅片的凹槽。通过将现有的矩形板替换为上连接框和下连接框，且上连接框和下连接框均由杆状连接件组装形成，从而在上连接框和下连接框的中心位置形成中空部分，相比于使用矩形板大大减小了承载舟的表面积，避免在承载舟的局部出现吸附大量反应掺杂物的现象，防止上连接框和下连接框附近的硅片的掺杂浓度偏高以及方阻偏低问题，确保了晶硅电池的转换效率。
- 承载
- [实用新型]一种底盘治具-CN202321150575.2有效
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郭文凯;田晓强;林冠宏;崔思远;文国昇;金从龙
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江西兆驰半导体有限公司
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2023-05-12
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2023-10-20
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种底盘治具，涉及半导体技术领域，包括下盘、设于下盘上的至少一个上盘，以及设于下盘和上盘之间的连接组件，上盘用于承载晶圆，连接组件包括连接件，上盘和下盘的其中一个上设有连接件，另一个上设有与连接件相对的卡槽，通过将连接件伸入卡槽内，以用于限制上盘相对于下盘的径向移动，其中，下盘的横截面积大于上盘的横截面积。通过将底盘治具分为下盘和至少一个上盘，当容纳晶圆的上盘出现破损时，可将破损的上盘从下盘中拆卸，从而可以降低整个底盘治具的成本，并且无需针对反应室进行适配，进一步降低了更换时的繁琐，保障位于上盘上的每个晶圆的正常加工。
- 一种底盘
- [实用新型]舟结构-CN202320924181.1有效
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万林;朱太荣;肖阳;林佳继
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拉普拉斯新能源科技股份有限公司
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2023-04-23
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2023-10-20
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种舟结构，该舟结构包括端板和槽棒，端板为两个，且两个端板间隔设置。槽棒为多个，每个槽棒的两端分别与两个端板相连，每个槽棒上设有多个沿其长度方向间隔设置的齿槽，齿槽用于容纳片材，每个槽棒上还设有沿其长度方向贯穿多个齿槽的流通槽。由于槽棒上设有沿其长度方向贯穿多个齿槽的流通槽，使得片材暴露出来的面积更大，有利于改善工艺进行过程中在片材上产生气流印和舟齿印的缺陷，另一方面流通槽能够使得齿槽内的气流以及热流流通较为充分，能够进一步地改善工艺进行过程中在片材上产生气流印和舟齿印的缺陷，工艺进行过程中片材四周边的扩散或者镀膜更加的均匀，从而提升产品质量及良品率。
- 结构
- [实用新型]一种双向抓取的硅片花篮-CN202320997632.4有效
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张秀珍
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江苏杰洋能源装备有限公司
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2023-04-27
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2023-10-17
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H01L21/673
- 本实用新型是一种双向抓取的硅片花篮，包括：两侧板，其相对设置；多个花篮齿杆，其连接两侧板，其与两侧板形成承载硅片的空间；第一卡槽，其沿侧板顶部左侧向下开设；第二卡槽，其沿侧板顶部右侧向下开设；第三卡槽，其设置在侧板右侧边，并靠近侧板底部；第一卡槽设置在侧板顶部左侧，第二卡槽设置在侧板顶部右侧，第三卡槽设置在侧板右侧底部，这样一来，正常吊设硅片花篮时，使用的是第一卡槽、第二卡槽；当硅片花篮在清洗过程中发生翻转时，此时，第二卡槽、第三卡槽翻转至顶部，通过将第二卡槽、第三卡槽与机械手的配合实现硅片花篮的吊设；这样便实现了硅片花篮的多向抓取。
- 一种双向抓取硅片花篮
- [发明专利]一种超薄硅片的清洗工具-CN202310872909.5在审
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朱海涛;韩振
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百川未来新能源技术（上海）有限公司
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2023-07-17
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2023-10-13
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H01L21/673
- 本发明公开了一种超薄硅片的清洗工具，包括底板，底板上设置有两个左右对称且可左右移动的L形板，两个L形板相互靠近的一侧均固定连接有多个线性阵列且等间距设置的限位板，每个限位板的前侧均设置有一个可前后移动的夹板，L形板上开设有多个便于夹板移动的切口，L形板的前侧固定连接有密封板，密封板上固定安装有电机，电机的输出轴穿设密封板且固定连接有丝杆。在电机、丝杆、夹板和挡板的相互配合下，电机带动丝杆逆时针转动，丝杆带动夹板向远离限位板一侧移动，使得夹板与限位板的间距增加，便于放入硅片且避免硅片与夹板或限位板发生剐蹭，同时无需工人对夹板与限位板的间距进行逐一调节，提高了硅片的清洗效率。
- 一种超薄硅片清洗工具
- [发明专利]基板收纳容器-CN202180094798.9在审
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永岛刚;福田隆二
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未来儿股份有限公司
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2021-03-29
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2023-10-13
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H01L21/673
- 本发明提供一种基板收纳容器，具备：容器主体(2)；盖体(3)；盖体侧基板支承部，在通过盖体(3)封闭容器主体开口部(21)时能够支承基板(W)的边缘部；后侧基板支承部(6)，在基板收纳空间(27)内与盖体侧基板支承部成对地配置，能够支承基板(W)的边缘部，在容器主体开口部(21)被封闭时与盖体侧基板支承部协作，在使基板(W)的边缘部排列的状态下支承基板(W)；侧方基板支承部(5)，在基板收纳空间(27)内在横向(D3)上成对地配置，通过与基板(W)的边缘部抵接，能够在使相邻的基板(W)彼此以规定的间隔分离并排列的状态下支承基板(W)的边缘部；以及支承部构成部件(4)，与容器主体(2)的壁部(20)的侧壁(25、26)的内表面对置配置。侧方基板支承部(5)设置于支承部构成部件(4)，能够在支承部构成部件(4)与容器主体(2)的壁部(20)的侧壁(25、26)的内表面之间配置除湿剂(9)。
- 收纳容器
- [发明专利]一种晶圆生产装载设备-CN202311149896.5在审
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刘大庆;石益强;盘云;潘霖;朱跃
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苏州鸿安机械股份有限公司
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2023-09-07
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2023-10-13
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H01L21/673
- 本发明涉及半导体领域，具体是一种晶圆生产装载设备，包括装载箱和密封盖，装载箱的端口两侧边角位置开设固定孔；所述密封盖外表面对称设有把手，密封盖上还固接有负压管；该装载箱和密封盖的配合，使得密封盖与装载箱的开合动作以轻柔的状态进行，橡胶塞插设至固定孔内，橡胶塞自身有弹性，能够自由伸缩变形，能够灵活插设至固定孔，降低零部件之间相对移动时产生的磨损，也就降低磨损碎屑飞扬至晶圆盘上的可能性，同时在打开密封盖时，首先打开负压管的气体阀门，让装载箱内与外界的气压平衡，之后方可将密封盖取下，其动作也是较为轻柔，减小对该装载设备的冲击，从而实现对晶圆盘的保护。
- 一种生产装载设备
- [实用新型]花篮及花篮机构-CN202320882203.2有效
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杨超;齐文龙;刚立刚;张成虎
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通威太阳能（安徽）有限公司
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2023-04-14
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2023-10-13
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H01L21/673
- 本申请涉及一种花篮及花篮机构，花篮机构包括花篮及伸缩机构。当需要将硅片等放置在花篮上时，使得伸缩机构驱动花篮的支撑本体之间相对活动撑开，以使各个支撑本体上的承托件之间的间距增大，进而增加硅片的放置空间，降低硅片的放置难度和精度，降低硅片在放置的过程中与花篮发生刮蹭的可能性。当需要进行移动运输时，使得伸缩机构驱动支撑本体之间相对活动收拢，进而使得各个支撑本体上的承托件之间间距减小，能够有效降低花篮的体积，降低花篮的重心高度，提高花篮在移动运输过程中的可靠性。当需要由花篮中取出硅片时，伸缩机构驱动支撑本体撑开，以使各个支撑本体上的承托件之间的间距增大，方便硅片的取出。
- 花篮机构
- [实用新型]一种硅片制绒用组合式花篮-CN202321304757.0有效
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刘奥运;李海龙;李强强
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中润新能源（徐州）有限公司
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2023-05-26
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2023-10-13
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种硅片制绒用组合式花篮，关于电池片生产用运输装置技术领域，包括一对连接板和多个第一连接柱，多个第一连接柱安装在一对连接板之间，连接板上开设有与第一连接柱相匹配的通孔，连接板上开设有多个限位槽，第一连接柱上开设有与限位槽相匹配的滑槽，滑槽内滑动连接有与限位槽相匹配的限位块，限位块和限位槽底壁之间安装有弹簧。与现有技术相比，根据本实用新型的一种硅片制绒用组合式花篮便于拆卸，当第一连接柱发生损坏后，能够便于对第一连接柱进行更换，减少直接更换花篮所需要花费的成本，花篮在运输时候，连接板和第一连接柱能够分别放置，大幅度减少花篮的占地面积，便于运输，简单组装即可使用，稳定性好。
- 一种硅片制绒用组合式花篮
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